オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超低圧デジタルMEMSセンサ『SM9000シリーズ』

圧力校正及び温度補償済出力！垂直方向または水平方向のデュアルポーティン…

『SM9000シリーズ』は、125Paという低い圧力レンジに対応しており、 16ビットのI2Cデジタルインタフェースを備えたMEMSセンサです。 JEDEC規格に準拠したSOIC-16パッケージのゲージ圧力および差動圧の 構成で提供。 ボードマウントおよびシステムレベルの自動ゼロ後の総合誤差バンドは 1％FS未...

メーカー・取り扱い企業： グローバル電子株式会社

航空・人工衛星に最適なMEMSジャイロ

高信頼性、高精度MEMSジャイロと加速度センサによる小型人工衛星の姿勢…

当社が取り扱う『航空・人工衛星に最適なMEMSジャイロ』をご紹介します。 近年の宇宙産業では民間企業が参入し、人工衛星の低コスト化と小型化が 進んでいます。 当社の製品はこれまでに多くの人工衛星に搭載され、軌道上で運用されていま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

海洋・船舶用途MEMSジャイロスコープ

手頃な価格とFOGを凌駕する性能を両立したMEMSジャイロ

当社が取り扱う『海洋・船舶用途向けMEMSジャイロ』をご紹介します。 当社の製品はROVやAUV等船舶の測位システムや船体運動の監視、および制御等に役立てていただいております。 従来海洋業界では高額な光ファイバジャイロ（FOG）が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

地下掘削用途向けの堅牢、高精度MEMS慣性センサ

経時変化や温度変化、衝撃および振動に対して非常に安定した高精度MEMS…

当社が取り扱う『地下掘削用途向けMEMSジャイロ』をご紹介します。 地上と違ってGPSを利用できない地下掘削用途では、磁力の影響を受けず、 振動に強い高精度なセンサが求められます。 掘削ツール用に最適化された当社の製品は数...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

鉄道用途向け高精度MEMS慣性センサ

低ドリフト、低ノイズを実現した高精度MEMSジャイロ

当社が取り扱う『鉄道用途向けMEMSジャイロ』をご紹介します。 多くの列車が日夜通行することにより、線路には「軌道狂い」と呼ばれる 歪みを生じることがあります。 当社の製品は線路の点検保守ツールや鉄道車両のボギー台車等...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン

傾斜計　傾斜角検出器「CM-961A」：マコメ研究所

傾斜計「CM-961A」はMEMS加速度計を利用した傾斜センサーです。…

傾斜計　MEMS加速度計を利用して検出しています。（MEMS：メムス） また、金属ケースを利用しているため、耐衝撃性、耐振動性を持たせた設計となっています。小型（当社比） 出力は電圧出力タイプ1-5Vと電...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マコメ研究所 (MACOME) 本社

MEMSファウンドリーサービス　APM

MEMS専門技術ファンドリー　APM

Asia Pacific Microsystems, Inc.（APM）は、ハイテク産業の集積拠点である台湾の新竹に所在しています。18年以上のIC製造分野の経験と実績を生かしたMEMS専門技術ファンドリーでセンサdie（チップ）を中心に製作しております。 【特徴】 1. TS16949システムでの自動車部品グレード品質 2. 圧力センサの開発・製造・試験を支援 3. 自...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテクソリューション

傾斜センサ|小型1軸・２軸 傾斜センサ B1N/B2Nシリーズ

耐衝撃・耐環境性に優れ、MEMS技術の採用により分解能は最高0.01°

『 B1N/B2Nシリーズ』は、悪環境下において傾斜角度の高速測定が可能な傾斜センサ。 【主な特長】 ・MEMS技術の採用により高精度に角度を検出。分解能は最高0.01°。 ・高い耐環境性能を持ちます。保護等級IP68/69Kを実現。過酷な環境下での使用に適しています。 ・対象物に直接設置することが可能...

メーカー・取り扱い企業： ターク・ジャパン株式会社

高機能小型ワイヤレスモーションセンサ『LPMS‐B2』

【Bluetoothでの無線接続が可能】高い精度と品質！サイズやコスト…

『LPMS‐B2』は、Bluetooth接続によってPCやスマートフォン等の ホストシステムと通信が可能な小型ワイヤレスモーションセンサです。 センサーフュージョン機能を搭載したMEMS小型6軸IMU。 小型ながらも高い精度・品質を誇り、機械/人間の動作の検出・測定など サイズやコストが重視されるアプリケーションに好適です。 【特長】 ■センサーフュージョン機能を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社LP-RESEARCH

エアーフローセンサー|PMF4000シリーズ

最新のMEMS技術とエレクトロニクステクノロジーを採用したサーマルフロ…

PMF4000 シリーズは、最新のMEMS技術とエレクトロテクノロジーを採用したエアーフローセンサーです。センサーは、センシング表面を流れる加熱された流体の温度変化を、流量変化に変換することにより、高感度で優れた安定性能を発揮します。 ...

メーカー・取り扱い企業： オールデバイス株式会社

IO-Link対応 傾斜計 傾斜センサ QR20-IOLシリーズ

IO-Link対応傾斜センサB1NF&B2NFシリーズは、加速度センサ…

＜製品概要＞ Turckは、加速度センサ技術（MEMS）とジャイロスコープ技術を組み合わせた新しいダイナミック傾斜センサをリリースしました。従来の信号フィルターよりもはるかに効果的に衝撃や振動の影響を抑える安定かつ正確な角度測定が可能です。 角速度...

メーカー・取り扱い企業： ターク・ジャパン株式会社

電気自動車向けセンシング&セーフティソリューションカタログ

Honeywell の電気自動車向けセンサとスイッチは、性能と信頼性の…

ために、さまざまなセンシング方式を提供しています。バッテリーセーフティエアロゾルセンサは、光散乱の原理を使用してエアロゾル（粒子状物質）の存在を検知します。一方、バッテリーセーフティ圧力センサは、MEMS（微小電気機械システム）技術とASIC（特定用途向け集積回路）技術を使用して、電気自動車のバッテリーパック内での過渡圧力の変化を検知します。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ハネウェル株式会社 本社

微圧・低圧圧力センサ｜アプリケーションカタログ ※無料進呈中

オールセンサーズの圧力センサデバイスは、産業用途から医療機器、IoT、…

おいて重要な役割を担います。産業市場はかかなり低い真空（ネガティブ）や超低圧（1inH2O以下）から超高圧（10,000psi以上）のような幅広い領域の用途に及んでいます。 ◆医療用途◆ MEMS圧力センサは、増え続けているポータブルヘルスケアモニタリング製品を可能にする要因の1つです。医療・ヘルスケア用途で圧力センサは様々な計測に使用されています。 ◆モノのインターネットIoT◆ ...

メーカー・取り扱い企業： オールデバイス株式会社

光電子センサー

ニーズに合わせたセンシングソリューション！自社生産によるウエハでの提供…

『光電子センサー』は、MEMS、マイクロシステム、ハイブリッド技術を 用いたユニークな製品です。 PD（フォトダイオード）、APD（アバランシェフォトダイオード）、 LD（レーザダイオード）、PSD（光位置センサ）を...

メーカー・取り扱い企業： 丸文株式会社

エアーフローセンサー|PMF2000シリーズ

最新のMEMS技術とエレクトロニクステクノロジーを採用したサーマルフロ…

PMF2000 シリーズは、最新のMEMS技術とエレクトロテクノロジーを採用したエアーフローセンサーです。センサーは、センシング表面を流れる加熱された流体の温度変化を、流量変化に変換することにより、高感度で優れた安定性能を発揮します。 ...

メーカー・取り扱い企業： オールデバイス株式会社