リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

『MEMSセンシング＆ネットワークデバイス向け装置ラインアップ』

MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプ…

当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。 今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にて お立ち寄りいただいた方からの反響の大きかった製品をピックアップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク

極微小リーク分析

極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご…

刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデバイス(封止デバイス)への気体混入(リーク)は僅かでも 劣化し信頼性を著しく損なう...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

赤外ソース　IRエミッター

MEMS ベースのNDIR ガス分析用赤外線エミッター

id のIR エミッターは、NDIR ガス分析における信頼性の高い正確な測定結果を保証します。あらゆるアプリケーションに対して、エンジニアリング技術、パッケージング技術、そして自社工場で生産されるMEMS エミッターチップの最適な組み合わせを用意しています。 マイクロハイブリッドJSIR エミッターは、真の黒体放射特性を持つNAC またはC-MOSIのMEMS ベースの赤外線エミッターです。 ...

メーカー・取り扱い企業： オプティカニクス株式会社 本社

開発製品　※ウエハプロセスから実装までワンストップ対応

お客様の要求に、開発段階から量産までお答えします。

ことで、接着する範囲を指定することができ、 高い接着精度を実現できます。 ★マイクロプレート アンカー効果で狙った位置に最適な形状で検体を保持します ★精密治具・精密金型 半導体MEMS技術を駆使した高精密なツールです。 その他、液体パーティクルカウンターやMEMS製品などの開発製品を揃えております。 詳細資料がほしい方は資料請求をお願いします。 ...

メーカー・取り扱い企業： シチズンファインデバイス株式会社

インライン・プロセス用近赤外分光分析計SentroPAT BU

製薬混合工程の回転するコンテナに取付て使用する、NIRを用いた混合均一…

造販売するSentroPAT BUは、製薬混合工程専用の近赤外分光分析計です。 作成したモデルをリアルタイムで運用し、混合均一性とAPI/賦形剤含有量のリアルタイム監視します。 ■高性能のMEMS分光器 波長可変レーザーを用いたMEMS分光器を使用しています。 優れた光学解像度と低ノイズにより高分解能なスペクトルを得られます。 ■キャリブレーション/スケールアップ 医薬品メーカ...

メーカー・取り扱い企業： P. I. E株式会社

超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減！一般的な四重…

UHVの高精度な質量分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析（質量分析） ■微量ガス分析（TDS／Out Gas） ■封止デバイス／MEMSの質量分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアッ…

■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析（TDS/Out Gas） ■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析 ■?気圧分析（呼気、燃焼ガス、触媒反応） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

MSS膜型表面応力センサチップ

ターゲットとしているガスや匂い分子の存在を検出！磁気トルク検出実験も可…

『膜型表面応力センサチップ』は、シリコンメンブレンとピエゾ抵抗を持つ 梁で構成されるMEMSセンサーです。 外部の力により発生するわずかなメンブレン変形を、ピエゾ抵抗を使って検出。 [人工臭覚への応用] コーティング膜がVOCを吸収すると、受容体層は表面応力を生じ、膜を変形させ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NanoAndMoreジャパン 本社

わずか15gで超小型！近赤外分光センサモジュール

手のひらサイズでわずか15gの小型軽量化を実現！ 40,000時間と…

・MEMS型ファブリペロー波長可変フィルタ技術使用 ・近赤外の波長範囲に対応したセンサをラインナップ ・従来型分光器と比較し、小型、高感度、低コスト化を実現 ・冷却付きリニアアレイタイプと比較し約3 ...

メーカー・取り扱い企業： ケイエルブイ株式会社

マイクロ流路　※微小な液体を高精度制御！測定します！

MEMS技術・機能性薄膜技術を用いて微小液体を高精度に制御する！測る！…

■半導体プロセスを用いた超高精度3次元構造 ■混合、分離、抽出の高精度・高速化を実現する超微細流路 ...用途に応じて基材をご提案します。（Si、セラミックス、水晶）...

メーカー・取り扱い企業： シチズンファインデバイス株式会社

医療、輸送、航空宇宙など過酷な条件対応『センサー総合カタログ』

『コンパクトで高精度』『顧客密着で低コスト』センサのラインナップを無料…

す。 高い耐久性を要求される宇宙空間や自動車衝突安全実験、絶対の信頼性が求められる医療現場、高いコストパフォーマンスを要求される家庭用電気機器など、多くの分野で同社の製品が選択されています。 MEMS技術を用いた加速度センサーなど、価格も極めて低コストの製品群もご用意がございます。 センサーのお悩みがあれば、ぜひ一度お問い合わせください。 【掲載センサ】 ・圧力センサ ・力センサ ...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

自動極小接触角計　MCA

ナノテクノロジーの世界を開く！ 微小液滴での接触角測定、多面的解析で…

ウエハやガラス基板などに刻まれるパターンは微細化されている。マイクロマシン／MEMSの分野における次の表面評価装置として、自動極小接触角計MCAは注目されている。...

メーカー・取り扱い企業： 協和界面科学株式会社

CT検査システム『YXLON FF35 CT』

小型／中型部品向けの工業用高分解能CT検査システム

【検査対象】 ■エレクトロニクス部品（SMDなど） ■IC部品 ■新素材のプローブ（金属、プラスチック、CFRPなど） ■マイクロシステム、MEMS、MOEMS ■医療用品（中空針など） ■小型の金属部品（射出成型など） ■電子デバイス ■小型の鋳造部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※英...

メーカー・取り扱い企業： コメットテクノロジーズ・ジャパン株式会社 コメット・エクスロン事業部

質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか？

答えはこちら！質量分析のソリューションと事例をご紹介！

■XHV／UHVの高精度なガス分析 ■表面分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電子刺激によって発生するガス分析 ■微量ガス分析（TDS／Out Gas） ■封止デバイス／MEMSのガス分析および、10-17Pa・m3／sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験および、微小気泡ガス分析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社