【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

『HID対応マルチプロトコルRFIDリーダライタ』

PR自律動作によるキーボードエミュレーション機能を標準実装。プログラムレス…

当社の『HID対応マルチプロトコルRFIDリーダライタ』は、USBのHID(Human Interface Device)クラスに対応しています。キーボードエミュレーション機能を標準実装しており、自律動作でICタグのIDやユーザーメモリを読取り、USB接続したデバイスに自動で入力が可能です。 また、ISO/IEC15693、FeliCa、ISO/IEC14443TypeAなどの各種ICタグ規...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アートファイネックス 福井本社、東京支社

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

高電力RF同軸フレキシブルケーブルアセンブリ

高電力（20KW@60MHz）タイプのフレキシブルケーブルアセンブリ

をしております。そのため、総合品質・納期・価格対応に自信を持っており、お客様の開発段階～量産までご安心してご対応可能です。 EP-610Sは、半導体製造装置、高周波電源、プラズマ電源など高電力RF同軸接続を必要とするアプリケーションに最適なフレキシブルケーブルです。 現在、対応しているコネクタは、EIA 1-5/8、EIA 7/8ですが、お客様のご要望に応じて他の規格にも対応致します。...

メーカー・取り扱い企業： アノイスンジャパン株式会社

RFプラズマ源　ERFS-500

RFプラズマ源　ERFS-500

無電極放電により 金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源 【特徴】 ○光学窓付きにより放電が目視確認できる ○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構により 　操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

RFラジカルビーム源　IRFS-503

RFラジカルビーム源　IRFS-503

放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され 活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源 【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し 　差圧によりフラックスを引き出す ○放電が目視確認できるビューポートを標準装置 　発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

アローズエンジニアリングは、半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、 半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売などを行っています。 「高周波電源」をはじめ、「RFマッチングボックス」や「輸送ロボット」 などの修理改善サービスについてご紹介。修理対応機種などを掲載しています。 当社では、お客様のニーズを的確に捉え、好適なサポートをご提供するために、 ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギアを採用する事により、 ギア部分からの微少発塵を抑制。 この他にも「RFC-705A」、「RF-705A」をご用意しています。 【特長】 ■落ち込み防止 ■巻き込み防止クリーンロール ■駆動部にマグネットギアを採用 ■50μmワークのクリーニング可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

アローズエンジニアリング株式会社　会社案内

お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。

【事業紹介】 ○修理・オーバーホール →確かな技術と高度な知識で様々な問題の解決をお手伝い →RF Generator＆RF Matching Boxのリペアーサービス →各種コンポーネント機器の修理＆オーバーホール →各種ボード（PCB基板）の修理 ○付帯設備・製造 →半導体製造装置の...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

サンセイジェネリック株式会社　事業紹介

半導体製造装置・LCD製造装置なら当社にお任せください

品目】 ■高周波電源及び高周波マッチングユニットの販売 ■高周波電力測定機器の開発及び販売 ■高周波インターロックシステムの開発及び販売 ■Process Chamberの開発及び販売 ■RF GENERATORおよびRF MATCHING BOXの修理業務 ■半導体ROBOTの開発、製造及び販売 ■半導体熱交換器の開発、製造及び販売 ■半導体、LCD製造装置の開発及び修理・改善工...

メーカー・取り扱い企業： サンセイジェネリック株式会社

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

が簡易 【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。 ◇圧力調整 ◇RFタイプ ◇クリーンボックス ◇ステージサイズ ◇POWERコントロール　など・・・ その他お気軽にご相談下さい。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

カフマン　グリッドタイプ イオンソース

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

カフマン型グリッドイオンガン 　RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm 　DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The versati...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim） ■低出力のRF電源（最大出力50W未満） ■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

親水・洗浄・密着強化『回転式真空プラズマ装置』

乾式で『粉体や固体全面』の『表面改質(親水・洗浄・密着強化)』を一括処…

ポンプ込み 電源：AC100V 50/60Hz サイズ：本体 W720×D450×H450 　　　　チャンバー　φ210×H200 【オプション対応致します】 ・チャンバーサイズ変更 ・RFタイプ対応 ・タッチパネル操作 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させて頂きます。 その他お気軽にご相談下さい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

株式会社エイディーディー　事業紹介

私たちは半導体業界に新しい風を起こします。

化のご提案をいたします。 ○販売製品：用途およびプロセスに応じた製品を設計、開発いたします。 →チラー →純水加熱器 →セカンドパーツ ○修理：チラー、Heコンプレッサー、カップ温湿調器、RF電源等の修理を 　行っております。 ○成膜受託：CVD、インプレーティングにて、薄膜の真空蒸着を行っております。 ○チラー省エネ改造：各種メーカーのチラーを対象に、省エネ改造を 　提案いたし...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイディーディー

バッチ式プラズマアッシング装置　ウエハアッシャー装置

50枚一括バッチ式プラズマアッシング装置（アッシャー装置）・6インチウ…

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社