【お役立ち情報】アルミナ代替　複合材料SA701

PR大型アルミナ部品でお困りのお客様へ － その問題、セラミックス複合材料…

半導体製造装置関連の市場拡大に伴い、セラミックスの調達問題が発生しております。特に大型アルミナ部品は供給元が限られ、長納期化により装置開発スケジュールに影響がでております。 セラミックス金属複合材料SA701は、アルミナに比べヤング率や曲げ強度は若干劣りますが、破壊靭性値が高く割れにくい材料であり、ハンドリングが容易です。密度はアルミナの約3/4と軽く、直ネジを加工できるため、金属ブッシュを必要...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

半導体製造等の露光工程における、開発/納期の短縮とコスト削減に貢献しま…

加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー）製造工程・プリント基板製造工程における露光技術では、フォトマスクを使用し、それを基盤に転写する方式が主流です。 一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を用いた独自のポイントアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。 フォトマスクを使用しない露光方式では、世界最高レベル（1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大日本科研

高性能のまま低価格を実現！『単結晶育成引上工程用ロードセル』

【ＣＺ法単結晶育成装置用】種付けから回転引上げ、インゴット完成まで重量…

単結晶育成時の初期工程と自動直径制御(ADC)に使用される高性能ロードセルです。 回転しながら成長する単結晶の重量を正確に安定した電気出力に変換します。 チョクラルスキー(CZ)法による引上げ装置の重要なセンサとして使用できるよう、ロードセル検出部には独特の荷重センサを用いました。 ロードセルの使用温度範囲では補償回路の働きにより、ロードセル自体では冷却用の不活性ガスを必要としません。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

半導体製造装置用チラー

半導体製造装置向けに設計されたチラーです。

MX500 最大19.3 kWの冷却能力で、0.5℃の温度安定性を持つ 水冷式循環冷却装置です。半導体製造工場のクリーン ルーム内で要求されるSEMI規格に準拠するためのEMO(緊急停止 ボタン)やLOTO(電源の遮断固定、警告表示）などのオプション を標準装備しています。 NESLAB３（SYSTEM３） 冷凍機冷却システムを使用せず、循環水で吸収した熱を水道水や 工場水で冷却する...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

Thermo Fisher Scientific社製中古チラー

Thermo Fisher Scientific社製の中古チラーを純正…

取扱いモデル例 ・SteelHead ・MX500 ・SYSTEM3 ・M-75 ・ThermoFlexシリーズ各種 在庫状況につきましては別途お問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社