オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

Mems プローバーシステムの世界市場シェア2024

Mems プローバーシステムの世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプリ…

グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界のMems プローバーシステムの供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるMems プローバーシステムの販売量と販売収益を調査しています。同時に、Mems プローバーシステムの世界主要メーカー（ブランド）、市場シェア、売上、価格、収入、および収入のグリースニップル状...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

Φ8インチIC・MEMSファウンドリーサービス開始

最大8インチＭＥＭＳラインを有するオムロン野洲事業所にてウェハ工程の試…

こののたび当社では、MEMS加工サービス/MEMS ファウンドリサービスを開始いたしました。国内最大規模の8インチＭＥＭＳラインを有するオムロン　野洲事業所（滋賀県野洲市）にてウェハ工程の試作から量産までお客様の様々なご要望...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

MEMS全自動欠陥検査装置『IR-MEMS100』

コントラストの低い画像を見やすくする処理を使用して見つけにくい欠陥部を…

『IR-MEMS100』は、ロボットにより自動的に貼り合わせウエハーを 搬送してウエハーの内部状態を特殊赤外線光学系で画像を撮影し、欠陥検出 アルゴリズムを使用して各種欠陥を検出するMEMS全自動欠陥検査装置...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

MEMS (加速度センサ) JMA S Series

MEMS技術を用いたアナログ出力の加速度センサです！

1～3軸 最高の精度、温度安定性、繰返し性 IP65、RoHS対応...レンジ ±0.5g , ±1g , ±1.5g , ±4g , ±10g 感度 0.25～5 V/g 精度 0.05～0.08 % FRO 応答性 100～200 Hz 温度 -40～85 ℃ 重量 180 g...

メーカー・取り扱い企業： 三協インタナショナル株式会社

【超高周波350kHz対応】MEMSセンサー開発向け加振システム

半導体部品をはじめデバイス製品の開発・出荷検査に最適な加振システム　サ…

イン波、スイープ、フィールドデータ再現加振 ・低周波数／磁場／温度／音響試験機など各種試験と組み合わせ可能 ※数値はそれぞれ最大値です。装置構成、試験内容に依存します。 【用途例１　MEMSセンサー開発】 350kHzの超高周波数まで対応し、性能評価試験をはじめ固有振動数・共振周波数の探査などを行えます。 環境付加として磁場・温度・音響など各種環境試験装置とも組み合わせられ、様々...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

MEMS (傾斜センサ) JDI Series

MEMS技術を用いたデジタル出力の傾斜角センサです！

最高の精度、分解能、温度安定性 出力タイプ : RS485 IP67対応...レンジ：±1°, ±3°, ±14.5°, ±30°, ±60° 出力：RS485 分解能：0.0001° 温度：-40～85 ℃...

メーカー・取り扱い企業： 三協インタナショナル株式会社

自動光スイッチ MEMSベース光スイッチ

高速高い信頼性を実現した光スイッチ。テスト工程を効率化させます。スイッ…

超小型で耐久性に優れたMEMSベースの光スイッチです。研究室や製造ラインでのテストの構成を合理化が可能です。 【特長・メリット】 ●シーケンシャルテストを自動化が可能 ●波長800 nmから1590 nmまでの幅広い範囲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

【PLAZMARK活用事例】MEMS部品メーカー 工程管理課

簡単にしかも瞬時に装置の現状把握が可能！生産品質の顕著な向上が見られた…

MEMS部品メーカーの工程管理課が『PLAZMARK ウエハ型』を 導入した事例をご紹介いたします。 お客様のニーズに合わせて高付加価値なMEMS部品を製造していますが、 多品種少量生産なのでなかなか歩留りが上がらず苦慮していました。 生産工程に検査設備を導入しようとすると、導入費用が高過ぎるという 課題もありました。 当製品を試したところ、極端なバラつきは目視で簡単に把握。 微妙...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

【資料】MEMS部品の構造解析

MEMS部品の構造を非破壊・破壊的手法を組み合わせ、総合的に解析！

当資料では、MEMS部品の構造解析についてご紹介しています。 X線透視観察にて、パッケージ内部の構造を観察する“加速度センサーの 非破壊観察”をはじめ、“加速度センサーの機械研磨後、光学顕微鏡・ SEM観察...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

シグナル、MEMS、MOSFET、リレー テスター

当社のリレー テスターのラインアップをご紹介！特長や適用などを掲載

当社の『シグナル、MEMS、MOSFET、リレー テスター』をご紹介いたします。 最大1000ch分のデバイスのバーンイン処理が可能な「MEMSバーンインテスター」 をはじめ、4aアレイ品に対応した「MOSFETリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松浦電弘社

DC MEMS (加速度センサ) AMシリーズ 1軸

MEMS技術を用いたアナログ出力の加速度センサです！

MEMS AMセンサはDC(0Hz)から測定できます。 ケーブルはセンサ一体式とコネクタ式があり用途に応じて選択可能です。 オプションで2軸、3軸もあります。...

メーカー・取り扱い企業： 三協インタナショナル株式会社

【製品不要の改善】MEMS顕微鏡（両面パターンズレ検査装置）

顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

FOG & MEMS INS Z軸バイアス安定性≤0.03°/h

X/Y軸 MEMS、Z軸 FOG、加速度計、GNSS付き 小型軽量 …

X軸 (Roll), Y軸 (Pitch) に安価なMEMS、Z軸 (Yaw) に自社開発のFOGを採用、価格を抑え高精度を実現したINSになります。 バイアス安定性は X軸, Y軸は <10°/h、Z軸は <0.03°/h 廉価版でZ軸を <0.2°...

メーカー・取り扱い企業： カンタム・ウシカタ株式会社

MEMSテストハンドラ『ULTRA P』

MEMSデバイスの測定に好適！温度環境下測定にも対応

『ULTRA P』は、加速度センサー、ジャイロセンサー等MEMSデバイスの ファイナルテスト用に開発されたハンドラーです・ 独自の搬送方式を用いることで最大96サイトの同時測定数を実現し、低温・ 高温測定、6DOF（3ポジション、3軸ジャイロ）の測定...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テセック

MEMS圧力センサー高速温特検査装置

MEMS圧力センサーの温度特性計測時間の大幅な短縮を実現した検査装置 …

『MEMS圧力センサー高速温特検査装置』は、冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、 MEMS圧力センサーを高速で温特計測が出来る装置です。 冷熱プレートを加減圧容器内に設けた方式により、3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

超ファインピッチに対応する検査用プローブ！『MEMSプローブ』

≪超ファインピッチに対応する検査用プローブ≫微細加工から検査までの自動…

『MEMSプローブ』は、マイクロプロセッサや、アプリケーションプロ セッサ等の、半導体ウエハ検査に最適なMEMSプローブです。 本製品は、独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現します。 また...

メーカー・取り扱い企業： ニデックアドバンステクノロジー株式会社

傾斜計　傾斜角検出器「CM-961A」：マコメ研究所

傾斜計「CM-961A」はMEMS加速度計を利用した傾斜センサーです。…

傾斜計　MEMS加速度計を利用して検出しています。（MEMS：メムス） また、金属ケースを利用しているため、耐衝撃性、耐振動性を持たせた設計となっています。小型（当社比） 出力は電圧出力タイプ1-5Vと電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社

【分析事例】MEMS中ドーパントの三次元分布評価

イメージングSIMSにより微小領域・微量元素の濃度分布を可視化できます

市販品MEMSについて、BとAsの三次元イメージングSIMS測定を行いました（測定領域：75μｍ角、深さ：約1.5μm）。測定後のデータ処理により、任意断面・任意深さの面分布、任意領域の深さ方向分布、任意箇所の...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

超小型シリコンMEMS 加速度センサ　52M30

【超小型】MEMS加速度センサ 被覆・シールドケーブル　シリコンMEM…

加速度センサ Model 52M30は非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進のピエゾ抵抗MEMS センサー素子を基盤としています。 この加速度センサ（加速度計、加速度ピックアップ)は-40～121º C の温度領域を持ったフルブリッジ出力構造の特長を持ち合わ...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

［数量限定］デモ機貸出　MEMS加速度計EGCS-S425

TE Connectivity社製　DC応答液体ダンプ加速度センサ　フ…

Model EGCS-S425加速度計は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進の半導体ピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を使用した液体ダンプ式加速度センサです。液体ダンプ式により小型・軽量であるにも関わらず、±2000gの高いgレンジ品まで最適なダンピング係数を可能にしています。また、内部に特殊なストッ...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

[数量限定]デモ機貸出　DC応答　半導体MEMS加速度計64B

小型DC応答　耐久性ローノイズケーブル採用　信頼性の高いパフォーマンス

Model 64B加速度計は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進の半導体ピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を使用したガスダンプ式加速度計です。メタルゲージに比べ、ゲージ取り付け接着面の劣化が少なく、経年変化・劣化を起こしくいため長年にわたってご使用頂けます。また、内部にストッパー構造を設け...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

総合カタログ無料プレゼント　３軸MEMS加速度計EGAXT3

オイルダンプ式　DC応答電圧出力加速度計　小型・軽量３軸　幅広いレンジ

Model EGAXT3加速度計は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進の半導体ピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を使用したオイルダンプ式加速度センサです。オイルダンプにより小型・軽量でも高gレンジ品まで最適なダンピング係数0.7を実現しています。 また、内部にストッパー構造を設けており、対衝撃...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

[数量限定]デモ機貸出　DC応答シリコンMEMS加速度計52F

TE Connectivity社製　小型DC応答加速度センサー　耐久性…

Model 52F加速度計は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進の半導体ピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を使用したガスダンプ式加速度センサです。メタルゲージに比べ、ゲージ取り付け接着面の劣化が少なく、経年変化・劣化を起こしくいため長年にわたってご使用頂けます。また、内部にストッパー構造を...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

総合カタログ無料進呈　DC応答半導体MEMS加速度計3801A

DC応答電圧出力加速度計　耐久性ローノイズケーブル使用　幅広い計測レン…

Model 3801A加速度計は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進の半導体ピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を使用したガスダンプ式加速度センサです。メタルゲージに比べ、ゲージ取り付け接着面の劣化が少なく、経年変化・劣化を起こしくいため長年にわたってご使用頂けます。また、内部にストッパー構造を...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

MEMSスキャナ

低消費電力・小型軽量のMEMSミラー

Sercalo社のMEMSガルバノメータは高度な光学ビームステアリングやポインティングに対応しており、静・動特性のビームスタリングで走査が可能です。 本製品は小型で消費電力を抑えたいアプリケーションにもっとも最適な製品とな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ティー・イー・エム

20Hz～広帯域デジタルMEMSマイク | CMMシリーズ

マイクアレイやビームフォーミングに最適な、広帯域のデジタルMEMSマイ…

　PDM出力デジタルMEMSマイクロホンに、マイクアレイや信号処理に最適な、20 Hz～という低周波帯域に対応した2モデルが新登場です。 　両機種とも、感度は-26dB ±1 dB、S/N 65 dBにて、4.00 x 3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーユーアイ・ジャパン (CUI Japan Co., Ltd.)

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

二軸精密角度計(水準器)／品番 M1173A-2MEMS

2年補償 MEMSセンサー搭載

●2軸同時表示型、高精度デジタル式角度計 ●校正証明書付属(再校正可/有償) ●低コスト化、作業効率UPを実現 ...従来の気泡式の水準器もしくは1軸式デジタル水準器と違い、2軸同時測定機能により高精度CNC機械や試験・計測機器等のメンテナンス時に強力な威力を発揮します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シロ産業

MEMS/TSV用赤外透過　微細ヴィア・トレンチ検査装置

MEMS素子検査装置（メムス　微細穴深さ計測、パターン検査）

MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径２０μｍ以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、ＭＥＭＳ（マイクロマシン）の検査用途に使用...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

MEMSデバイスの3次元構造観察

高分解能・高コントラストな観察を実現！非破壊で3次元観察することが可能

「MEMS」には、立体的で可動部を有するMEMS構造体が中空で 封止されています。 この構造をあるがままに観察するためには開封などの加工を行わず 観察することが必要です。 3次元X線顕微鏡(X線CT)は...

メーカー・取り扱い企業： 東芝ナノアナリシス株式会社

MEMS慣性航法システム「Apogee」

高性能で汎用性の高いMEMS慣性航法システム「Apogeeシリーズ」

非常に低ノイズのジャイロスコープ、少ない遅延、高い耐振動性を備えており、正確な方向と位置のデータを提供するシリーズ製品です。内部拡張カルマンフィルターがリアルタイムの慣性データとGNSSデータに融合し、過酷な環境（橋、トンネル、森林など）でも位置と方向の測定を強化できます。Ekinoxシリーズと同様、Apogeeセンサには、操作後の分析または後処理用に8 GBのデータロガーが内蔵されています。.....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレアクト

RF_MEMSプローブ『TPD26-Verticalシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！プローブ構成はGSSG・GSGS…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD26-Verticalシリーズ』について ご紹介いたします。 周波数帯域はDC～26.5GHz、挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）は-0.5dB。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD67-Verticalシリーズ』

耐電圧が100V、クロストーク（GSGSG-150um pitch t…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD67-Verticalシリーズ』について ご紹介いたします。 周波数帯域はDC～67GHz、挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）が-1.2dB。 また...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD67-Angleシリーズ』

コネクタは1.85mm/F（V/F）！低損失、低反射のエアコプレーナプ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD67-Angleシリーズ』について ご紹介いたします。 クロストーク（GSGSG-150um pitch typ.）は-35.0dBとなっており、 特性インピーダンスは5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD110-Angleシリーズ』

プローブ構成はGSGSG！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計で…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD110-Angleシリーズ』について ご紹介いたします。 コネクタは1.0mm/Fとなっており、対応可能ピッチが50～150um。 クロストーク（GSGSG-150um ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD50-Angleシリーズ』

対応可能ピッチは50～1000um！低損失、低反射のエアコプレーナプロ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD50-Angleシリーズ』について ご紹介いたします。 特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域がDC～50GHzとなっており、 クロストーク（GSGSG-150um ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD40-Angleシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！周波数帯域がDC～40G…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD40-Angleシリーズ』について ご紹介いたします。 特性インピーダンスは50ohm、接触抵抗（対金パッド）が0.05ohmとなっており、 低損失、低反射のエアコプレー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP40-Verticalシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！挿入損失（GSG-150…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP40-Verticalシリーズ』について ご紹介いたします。 コネクタは2.92mm/F（K/F）、プローブ構成はGS・SG・GSGとなっており、 コンタクト寿命（オートプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

気圧検知式小型高度変化計『AMBD-04』

MEMS技術を用いて生産することで、センサの小型・軽量化と優れた量産性…

気圧検知式小型高度変化計『AMBD-04』は、ピエゾ抵抗カンチレバー型 差圧センサによって微小な気圧変化を検出し、リアルタイムに高度変化を 測定できるセンサです。 既存の高度計と組み合わせた高さ情報の精度向上や、扉の開閉検知などに ぜひご活用ください。 【仕様】 ■単4乾電池2本サイズ（L40mm×W18mm×H8mm） ■100円玉1枚程度の重さ（約5g） ■市販のBlu...

メーカー・取り扱い企業： MEMS-on Technologies株式会社 本社

RF_MEMSプローブ『WR8-Tallシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！プローブ痕サイズ（幅）3…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR8-Tallシリーズ』について ご紹介いたします。 反射損失（GSG-150um pitch typ.）は-10.0dB、耐電力は5Wで、 針圧（推奨オーバードライブ＝20...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD50-Verticalシリーズ』

クロストーク（GSGSG-150um pitch typ.）は-35.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD50-Verticalシリーズ』について ご紹介いたします。 コネクタは2.4mm/F、対応可能ピッチが50～1000umとなっており、 低損失、低反射のエアコプレーナプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP50-Angleシリーズ』

コネクタは2.4mm/F！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計と…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP50-Angleシリーズ』について ご紹介いたします。 周波数帯域はDC～50GHz、挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.6dBで、 特性インピーダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

『MEMSセンシング＆ネットワークデバイス向け装置ラインアップ』

MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプ…

当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。 今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にて お立ち寄りいただいた方からの反響の大きかった製品をピックアップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク

RF_MEMSプローブ『TP67-Angleシリーズ』

挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.8dB！プ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP67-Angleシリーズ』について ご紹介いたします。 コネクタは1.85mm/F（V/F）、対応可能ピッチが50～1000umとなっており、 針位置精度は10um以内です...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP26-Verticalシリーズ』

針材質はニッケル合金！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計です！

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP26-Verticalシリーズ』について ご紹介いたします。 コネクタは3.5mm/F、対応可能ピッチは50～1000umとなっており、 プローブ構成はGS・SG・GSGで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ