リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）

高スループット　高信頼性　低コストなバッチ式処理装置

カセットタイプのバッチ式処理装置です。 ■APM/MS、SPM、HPM、DHF等のRCAプロセスに対応したバッチ処理に最適 ■有機剥離やPoly-Si再生等の基板再生処理にも対応します。 ■MEMS等異方性エッチにも対応実績有り ■300mmまで実績がございます。 ■S/DやIPA蒸気乾燥、温水引き上げ乾燥の各種乾燥ユニットに対応 　◎IPA蒸気乾燥では、ウォータマーク抑制機能を搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

キズがつかない！精密洗浄システム『スノーガンII』※デモ試用可能

廃液処理が不要！超微細ドライアイスパウダーでパーティクル・オイルを徹底…

！ 「ハンドヘルドタイプ」と「電磁弁タイプ」をご用意しています。 【アプリケーション例】 ■レンズ・ミラー　　　■基板・光学部品　　■シリコンウェハー ■半導体回路等のPCB 　■MEMS等の精密機器　■光ファイバー製品 ■通信機器　　　　　　■医療機器　　　　　■航空宇宙関連機器 ■プリンター　　　　　■ディスクドライブヘッド等のメカ機構 　（各場面に適したアタッチメントを...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

精密洗浄システム「水系・準水系洗浄システム」

シャワー洗浄や超音波洗浄をはじめとして、あらゆる技術に対応します。

装置 ○プラスチック成型品用超音波自動洗浄装置 ○水溶性フラックス用純水シャワー自動洗浄装置 ○フィルム基板用純水シャワー自動洗浄装置 ○光学レンズ用水中噴流超音波併用式自動洗浄装置 ○MEMS用純水減圧超音波洗浄装置 ○ダイカスト部品用ネット搬送式温水シャワー自動洗浄装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プリス

『機能水装置』

薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献！機能水装置を多数ラインアッ…

『機能水装置』は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、太陽電池、 MEMS等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。 機能水を使用する事により薬品の使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、 企業・製品のイメージアップにもつながります。 当...

メーカー・取り扱い企業： 日東機器ファインテック株式会社

高周波超音波洗浄処理システム

最小0.1μmからのパーティクルを除去！半導体ウェハなどの洗浄に

【洗浄対象例】 ■半導体ウェハ ■マスク ■LCD ■サブストレート ■MEMS ■太陽光関連 ■微細構造部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光進電気工業株式会社 光進ミニモディビジョン

高周波超音波洗浄処理システム

最小0.1μmからのパーティクルを除去！半導体ウェハなどの洗浄に

【洗浄対象例】 ■半導体ウェハ ■マスク ■LCD ■サブストレート ■MEMS ■太陽光関連 ■微細構造部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光進電気工業株式会社 自然計測ディビジョン

ロールtoロール式フィルム処理装置

Film洗浄・改良装置や簡易Film巻取り・巻返し装置など！多数ライン…

写真と共に詳しくご紹介しております。 是非、ご覧ください。 【掲載内容】 ■Film洗浄・改良装置／詳細 ■Film表面処理装置／詳細 ■Film酸化被膜除去処理装置／詳細 ■MEMS Roll to Roll処理装置／詳細 ■Film表面化学処理装置 ■簡易Film巻取り・巻返し装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部

真空密閉型　超音波洗浄乾燥装置　F1クリーンミニ

大気汚染にもっとも厳しいアメリカ大気浄化管理局（AQMD）が 密閉性…

よりコンパクトになった、真空密閉型超音波洗浄乾燥装置 洗浄用途 ◎　MEMS・CMOS・イメージセンサー、カメラモジュール、電子デバイス等のパーティクル洗浄(除塵） ◎　自動車部品・金属切削部品・プレス部品・ベアリング部品、車輌用ベアリング、軍事部品等の脱脂(グリス除去...

メーカー・取り扱い企業： サクラ精機株式会社 洗浄滅菌機器事業本部

ロールtoロールフィルム処理向け『フィルム洗浄装置』

初めてロールtoロールでフィルム処理をお考えの方に！装置構成は多彩なラ…

ダメージレスで搬送を実施。 また、端面支持搬送による両面洗浄プロセス処理が可能で、純水使用量や フットプリントを大幅に低減できます。 【対象基材】 ■機能性フィルム ■有機EL／MEMS ■液晶デバイス ■太陽電池／2次電池 ■タッチパネル ※詳しくは、PDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部