MEMS | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

自動光スイッチ MEMSベース光スイッチ

高速高い信頼性を実現した光スイッチ。テスト工程を効率化させます。スイッ…

超小型で耐久性に優れたMEMSベースの光スイッチです。研究室や製造ラインでのテストの構成を合理化が可能です。【特長・メリット】 ●シーケンシャルテストを自動化が可能 ●波長800 nmから1590 nmまでの幅広い範囲...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本レーザー

MEMSテストハンドラ『ULTRA P』

MEMSデバイスの測定に好適！温度環境下測定にも対応

『ULTRA P』は、加速度センサー、ジャイロセンサー等MEMSデバイスのファイナルテスト用に開発されたハンドラーです・独自の搬送方式を用いることで最大96サイトの同時測定数を実現し、低温・高温測定、6DOF（3ポジション、3軸ジャイロ）の測定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テセック

傾斜計　傾斜角検出器「CM-961A」：マコメ研究所

傾斜計「CM-961A」はMEMS加速度計を利用した傾斜センサーです。…

傾斜計　MEMS加速度計を利用して検出しています。（MEMS：メムス）また、金属ケースを利用しているため、耐衝撃性、耐振動性を持たせた設計となっています。小型（当社比）出力は電圧出力タイプ1-5Vと電...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社

二軸精密角度計(水準器)／品番 M1173A-2MEMS

2年補償 MEMSセンサー搭載

●2軸同時表示型、高精度デジタル式角度計 ●校正証明書付属(再校正可/有償) ●低コスト化、作業効率UPを実現 ...従来の気泡式の水準器もしくは1軸式デジタル水準器と違い、2軸同時測定機能により高精度CNC機械や試験・計測機器等のメンテナンス時に強力な威力を発揮します。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シロ産業

MEMS慣性航法システム「Apogee」

高性能で汎用性の高いMEMS慣性航法システム「Apogeeシリーズ」

非常に低ノイズのジャイロスコープ、少ない遅延、高い耐振動性を備えており、正確な方向と位置のデータを提供するシリーズ製品です。内部拡張カルマンフィルターがリアルタイムの慣性データとGNSSデータに融合し、過酷な環境（橋、トンネル、森林など）でも位置と方向の測定を強化できます。Ekinoxシリーズと同様、Apogeeセンサには、操作後の分析または後処理用に8 GBのデータロガーが内蔵されています。.....

メーカー・取り扱い企業：株式会社クレアクト

気圧検知式小型高度変化計『AMBD-04』

MEMS技術を用いて生産することで、センサの小型・軽量化と優れた量産性…

気圧検知式小型高度変化計『AMBD-04』は、ピエゾ抵抗カンチレバー型差圧センサによって微小な気圧変化を検出し、リアルタイムに高度変化を測定できるセンサです。既存の高度計と組み合わせた高さ情報の精度向上や、扉の開閉検知などにぜひご活用ください。【仕様】 ■単4乾電池2本サイズ（L40mm×W18mm×H8mm） ■100円玉1枚程度の重さ（約5g） ■市販のBlu...

メーカー・取り扱い企業： MEMS-on Technologies株式会社本社

2軸傾斜センサ－『Pacico25』

2電極間の導電率相対変化を利用！高精度なMEMS2軸傾斜センサ－

『Pacico25』は、最新のMEMS技術を使い傾斜による静電変化による導電率の相対変化を捉えるセンサです。センサそのものが原理的及び構造に長期間厳しい環境に耐えるものとして設計されたケース（防護構造IP67に適合）に収容...

メーカー・取り扱い企業：パシコ貿易株式会社

TrueDyne社製インライン式マイクロ密度計/粘度計/流量計

MEMSセンサを使用した手のひらサイズのガス用/液体用のマイクロセンサ…

スイス　TrueDyne Sensors社はMEMSセンサを使用した非常に各種マイクロセンサ開発に取り組んでいます。手のひらの上に乗るサイズの各種インラインセンサは測定に必要となるサンプル量も少なく、設置場所も柔軟に選択できます。また、相対...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

二軸精密角度計(水準器)／品番 M1173A-2MEMS

2軸同時表示型、高精度デジタル式角度計

●校正証明書付属(再校正可/有償) ●低コスト化、作業効率UPを実現 ●自己校正機能搭載 ...従来の気泡式の水準器もしくは1軸式デジタル水準器と違い、2軸同時測定機能により高精度CNC機械や試験・計測機器等のメンテナンス時に強力な威力を発揮します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シロ産業

角度センサ　HAシリーズ

重力方向を基準とした角度センサ X軸Y軸それぞれの変化量が測定可能 …

MEMS重力加速方式を採用した角度センサ分解能は1度～0.01度までの製品をラインナップアナログ出力・デジタル出力の製品をご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

TVホログラフィー振動変位解析システム　「MEMSMap510」

MEMS 試験やR&D 用のオールイン・ワンシステム

TVホログラフィー振動変位解析システム「MEMSMap510」は、面内振動（In-Plane）と面外振動（Out-of-Plane）を測定します。MEMS構造のモデリングや設計ではその微細構造の挙動が大きい構造物と異なるために解析は難しくなりま...

メーカー・取り扱い企業：有限会社シスコム（SysCom）

I-GRAPHX社製マイクロガスクロマトグラフ

プロセス連続測定対応！心臓部はマイクロテクノロジーで実現された構成部品…

『マイクロガスクロマトグラフ』は、I-GRAPHX社製のプロセスからのサンプリングラインを設けることで、プロセスガスの連続的な測定にも対応する製品です。検出器、カラムにMEMSを用いることにより、一般的なガスクロマトグラフと比較して、小型化、軽量化、短時間測定、サンプルガス/キャリアガス使用量の削減を実現。また、幅広い分析スペクトルを得るために、GCカラ...

メーカー・取り扱い企業：日本カンタム・デザイン株式会社

二軸角度センサー(±25°)／品番　M193SPS-25AG

2軸±25度傾斜計は、MEMSタイプの高精度傾斜計です。サイズも小…

2軸±25度傾斜計は、MEMSタイプの高精度傾斜計です。サイズも小型で使いやすく、設置が容易です。角度範囲が、±25°まで範囲で計測できます。建機や構造物のモニターなどに最適です。水平での静的使用の場合、非常...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シロ産業

インテリジェント小型圧力スキャナ『MPS4264』

9-36V DCの幅広い電源に対応！極めて高いゼロ安定性を実現するダイ…

『MPS4264』は、専用のパッケージと極めて安定した極小圧力センサーを使用した、コアとなるMEMSセンサーパックを軸に設計されたインテリジェント小型圧力スキャナです。 64チャンネルのMEMS圧力センサーを搭載し、TCP/IPプロトコルによるイーサーネット(LAN)通信が可能な他...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大手技研

インテル RealSense LiDARカメラ『L515』

最小レベルの高解像度！毎秒2,300万個の正確なデプスポイントを生成す…

『L515』は、最小クラスかつ電略効率に優れた製品で、高解像度と高精度の深度データを必要とするアプリケーションに好適なデプスカメラです。独自のMEMSミラースキャンテクノロジーを採用したソリッドステート LiDARデプスカメラで、従来ToF（Time of Flight）方式のLiDARと比べても高効率なレーザー出力が可能。毎秒2...

メーカー・取り扱い企業：菱洋エレクトロ株式会社

SS-OCT用光源『HSL-20』

100kHzの安定した高速スキャンが可能！MEMS技術を用いた光源

『HSL-20』は、MEMS技術を用いることで従来技術よりも小型で、高速スキャンが可能な光源です。当社の独自設計により最速で100kHzの安定した高速スキャンが可能。また、当製品はシステムと同期するための...

メーカー・取り扱い企業： santec Holdings株式会社

マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガス…

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、当製品は実流量を高速で追従させることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

PDT102 微差圧トランスミッター

ライフサイエンスやハイテク分野のクリーンルーム向け

PDT102は、主にライフサイエンスやハイテク分野のクリーンルーム向けに設計された高性能機器で、堅牢なMEMSシリコンセンサ技術により、優れた精度、感度、安定性、耐久性を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業：ヴァイサラ株式会社

精密デジタル水準器　DWL-3000XY、DWL-3500XY

2軸同時測定！振動計内蔵型　MEMSセンサー搭載　防水機能あり　デモ機…

0XYは、 2軸式高精度デジタル水準器（振動計内蔵）です。これらのデジタル水準器は高い精度で角度＆振動測定の値を同時に表示することを実現し、プロ（専門家）のために設計された先進のMEMSセンサ技術を搭載した商品となっています。また、PCと接続できるこれらの商品は、リモートでリアルタイムにデータ収集分析をすることが可能です。従来の気泡式の水準器もしくは1軸式デジ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アカツキ製作所

微小ピンセット　「ナノピンセット」

MEMS技術を用いてシリコンウェハを微細加工して作製されたピンセットツ…

アオイ電子製「ナノピンセット」は、ナノ・マイクロサイズの試料把持を行うためのグリップツールです。 MEMS（Micro Electro Mechanical System)技術により把持力を精密制御でき、TEM試料をはじめとする分析用試料や、細胞などのバイオ試料まで、硬軟様々な試料の把持に対応できます...

メーカー・取り扱い企業：アオイ電子株式会社

高精度9軸慣性計測（IMU）ユニット　LPMS-IG1/IG1P

高精度・低遅延の測定が求められる産業環境に！センサーフュージョン機能を…

ータを処理、低ドリフトかつ高精度に結果を即時計算。高精度・低遅延の測定が求められる産業環境に向いています。【特長】 ■防水仕様（IP67） ■センサーフュージョン機能を搭載したMEMS9軸IMU ■低ノイズ/低ドリフト (4℃/1h)の加速度センサを搭載 ■姿勢/線形加速度をリアルタイムにセンサ内部で計算 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社LP-RESEARCH

レオセンス社全自動超微量サンプル粘度計

最少10μLの微量サンプルで、10万cpまでの高精度粘度測定。96穴プ…

レオセンス社製の超微量サンプル粘度計はMicorofluidics（マイクロ流体制御工学）およびMEMS（微小電気機械素子）テクノロジーを応用した、革新的な測定システムを採用しております。長方形の微細流路（深さ：20～100μm）にサンプルを流した際に、流路内配置された複数のセンサーで圧力を測定しま...

メーカー・取り扱い企業： DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社テクノロジー事業部門

小型高応答低容量1軸加速度計【ARGL-A】

直流型動ひずみ測定器で使用可能なMEMS加速度センサ(低容量)

MEMS 加速度センサーを搭載した、小型・高応答の加速度計です。小型・軽量かつ堅牢なので、機械、車両、船舶、土木・建築などの幅広い分野における計測に使用できます。外部電源を必要とせず、当社の直流型動ひずみ測定器に接続するだけで、簡単に使用することができます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京測器研究所

スマホ対応二軸無線水準器(角度計)／M1173WL-2411XY

2軸精密デジタル平型水準器 1台2役で低コスト化。作業効率を…

モバイルアプリとBluetooth接続で2軸同時表示 ●モバイルご購入のお客様は、モバイルアプリが1台分のみ無償インストール可能(シリアルコード付属) ●最大2台までのデバイスと同期可能 ●MEMSセンサー搭載...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シロ産業

超音波式リーク検知カメラ「サーチソニックイメージャー」※動画あり

小さなガス漏れ・空気漏れ・放電などの異常も視覚により識別、発見します。

■主な仕様・検知原理：ビームフォーミングテクノロジー・センサ原理：112chデジタルMEMS ・周波数範囲：2k～48kHz ・マイクロフォン感度：-41dB（A）・検知距離：0.3m～50m ・フレームデート：25FPS ・ディスプレイ：５インチ640×480タッチスクリー...

メーカー・取り扱い企業：日本ハネウェル株式会社本社

GNSS+IMUハイブリッドセンサー『CNS-5000』

GNSS信号をより短時間に再捕捉！高精度FOGジャイロを搭載したGNS…

ーです。ディープカップリング技術により、GNSS信号の受信が困難であったり、信号が途切れたりする、測位が困難な環境でも、常に安定した位置情報、速度、姿勢データを出力。また、MEMS各加速度計を3ユニット内蔵の「1725/1750/1775 IMU」も取り扱っています。【特長】 ■FOBベースのIMUを搭載し、優れた安定性と信頼性を実現 ■GNSS信号が途切れ...

メーカー・取り扱い企業：イネーブラー株式会社

高感度・広帯域振動センサ smartPREDICT-AE

高感度・広帯域の振動センサで、より早い故障前異常検出や予防保全。より精…

ステムです。機械の発する振動を高感度で検出し高い精度で稼働状態や構造にかかっている負荷状態のモニタリングを可能にします。高帯域動作、高感度振動検知機能に加え、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）が加速度と角速度を計測し、追加のモーション情報として提供します。smartPREDICT-AEの底面にはiMPactXSと並び温度センサが備わっており、機内温度をサンプル値としてモニタリングする...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イリス東京本社、大阪支店、名古屋支店

炭化水素ガス検知警報器『GasSecure GS01』

防爆取得済！ケーブル工事が不要のワイヤレスの炭化水素ガス検知警報器

計で、お客様に費用対効果の高い付加価値をご提供します。赤外線、技術、定期的な校正が不要で、安定したガス検知を生涯実現します。【特長】 ■信頼性の高いシングルビーム、トリプル波長のMEMS ■SafeWireless 通信 ■SIL2 適合 ■ケーブル不要のワイヤレス通信 ■本質安全防爆認証 ■プロジェクト総費用の最大 60～80%の削減 ※詳しくはカタログをご覧頂...

メーカー・取り扱い企業：ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部

2軸傾斜デジタルセンサ『DP2シリーズ』

【総合カタログ進呈中！】温度特性と分解能に優れた高精度な傾斜計！アナロ…

『DP2シリーズ』は、MEMS技術の2軸傾斜センサを搭載したアナログ/デジタル同時出力が可能な2軸傾斜デジタルセンサです。長期間厳しい環境に耐えるものとして設計されており、防護構造IP67に適合したアルミケース...

メーカー・取り扱い企業：パシコ貿易株式会社

Cremat社電荷感応型（チャージ・センシティブ）プリアンプ

容量性センサ用の電荷感応型（チャージ・センシティブ）プリアンプを主体と…

APD（アバランシェ・フォトダイオード）、PMT（光電子増倍管：フォトマル）、MEMS 静電容量方式加速度センサなど、エネルギーの強さに比例した電荷（チャージ）を検出する方式の検出器やセンサが測定対象です。チャージ・センシティブ（電荷感応型）・プリアンプでは、検出器から来た...

メーカー・取り扱い企業：大栄無線電機株式会社

顕微鏡型レーザドップラ振動計『KV100シリーズ』

S/Nの良好な測定波形を出力！導入コストが従来の顕微鏡システムに対し、…

『KV100シリーズ』は、操作性に優れたコンパクト顕微鏡システムです。必要十分な機能をコンパクトボディに装備。研究用途や生産ライン等、微小構造物(MEMSなど)の振動測定に威力を発揮します。測定物までのクリアランスを確保することで、真空チャンバなどを使用時でもセッティングが容易です。また、レーザ光の照射方向は垂直方向の他、水平方向へ...

メーカー・取り扱い企業：協立電機株式会社

ポータブル式超微量サンプル粘度計『micro VISC』

サンプル量が少なくても高精度・高再現性を発揮！1～2分で測定可能な粘度…

『micro VISC』（マイクロビスク）は、縦145mm×2161mm 重さ0.8gのポータブル式の超微量サンプル粘度計です。マイクロ流体制御工学、微小電気機械素子（MEMS) テクノロジーを応用した革新的な測定システムを採用。少サンプル量(100μL～)でも高精度・高再現性を発揮し、簡単・スピード操作で測定は1～2分で完了します。【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社テクノロジー事業部門

超微量サンプル粘度計

高精度・高再現性！レオセンス社製の3タイプの超微量サンプル粘度計をご紹…

度スキャン対応の全自動タイプの「VROC initium」をラインアップしています。【特長】 ■高精度・高再現性 ■Micorofluidics（マイクロ流体制御工学）および　MEMS（微小電気機械素子）テクノロジーを応用 ■流路内配置された複数のセンサーで圧力を測定する ■グラフの傾きから粘度を算出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： DKSHマーケットエクスパンションサービスジャパン株式会社テクノロジー事業部門

【新型】真空計アクティブゲージ

ユーザー向けに最適化されたアクティブゲージ

ライボルトの新型真空計。キャパシタンスマノメーターにはインコネル製のダイヤフラムを採用し、振動や衝撃への耐久性が向上しました。ピラニはMEMSピラニを採用。センサ部に可動部品がないため、振動とショックベントに対する高い耐久性があります。...

メーカー・取り扱い企業：ライボルト株式会社

マイクロ真空計

高真空の計測が可能なマイクロ真空計

MEMS技術加工により、シリコン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

プログラマブル電流増幅器『CA5351』

PD, APD, PMTなど,電流出力センサの信号を高感度検出。放射光…

プログラマブル電流増幅器 CA5351は、利得可変タイプの電流入力−電圧出力増幅器です。他にはない高利得と広帯域の両立を実現し、高速応答にも対応します。入力付加容量に対する安定動作により、パルス応答に対してもオーバシュートやリンギングが発生しません。高性能に加えて、操作性も追求し、放射光施設をはじめ、先端研究から産業分野まで、多様な微小電流測定に対応します。【特長】 ■高利得...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エヌエフ回路設計ブロック

微差圧／圧力計『ハンディデジタルマノメーター DMH-01』

片手で使えるサイズで衝撃防止用シリコンカバー付き！データの蓄積・出力も…

ーター DMH-01』は、単三電池駆動の片手で簡単に使えてデータの蓄積・PC出力にも対応した微差圧／圧力計。現場での空気圧計測時における作業性の向上に役立ちます。小型・低消費電力のMEMS半導体センサーを搭載し、重さはわずか350g。 0～±100kPaの幅広い計測範囲に対応し、正圧の場合は1MPaまで高速サンプリングでの計測が可能です。【特長】 ■計測範囲は0～±10...

メーカー・取り扱い企業：株式会社木幡計器製作所

超音波式ガス漏れ検知カメラ SearchSonicImager

様々なシーンに隠れている圧縮空気やガス漏れの位置を特定！視覚的に画面で…

品コード：22255 ※お問い合わせ時こちらの番号をお伝えいただけるとスムーズです。【仕様(抜粋)】 ■検知原理：ビームフォーミングテクノロジー ■センサ原理：112chデジタルMEMS ■周波数範囲：2k～48kHz ■マイクロフォン感度：-41dB(A) ■検知距離：0.3m～50m ■フレームデート：25FPS ※詳しくは下記の「PDF...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レックス

パイプ傾斜計【NETIS登録技術】

１孔で傾斜と水位観測をおこない掘削コスト低減。長期観測にて品質の向上が…

「地中傾斜と地下水位を単一のボーリング観測孔で測定可能」パイプ内に空間を確保することで、従来の水位センサなどを使用可能です。MEMS加速度センサを独自の防水構造でパイプに装着し、高耐久性を実現しました。方位センサを装着することで傾斜方向の算出が可能です。センサケーブルを1本化したシンプルな構造なため、配線処理が簡単です...

メーカー・取り扱い企業：明治コンサルタント株式会社

受託サービス：質量ガス分析＜分析システムの解説付き資料進呈＞

高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも…

小リークの検出が可能。半導体デバイスの不良解析、品質改善、品質管理に貢献します。【測定例】 ■半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 ■半導体ウェハ基板からのガス放出測定 ■MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 ■封止デバイスの極微小リークチェック ※「PDFダウンロード」より本サービスの紹介に加え、　分析システムに関する解説を掲載した資料をご覧いただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業：東京電子株式会社

SMDパッケージの小型赤外光源

小型なのに驚くほど高出力な赤外光源

びデバイスやバッテリー駆動型デバイスに最適です。 ■2μmから20μmまでの広い波長範囲 ■業界標準のSMDパッケージに収められたパルス可能な熱黒体赤外光源 ■特許取得済みのナノ構造放射素子が、MEMS発光体と比較して最大1000%の検出信号を生み出す黒体スペクトルを生成 ■携帯型やバッテリー駆動型デバイスに最適 ■SMDパッケージは、ピックアンドプレース機械を使用したPCB上での低コスト大量組...

メーカー・取り扱い企業：ケイエルブイ株式会社

軽量でコンパクト！隔膜真空計『キャパシタンスゲージ』

圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最…

温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』【特長】 ■高精度で安定した圧力測定・優れたゼロ点安定性・低温度依存性・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト・消費電力0.5W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【ラインアップ】 ■M-342DG-1...