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PR最大限の可用性と迅速な修理に対応!より長い寿命と顧客の生産性を保証
『RDHX PRO』は、データセンターの局所的でエネルギー効率の高い 冷却を実現するよう設計されている冷水冷却ユニットです。 データセンターの局所的でエネルギー効率の高い冷却を実現、 800Wモデルで78kW、600Wモデルで59kWの冷却能力。 ツールレス、ホットスワップ可能なコンポーネントにより、 最大限のアップタイムとより長い寿命と顧客の生産性を保証。 HPCおよび温水冷...
メーカー・取り扱い企業: エヌヴェントジャパン株式会社 エンクロージャー事業部
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簡単操作のTMP排気システム採用!拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…
【仕様】 [排気装置:SVC-700TMSG] ○排気操作:全自動 ○到達圧力:2×10⁻⁴Pa以下 ○蒸着用電極:2組 ○ガラスベルジャー:内径φ160mm×215mmH ○寸法(W/D/H):340/460/544mm [蒸着電源:SVC-7PS80] ○ヒーター電源:12V 45A/7V 80A ○寸法(W/D/H):340/410/205.5mm...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
100℃ ○膜厚分布 ±1%以内 (バッチ内、バッチ間) T/S=900mm ○排気系 クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ ○真空槽 W800mm × D800mm × H1300mm、SUS304製 ○フットプリント W3700mm × D4300mm × H2400mm 【所要諸元】 ○所要電力 本体 φ3 200V 約40KVA (115A) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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LED光学多層DBR膜形成用真空蒸着装置 Sapio-DBR
LED 用光学多層 DBR 膜の成膜に最適!
:φ2inchウェハー約400枚/batch φ4inch ウェハー約110枚/batch →タクト:3h/batch 以内 →必要設置エリア:W4.6m×D6.3m×H3.2m ※SGC-S1550i 使用時 ※水晶式膜厚計の脱着の際には 工場側天井パネルの取外し等が必要な場合がある ○優れた再現性 連続batch保証も対応 ○膜質の調整が可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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個人差のないカーボン蒸着が可能に! EPMA・分析SEMの前処理用とし…
型 ○電極:1組 ○コーティング回数:1回 ~ 19 回 (任意設定) 〇排気操作:手動式 ○排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min (自動リーク付) ○寸法(W/D/H):360/400/265mm ...
メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社
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パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…
Se、SiN、酸化物等がある。 構成例として、クリーニングとパッシベーションを行うレーザーの両端でデバイスホルダーを反転させる機能が含むチャンバ、パッシベーション膜前の自然酸化膜除去する為の水素(H2)プラズマクリーニングチャンバ等を含む事も可能です。 ウエハは、高真空条件下でチャンバーからチャンバーへと移動し、プロセス全体を通して清浄度が維持されています。 お客様のご要望とプロセス時間等...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置
限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…
・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 リモートソフトウエア「IntelliLink(インテリリンク)」付属:USBケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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UHVチャンバー間でサンプルを輸送することを目的とした1軸サンプルトラ…
『RM40』は、超高真空用途向けのシンプルなオールメタルシールの 直線回転サンプル導入機です。 主に、UHVチャンバー間でのサンプル輸送に好適。 空気側と真空側にある希土類磁石のセットは、ハンドルから内側軸への 強固な結合を確実にするために必要な力を発揮します。 【ラインアップ】 ■RM...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社テク
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水晶振動式膜厚モニター搭載!コンパクト設計でクリーンな成膜が可能
【仕様(抜粋)】 ■到達圧力:4×10^-5Pa ■排気時間:5×10^-4Paまで10分以内 ■ベルジャー:SUS304 Φ507×H422 ■蒸発源:抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション) ■排気系:TMP800L/sec、RP360L/min、真空バルブ類一式、付属品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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様々なタイプの蒸着源をご用意しております
-EFM →蒸着面積:φ8.5、11、15mm →動作距離:約93±10mm ○大面積用蒸着源 EFM6 →蒸着面積:φ50mm以上 →坩堝容量:最大10ccm ○原子状水素源 EFM-H →加速電圧:0-1keV(100mA) →ビーム照射角:±6~±15°(電力に依存) ○蒸着源用電源 EVC100L/100 ○蒸着源用電源 EVC300/300i ○大面積用蒸着電源 ...
メーカー・取り扱い企業: シエンタ オミクロン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルで...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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限られたラボスペースを有効活用できる小型ベンチトップサイズ装置に、最新…
・操作性の全てを犠牲にせず、スタンドアローン大型機と同様の性能を実現しました。 更に簡単タッチパネル操作でPLC全自動制御。 難しい操作手順を必要とせずどなたでも直感的に操作ができる分かりやすいHMI。 リモートソフトウエア「IntelliLink(インテリリンク)」付属:USBケーブルでWindows PCに接続し、装置運転状況モニター、ログ保存、オンライン/オフラインレシピ作成保存、故...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
連続多層膜、同時成膜(2〜6元同時成膜:RF, DCをHMIより自在に配置切替) 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応 ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルで...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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