オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

MEMS用統合解析ソフトウェア『IntelliSuite』

各種マスクデータ形式に対応！製品の迅速かつ的確な開発、改良のための設計…

『IntelliSuite』は、半導体素子の製造工程を利用したマイクロマシン(MEMS)の 製造工程の検討から、デバイスの性能評価まで一貫して検討することを 目的とした、統合型の設計・解析ソフトウェアです。 汎用性を持たせることによる弊害の排除、数値解析におけるユーザー負...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンストテクノロジー

ソフトウェア『LayoutEditor』

多チップモジュール、低温共焼きセラミックスなどの設計によく使用されます…

『LayoutEditor』は、MEMS/IC製造に使用されるレイアウトを編集するための 洗練されたソフトウェアです。 GDSII、OpenAccess、OASIS、DXFなどのさまざまなファイル形式をサポート。 当製品は...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社B7

IMUセンサ「3DM-GX5シリーズ」

超小型・超軽量のIMU「3DM-GX5」のご紹介

LORD MicroStrain社の3DM-GXシリーズは、サイズ20mm、重さ20gのIMU(慣性計測装置) です。 MEMSセンサーを用いた高性能ジャイロ方位角センサーで、主要な加速度計(3軸)、角速度計(3軸)、磁力計(3軸)、温度センサー、プロセッサ等が内蔵されています。 独自のアルゴリズムで長時間計測での安定性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレアクト