各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【お役立ち情報】アルミナ代替　複合材料SA701

PR大型アルミナ部品でお困りのお客様へ － その問題、セラミックス複合材料…

半導体製造装置関連の市場拡大に伴い、セラミックスの調達問題が発生しております。特に大型アルミナ部品は供給元が限られ、長納期化により装置開発スケジュールに影響がでております。 セラミックス金属複合材料SA701は、アルミナに比べヤング率や曲げ強度は若干劣りますが、破壊靭性値が高く割れにくい材料であり、ハンドリングが容易です。密度はアルミナの約3/4と軽く、直ネジを加工できるため、金属ブッシュを必要...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

炭化珪素発熱体（SiC) 　カンタル・グローバ

発熱体温度1000℃〜1650℃。高品質な炭化珪素発熱体

長寿命、低価格、短納期に加え、環境を意識した省エネヒータのリリースによりトータルでお客様のコスト低減に貢献する炭化珪素発熱体グローバSDを是非ご検討ください。...カンタル　グローバSD（炭化珪素発熱体：SiC）は600℃〜1600℃（炉内温度）での 使用に適した高品質な抵抗発熱体です。 □■特徴■□ ○既存の炭化珪素発熱体と完全な互換性がある上に、 さらなる長寿命が期待できます。...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

GaN・SiC・結晶類・セラミックス・ガラス類

“SrTiO3”や“CaF2”など！製造現場で使用する各種吊り下げ用具…

TECOM株式会社では、『GaN・SiC・結晶類・セラミックス・ガラス類』を 豊富に取り扱っております。 「アルミナセラミックス」をはじめ、「ZrO2」や「石英ガラス」、 「光学用ガラス」など多数ラインアップ。 この他、「ワイヤースリング」といった製造現場で使用する各種吊り下げ 用具もご希望仕様で製作いたします。お気軽にお問い合わせ下さい。 【ラインアップ】 ■GaN・S...

メーカー・取り扱い企業： ＴＥＣＯＭ株式会社

ワイドギャップ半導体

SiC、GaNなど半導体技術・製品の提供

当社では、SiCウエハ、GaNウエハ、DLTS測定装置などの 「ワイドギャップ半導体」を取り扱っております。 シリコン半導体を凌ぐポテンシャルを持つ、半導体である ワイドバンドギャップ半導体の製品・サービスを幅広く提供。 その他、欧州partner各社のガラス溶解エンジニアリングに 必要な種々の部材、装置、技術を国内顧客に提案しております。 【2つの事業】 ■半導体部門：...

メーカー・取り扱い企業： セラミックフォーラム株式会社

大面積への成膜加工！　ガラス…フィルム…セラミック…金属材…

大面積への成膜加工が可能！もちろん小さなものも（たくさん）搭載できます…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 小型装置から大型装置...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

プッシャー炉／PF

各種雰囲気に対応できるタクト搬送機構付連続炉

●広築の新素材開発装置は要求仕様に応じ他社に無い、世界に類を見ない製品を提供します。新素材の研究から量産製造までを丁寧にサポートします。 ●低温から高温（100℃～1500℃）まで対応し真空/アルゴン/水素等の不活性/還元性雰囲気などのご希望雰囲気に対応します。 ●製造現場にフィットした設計をいたします。 ●産業用ロボットを使用した処理物の装入や取出しのハンドリングも一貫して対応します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部

ウォーキングビーム炉／WBF

クレマー社(ドイツ)より技術導入の電気加熱式ウォーキングビーム炉

●広築の新素材開発装置は要求仕様に応じ他社に無い、世界に類を見ない製品を提供します。新素材の研究から量産製造までを丁寧にサポートします。 ●低温から高温（100℃～1800℃）まで対応し高真空から加圧、アルゴン/水素等の不活性/還元性雰囲気などのご希望雰囲気も対応します。 ●製造現場にフィットしたバッチ炉や連続炉の対応もします。産業用ロボットを使用した処理物の装入や取出しのハンドリングも一貫し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部

加工『多様な素材の加工』

幅広い素材の加工が可能です！

当社では、セラミックスや特殊ガラスだけでなく、石材や積層材などの 通常の方法では加工が困難な素材にも、高精度の加工を行うことが可能です。 セラミックスをはじめ、ガラス、複合材や岩石などに加工を施すことが できますので、ご要望がございましたら、お気軽に当社までお気軽に ご相談下さい。 【特長】 ■様々な素材に加工可能 ■開発中素材・新素材にも対応 ■加工が困難な素材にも高精度...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社笹原光学工業所

ロータリーハース炉／RF

一定速度で回転している炉床とドーナツ状の炉体から構成され、挿入口と取り…

●広築の新素材開発装置は要求仕様に応じ他社に無い、世界に類を見ない製品を提供します。新素材の研究から量産製造までを丁寧にサポートします。 ●低温から高温（100℃～1250℃）まで対応し高真空から加圧、アルゴン/水素等の不活性/還元性雰囲気などのご希望雰囲気も対応します。 ●製造現場にフィットした設計をいたします。 ●産業用ロボットを使用した処理物の装入や取出しのハンドリングも一貫して対応し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社広築 営業部