• 高圧ポンプユニット KPM-5030 ※カスタマイズ可能 製品画像

    PRポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小!研磨ウエハ洗浄に好適

    KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。 【特長】 ◆設置面積が小さくコンパクト設計 ◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能 ※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみならず洗...(つづきを見る

  • 全自動運転に対応!調湿ガス供給装置『Humi Cruise』 製品画像

    PR結露防止機能で長時間運転を実現!供給用保温ホースとの一体化でコンパクト

    『Humi Cruise』は、分析装置や試験装置への ガス媒体を通じた水分供給に好適な調湿ガス供給装置です。 燃料電池や新素材の開発、バイオ・高分子研究など、高精度が求められる用途や 半導体・部品・薬品製造工程の静電気対策といった湿度が影響する場面で活躍します。 【特長】 ■結露防止機能により、長時間運転が可能 ■供給用保湿ホースと一体化しておりコンパクト ■ラックマウントも...(つづきを見る

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  • MOGRER/配管内自走ロボットによる検査システム 製品画像カタログあり

    配管内面の減肉の深さと大きさを、遠隔操作で目視検査できるロボットです。

    「MOGRER」とは、配管の内部で自走する検査ロボットの総称で、カメラとレーザー光により配管内部の状況を検査するシステムです。標準タイプMOGRER- I の配管適用サイズは150/200A,250A,300/400Aの3種類です。従来のMOGRER- I シリーズの他、650A配管に適用可能な直線レーザースリットを搭載したMOGRER- II を追加しました。更に垂直配管(最長200m)に適用可...(つづきを見る

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