【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

HallinSight 3D ホール効果 磁場カメラ

PRHallinSightのベクトル式磁場イメージング技術によって、「3D…

HallinSightは、Flaunhofer IIS（フラウンホーファー集積回路研究所）によって開発され、以下の特長があります。 ・見えなかったものを見えるようにする 3軸磁場カメラです。 ・動的な磁場をリアルタイムでマッピングできます。 ・X,Y,Z 3軸を同時測定するホールセンサ・アレイを用います。 　⇒ 32×32点、16×16点、32×2点の3種類があります。 　⇒ 各々2...

メーカー・取り扱い企業： 大栄無線電機株式会社

『薄膜受託加工』

試作・開発から中小ロット生産まで！部品・素材を多機能に変身させる表面処…

東邦化研株式会社では、電子銃式真空蒸着・高周波励起方式(RF式)イオンプレーティングなどによる薄膜コーティングサービスを受託加工しております。 電子銃式真空蒸着は、膜にする材料を真空中でEBガン(電子銃)で蒸発させ、対象物へコーティングします。 そ...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

キンセイマテック「粉体受託加工」※グラフデータ進呈！

粗粉砕から超微粉砕まで「数百ミクロン～サブミクロン」をカバー！用途に応…

広い粒度調整が可能です。樹脂フィラー、化粧品等に向けたシランカップリング、シリコーン処理、金属表面酸化処理などの表面処理加工の他、ご希望条件に合わせた荷姿・重量の小分け梱包加工も承っています。また、RF-ID用磁性シート、電磁波ノイズ制御シート向けに特殊加工も可能です。 【特長】　　 ◆数百ミクロン～サブミクロンまで用途に応じて希望粒度を実現！ ◆混合加工では希望に合わせた設備を提案！ ...

メーカー・取り扱い企業： キンセイマテック株式会社

DLCコーティング加工　PEKURIS COAT

他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。

PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社栗田製作所 本社・京都事業部

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3（酸化イットリウム）やYOF（酸フッ化イットリウム）を再生成膜することでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純正部品購入より再生で大幅にコスト削減！）や装置メンテナンスに伴うダウンタイムを大幅に抑えて装置稼働時間を上げることができます。 誘電体窓やビューポート...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

【独自のイオンアシスト蒸着法による超緻密な厚膜】酸化イットリウム

イオンアシスト蒸着法による超緻密で厚膜形成で半導体歩留と装置稼働時間が…

密性の高い厚膜ができます。 用途は、ドライエッチャー部品向け耐プラズマの保護膜です。 ドライエッチャー部品の成膜で良い膜をお探しの方はぜひ、ご相談ください。 【特長】 ■エッチング装置のRFウィンドウの再生市場価格1/2実現 ■エッチング装置のメンテナンスサイクルが大幅に改善 ■溶射、エアロゾル蒸着、イオンプレーティングによる成膜より 　耐プラズマ性・耐食性に優れている ※...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー