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インテリジェントリモートプラズマソース『Paragon(R)』
NF3最大流量8slm、独自のPEOプラズマブロック設計によりプロセス…
「Paragon(R)」は、量産実績のあるMKS低磁場トロイダルプラズマ源の特性を基に、次世代ナノプロセス開発と製造に、より適したデータ転送と制御性を実現しました。 CVDおよびALD/ALEプロセスチャンバークリーニングに対応し、8slmの...
メーカー・取り扱い企業: 日本エム・ケー・エス株式会社
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