各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

『Top Heat Shutter（トップヒートシャッター）』

軽量かつ工具不要！ラック天面に設置し、冷気・暖気の混流を防ぎます

『Top Heat Shutter（トップヒートシャッター）』は、ラックの天井部に 設置することで、ラック上部の冷気と暖気を区切り混流を防ぎます。 マシンルーム内の空調設備や実装機材の吸気、排気の効率化が可能。 底面にマグネットキャッチが設定されており、ラック上部に置くだけ なので、運用中のラックにも容易に設置できます。 また、ラック単位での設置が出来る為、既設のラックサイズやお...

メーカー・取り扱い企業： ニッキャビ株式会社