オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

慣性センサシステム試験装置『AC 1120Si シリーズ』

MEMSセンサの試験用に適切化された設計！慣性センサシステム試験装置

『AC 1120Si シリーズ』は、慣性装置、慣性計測器およびMEMS センサの試験用に適切化された設計の慣性センサシステム試験装置です。 24または30ラインのスリップリングを内蔵し、連続回転が可能です。 また、テーブルの運転は、RS‐232またはU...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠アビエーション株式会社

半導体検査用部品『プローブカード』

半導体ウエハー上につくられたマイクロチップを同時に多数測定することに優…

AND型フラッシュメモリー等の 検査に使われています。 【特長】 ■マイクロチップを同時に多数測定することに優れている ■DRAMやNAND型フラッシュメモリー等の検査に使用可能 ■MEMSとよばれる高度な技術も用いられている ※お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本電子材料株式会社