各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

OPIE2024_ポジショニングEXPOに出展と製品のご紹介

PR高精度で1軸～多軸構成、高機能コントローラ、グラナイト製品などを統合し…

【OPIE 2023 ポジショニングEXPO】に出展いたします。 日時：4月24日(水)〜26日(金)　10時～17時 場所：パシフィコ横浜 ブース番号：E-32 【出展製品例】 • 6軸位置決めヘキサポッドステージ • レーザー加工や計測機などに好適なXY＋Z位置決めシステム • エアベアリング：XY軸ステージと回転ステージ • 高速高加速リニアモーターステージ • ナノメ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

冷凍式精密ドライヤー RAVシリーズ

オリオン機械/圧縮空気温調機。圧縮空気をヒートポンプバランス制御で±0…

■ヒートポンプバランス制御で最大70％以上の省エネ(ヒータPID制御方式比) ■空冷式なのに低排熱(排熱70％カット) ■省エネで周囲環境にもやさしい設計 ■独自のインテリジェントモニタで多彩な運転設定が可能 ■制御精度 ±0.1℃...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

精密温調エアードライヤー RAVシリーズ(空冷)

ヒートポンプバランス制御(ヒータレス) ※により ヒータPID制御方式…

精密温調エアードライヤー/RAVシリーズは、±0.1℃の温度制御精度ながらも冷媒圧縮時に出る熱を利用したヒートポンプバラス制御(ヒータレス方式)でヒータPID比較最大70％以上の省エネを可能にした圧縮空気除湿温調機です。空冷式にもかかわらず低排熱で最大50％の排熱をカットし設置箇所の室温上昇を抑制します。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

小型電気炉 FB1314M・FB1414M

最高1100℃。炉内容量1.3Lと2.1Lの2タイプ。素早い加熱と優れ…

■FB1314M 炉内容量：1.3L 設定温度範囲：100～1100℃※ 温度精度(1000℃時)：±0.3℃ 温度均一性(1000℃時)：±7.8℃ 温度制御方式：PID制御 炉内寸法(w×d×h)：10.3×13×9.8cm 外部寸法(w×d×h)：23×33×36cm ■FB1414M 炉内容量：2.1L 設定温度範囲：100～1100℃※ 温...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

強制循環式オーブン SMO5-M

新型コロナウィルスで不足するN95マスク再利用の滅菌をサポート、アメリ…

加熱 ■取り出し時の接触回数を抑えられるスライド棚 ■棚は0.5インチ（12.7mm）単位で高さを調節可能 ■処理目安：1回でN95マスクを約60個※1 ■広い加熱温度範囲、応答性に優れたPID温度制御 ■チャンバーと棚は消毒しやすいステンレス製 ■コントロールパネルにデジタルタイマーを装備 ■単相電源を使用可能※2 ■ISO9001取得生産工場で製造（アメリカ製） ■滅菌用途...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

高精度水用温度調節機 ペルサーモ ETU

オリオン機械/温調機。ペルチェ温調方式と定電流制御(電流値リニアPID…

■ペルチェ温調方式と定電流制御(電流値リニアPID制御)で、最大60％の省エネを実現。 ■省スペース設計：熱交換機・水槽・圧送ポンプを本体に内蔵。 ■特注対応で±0.01℃も可能。 ■電子冷熱温調機/水冷式/水槽内蔵。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

エチレングリコール水溶液用循環式冷却機 キャリクールLPB

オリオン機械/チラー。ポンプ・ヒータ内蔵の循環型チラー。PID制御によ…

■LPB3 温度制御範囲：-20～＋40℃ 制御方式：PID制御、指示・設定分解能0.1 冷却能力：500／520W 加熱能力：1000W 使用周囲温度範囲：10～35℃...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

冷凍式エアドライヤ インバータ制御 RAXEシリーズ

オリオン機械/エアードライヤー。露点温度の省エネモード切替、最大60％…

より発生する結露の防止も可能。また、圧力下露点の設定を外気温度に連動して自動的に変える機能を付加(RAXE4900型以上)。 ■最大60％の省エネを実現。 独自開発の「インバータ圧縮機の周波数PID制御」と」電子膨張弁の無段階PID制御による冷凍サイクルの最適化制御」により、通常運転時でも従来機RAXシリーズ(CCV制御)に比べ大幅な省エネを達成。更に圧力下露点を18℃にセットした場合最大6...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

外気処理空調機 フレッシュエコキューブAECシリーズ

コロナ禍における工場やオフィスなどの密閉空間でのエアコン換気問題を解決…

10%(50/60) ■消費電力：ACE600A=11kW、ACE1200A=21kW ■電流：ACE600A=34A、ACE1200A=65A ■騒音値：70dB ■温度制御方式：ヒータPID制御 ■湿度制御方式：圧縮機回転数制御...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

設備用精密空調機 PAP-Rシリーズ(空冷)

オリオン機械/精密空調機。クリーンルーム・精密測定室向け恒温(恒湿)設…

機、室外機ともにインバータファン搭載。 新開発の専用コントローラとの組合せにより独自の冷凍サイクル最適化制御運転を実現しました。 ■一般空調機や従来型レヒート制御では不可能な高精度対応(ヒータPID制御並み)を実現。 ■現地計装工事が不要。 制御盤内蔵で現地計装工事が不要。手軽に恒温(恒湿)空間が省工事で実現。 ■現地試運転調整が簡単 ユニット化された空調機で設置後の煩わしい試運転調...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

サビレックス　PFAコーティング分解用グラファイトホットプレート

熱源を多く均一に配し高純度PFAコーティングを施した高品質グラファイト…

■HPX-100 最高設定温度:200℃ 温度分布性(150℃時):±2℃ 温度制御方式:デジタルPID温度制御 使用環境:室温17～27℃、相対湿度20～80% 最大積載量:12kg 熱源ヒーターカートリッジ内蔵数:3個 電源:100V、12.5A、1250W...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

循環式高精度温湿度制御装置 エアプロセッサーAPシリーズ(空冷)

オリオン機械/精密空調機。各種産業分野の局所精密空調ユニット。循環式空…

環境ボックス(試験槽)を容易に交換、移動できます。 ■選べる3機能。 調温・調湿・清浄度(特注対応)の3機能であらゆる局所空間に対応できます。 ■制御方式：デジタル設定・デジタル指示・ヒータPID制御。 ■使用周囲温度範囲：15～35℃。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

薬液用温調装置 ケミカルペルサーモ ETD・ETN（水冷）

オリオン機械/温調機。薬液をダイレクトに温調できる高精度温調ユニット。…

大約9A ■ETD832-SA-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約17A 【電源ユニット共通仕様】 電源：単相200～240V(50/60Hz) 制御方式：PID制御オートチューニング...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

高精度水用温度調節機 ペルサーモ EKSシリーズ

オリオン機械/温調機。±0.05℃以内の高精度液温制御を実現しました。

■EKS250-G2 温度制御範囲：15～30℃ 温度制御精度：±0.05℃ 制御方式：電子冷凍・PID制御オートチューニング 冷却能力：250W以上 使用周囲温度範囲：10～35℃...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

省エネ精密空調機 PAPシリーズ

局所空調での高精度化・コスト削減・省エネに貢献

●ヒートポンプバランス制御・完全ヒータレス ●従来のPID制御と比較し最大80%の省エネ ●温度制御範囲：18〜30℃ ●湿度制御範囲：45〜75% ●処理空気量：3〜20m3/min（水冷は〜40m3） ●設定温度比±7℃の吸込温度に対応 ●...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

卓上型電気炉 F48024-80

炉内容量はゆとりがある5.8L。迅速な加熱、最高設定温度1200℃。（…

炉内容量：5.8L 設定温度範囲：100～1200℃※ 温度精度(1000℃時)：±0.2℃ 温度均一性(1000℃時)：±3.6℃ 温度制御方式：PID制御 炉内寸法(w×d×h)：18×25×13cm 外部寸法(w×d×h)：34×50×48.3cm ※熱源保護のため連続3時間以上使用時の設定温度範囲は1093℃までとなります。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社