オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超精密MEMS金型・MEMS加工

ナノテク分野で必要な微細形状の加工を行えます！　３-Ｄエレクトロフォー…

88nm以下を実現、（4)標準表面硬度は400〜500Hv。（5)内部応力による金型ひずみ無し。100nm形状転写実績有。ナノインプリンティング金型、光学関連、マイクロリアクター等分析・医療機器、MEMS部品の製作が可能。...

メーカー・取り扱い企業： 若狭電機産業株式会社

スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体ま…

などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも好適です。 【特長】 ■微細な凹凸に塗布が可能 ■低粘度から高粘度の薬液に対応 ■数μmから数百μmの膜厚に対応 ■立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

立体レジスト塗布／現象、複合装置　DC120

立体レジスト塗布／現象、複合装置　DC120

MEMSデバイス、各種半導体研究用に開発されたスプレーコーターです。 【特徴】 ○レジスト塗布作業と現像作業を、1台で行う事が可能。 ○スプレー塗布、現像液塗布等の工程を、プログラムにより自由に組み込み可能。 ○ノズルを2個装備。塗布する液体も2種類の設定可能。 ○塗布作業から現像作業に移行するには、塗布台の交換、薬液交換、フィルター部取り外し等作業が必要ですが、最小限の作業になります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 三明電子産業株式会社

最先端コーター『ＨＩＴ-IIIＳ』

塗布材料が最大１／３０に削減可能！成膜を効率よく、最小限のコストで行え…

＜装置の使用例＞ ・自動車：ランプ、フロントガラス、バンパー等 ・レンズ：ハードコート、反射防止膜、防曇膜等 ・太陽電池：Ti02、保護膜、着色膜等 ・化合物半導体：高輝度LED等 ・MEMS：レジス卜等 ・液晶：レジス卜、ブラックマトリックス、Mgo等 ・有機 EL：高分子等 ・プリント基板：銅膜形成、レジス卜、埋め込み、平坦化等 ※詳しくは「ダウンロード」より製品カタロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒットコーポレーション

立体レジスト塗布装置「スプレーコーター　DC110/DC210」

スピンナークラスの薄膜から超厚膜まで対応。膜厚は１μｍ～６００μｍまで…

MEMSデバイス、及び各種半導体研究用に開発されたスプレーコーター ...

メーカー・取り扱い企業： 三明電子産業株式会社

細線用精密塗布FSCC06セレクティブスプレイコーター

１５００センチポイズ粘度以下の塗布液を、0.5mm幅以上の細線を精密ス…

本スプレーバルブは、防湿絶縁材塗布（コンフォーマルコーティング）のセレクト塗布として開発されたもので（特許取得済）、防湿剤塗布だけでなく、塗料、接着剤の細線スプレーや、半導体、MEMS,Battery,Phosphor 等の機能性液体材料の線引き塗布や、医薬、食品向け用の薬液、食用材料塗布等のCoating　Applicationにも展開が可能になりました。インクジェットでは不...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部