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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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ICTの進化に貢献する光デバイス・高周波デバイス、高度な温度検出が可能…
レイ用発光素子です。 ●GaN高周波デバイス 高出力、高効率および広い周波数帯域幅を必要とする衛星通信(SATCOM)、5G基地局などの送受信を支えるGaN高周波デバイスです。 ●GaAs高周波デバイス DBS、SDARS、GPSなどの高周波の送受信を支えるGaAs高周波デバイスです。 ●シリコンRFデバイス 1GHz以下の周波数帯域に対応した移動無線通信機器の送信段...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社カナデン 本社
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