露光装置　大型露光装置

露光安定性・再現性に優れています。

JEMの大型露光装置は、常に完全な均一露光を得るため積算光量計・バラスト機構・大型ドライロータリーポンプ・バキュームレギュレター等を組み込んだ最新高性能の大型露光装置です。...

メーカー・取り扱い企業： 日本電子精機株式会社