リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

超音波式リーク検知カメラ「サーチソニックイメージャー」※動画あり

小さなガス漏れ・空気漏れ・放電などの異常も視覚により識別、発見します。

■主な仕様 ・検知原理：ビームフォーミングテクノロジー ・センサ原理：112chデジタルMEMS ・周波数範囲：2k～48kHz ・マイクロフォン感度：-41dB（A） ・検知距離：0.3m～50m ・フレームデート：25FPS ・ディスプレイ：５インチ640×480タッチスクリー...

メーカー・取り扱い企業： 日本ハネウェル株式会社 本社

赤外線顕微鏡　「ＩＲ−1300」

傷や異物の寸法計測も可能！シリコンチップの内部観察に適しています！

MEMSに於いて赤外線でウェーハ裏面の観察を行う際に鮮明な画像が得られないケースは多々ありますが、その画像をエンハンサソフトで鮮明にする事が可能です。傷や異物の寸法計測も可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社