各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

赤外線水分計／品番　M70D-771K

人と環境にやさしい赤外線水分計

■特長 ●ユーザーにやさしいLED付き操作部 操作部のLEDの点灯や点滅で、次の操作を示したり、器械の状態をお知らせしたりします。 ●環境にやさしいオーガニックカーボンヒーター オーガニックカーボンヒーターは、環境負荷の大きいハロゲン化合物や金属を含んでおりません。 水分が熱と反応する波長域(2.5～3μm)において、ハロゲンヒーターに比べ2倍以上の赤外線を放射しているため、 効率の高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業