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PR高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内…
当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析(リーク量測定)を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真空構造材を採用しており、 デバイスの破壊試験による10^-15Pa・m3/s(He)以下という極微小リークの検出が可能。 封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。 半導体デバイスの不良解析、...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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PR電磁界解析のスペシャリストが課題を解決 ~ソルバー開発から受託解析まで…
サイエンスソリューションズでは,開発や製品化,製品トラブル時におけるお客様の課題を,電磁界解析技術サービスを通じでサポートします。 【お客様の課題例】 ・手持ちのソフトウェアでは解析できない ・ソフトウェア導入にあたって,効率的に立ち上げたい ・解析結果がすぐに必要 ・技術者が不足している。電磁界解析のノウハウがない。 ・解析頻度が少なく,ソフトウェアの維持が困難 ...
メーカー・取り扱い企業: サイエンスソリューションズ株式会社
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MEMS素子検査装置(メムス 微細穴深さ計測、パターン検査)
MEMS素子検査装置として、微細穴深さ計測装置とパターン検査装置をご用意しております。微細穴深さ計測装置は赤外線カメラと特殊アルゴリズムを用いて通常では計測不可能な直径20μm以下の非貫通穴の深さ計測を可能にしました。パターン検査装置は赤外線顕微鏡と電動ステージを使用した自動赤外線画像処理検査装置で欠陥の自動検出を行います。欠陥部の位置、サイズ、画像を保存でき、MEMS(マイクロマシン)の検査用途に使用...
メーカー・取り扱い企業: ディスク・テック株式会社 本社
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TVホログラフィー振動変位解析システム 「MEMSMap510」
MEMS 試験やR&D 用のオールイン・ワンシステム
TVホログラフィー振動変位解析システム「MEMSMap510」は、面内振動(In-Plane)と面外振動(Out-of-Plane)を測定します。MEMS構造のモデリングや設計ではその微細構造の挙動が大きい構造物と異なるために解析は難しくなりま...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社シスコム(SysCom)
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1.3メガSWIRカメラ搭載!チップ内部のメタル配線、ダイボンディング…
『NIR2021-200』は、赤外光の透過・反射特性を利用してシリコンウェハや チップ、MEMS、CSPなど半導体デバイス内部を観察できる顕微鏡です。 1ピクセル5μm、1.3MPのSONY製IMX990を搭載したSWIRカメラを搭載し、 近赤外画像でありながら、高解像画像の取得が可...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社清和光学製作所
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インライン検査に最適、MEMSスキャナ検査システム
MEMS光学スキャナの光学、電気特性を測定する生産ライン用、研究開発用の検査装置です。 レゾナントタイプの共振特性やドリフトも測定可能です。 最大振り角計測には新方式の時間計測方式で検査タクトの短縮が図れます。 インターフェースは電磁駆動方式、静電駆動方式、ピエゾ方式のいずれも可能です。 コンパクト設計でインライン検査に最適です。 ○ウォブル測定(3角スリット時間変化検出方式) ...
メーカー・取り扱い企業: エーエルティー株式会社
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