各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

GaAs搭載基準セル

ソーラシミュレータ法を用いた基準太陽電池の校正に。分光感度特性が類似し…

GaAs型（III–V族化合物半導体）セルは、従来のSi型セルに⽐べ、はるかにペロブスカイト型セルと似た分光感度特性を有しており、安定性においても優れています。 GaAs型セルは、ペロブスカイト型のリファレンスとして一般的に用いられる「Si型セル」と「色ガラスフィルタKG-5」の組み合わせによる測定と比較して、スペクトルミスマッチがはるかに優れています。 オランダのReRa Solutions は高品質...

メーカー・取り扱い企業： 石川産業株式会社