【お役立ち情報】アルミナ代替　複合材料SA701

PR大型アルミナ部品でお困りのお客様へ － その問題、セラミックス複合材料…

半導体製造装置関連の市場拡大に伴い、セラミックスの調達問題が発生しております。特に大型アルミナ部品は供給元が限られ、長納期化により装置開発スケジュールに影響がでております。 セラミックス金属複合材料SA701は、アルミナに比べヤング率や曲げ強度は若干劣りますが、破壊靭性値が高く割れにくい材料であり、ハンドリングが容易です。密度はアルミナの約3/4と軽く、直ネジを加工できるため、金属ブッシュを必要...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

研究資料　SiC単結晶工具

超硬工具の超寿命化と超鋭利化に成功した切削工具「SiC単結晶工具」をご…

当資料は、ダイヤモンド単結晶工具に匹敵する刃先の鋭さ（刃先丸み）を 実現し、被削材に与える加工歪を最小化するSiC単結晶工具の開発に成功した 合同会社SiCツールズの研究資料です。 本研究で、負性電子親和力を持つダイヤモンドや、結晶粒界を持つ超硬工具では 実現不可能な、化学反応性と切削加工との関連を明らかにしました。 更に、その状態を活用したナノメートルオーダーの超精密加工を実現...

メーカー・取り扱い企業： 合同会社SiCツールズ

【加工事例】ハイブリッド電着　難削材

チッカ珪素の円弧溝加工やアルミナの穴あけ加工等、ハイブリッド電着工具に…

当社が行ったハイブリッド電着の加工事例をご紹介いたします。 炭化珪素（SiC）の事例では「IZW φ10.0 #200」を使用し、 幅10mm深さ6mmの円弧溝加工を施しました。 その他にも、ジルコニア（ZrO2）、チッカ珪素（Si3N4）の円弧溝加工や、 アルミナ（Al2O3）の穴あけ加工、石英（SiO2）の止まり溝加工等の 事例がございます。 【加工条件（抜粋）】 ＜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイゼン

電着ホイール

様々な材料の切削、研削に好適！高い材料除去率、優れた切れ味で加工が可能

電着ダイヤモンド、CBN工具は、ダイヤモンドやCBN粒子を工具の表面に ニッケルメッキ方法で一層、或は多層(用途に応じて)付着させて 作ったものです。 この電気メッキ方法を用いて色々な形態と凹凸を持つ工具が製造できます。 世界的に急増する需要に応える為、当社は1992年から多種の 高品質電着工具の製造に取り掛かりました。 従来の電着工具以外にも、自動車と航空機産業用の逆電...

メーカー・取り扱い企業： 二和ダイヤモンド株式会社

ノッチホイール

調和と挑戦。高精度な溝形加工、仕上げ加工技術により、各種ウェハ形状に対…

【仕様と寸法】 ■砥粒：SD ■粒度：＃800～＃2000 ■集中度：75～150 ■結合材：MNK018・MNK016 ■加工対象例：シリコン・SIC・サファイア ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アダマス

強化型（ダイヤモンド/CBN）研削工具『RFシリーズ』

優れた保持力で長寿命を実現！砥粒の突き出しが大きいので、粗加工の効率が…

一般砥粒に比べて熱伝統率が高いダイヤモンド・CBN砥粒により、被加工物の温度上昇を抑制できるため、加工品質が向上します。 また、硬度が高いために切れ味が良く、摩耗量も少ないため、ランニングコストの低減にもつながります。 ■砥粒の突き出しが大きい 台金とボンド材、砥粒を強固に固定しているため、一般的な電着工具に比べ、メッキ部分の剥離や砥粒の脱落が極めて少ない特徴があります。 また、砥粒の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピーエムティー 本社・工場

多結晶ダイヤモンドスラリー

多結晶ダイヤモンドスラリー

モンドスラリーはグリッシュ社製高精度で分級された多結晶ダイヤモンド粒子と分散剤で調和して、お客様の用途やご要望に合わせたオリジナルのダイヤモンドスラリーをご製造することが可能です。主にサファイア、SICウェハー、セラミックなど高い精度を必要とするラッピングやポリッシング加工には最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 北京国瑞升科技股份有限公司

微細PCDエンドミルによる高精度加工 「炭化ケイ素(SiC)」

PCD 1.3φによる炭化ケイ素(SiC)加工事例です。

自社工具による加工事例 「炭化ケイ素(SiC)の階段彫り」は、PCD 1.3φによる炭化ケイ素(SiC)の階段彫り加工事例です。 有限会社三井刻印は、微細彫刻業で培ったノウハウを活かし、お客様の要望に沿った微細エンドミルを小ロットから製作致します。 様々な形状に対応します。まずはご相談ください。 【超硬エンドミル　製作例】 ○0度/0.2φ/0.3L　ピンカド ○0度/0.3φ/0....

メーカー・取り扱い企業： 有限会社三井刻印

【複合めっき(ダイヤモンド電着のUDC)】切削工具の事例

自動車の燃料噴射の止まり穴を形状を崩さず一発加工！切削工具の機能が飛躍…

加工対象物が硬度を増してきている(サファイヤ、SiC)中で、従来の 電着工具では加工できないため、特殊被膜であるUDCを使い、機能性を 向上することが求められるようになってきました。 また、加工状況も日増しに難易度を増してきており、例えば自動車の 燃料噴射の止まり穴を、形状崩さず一発で加工したい場合におすすめです。 更に穴あけ工具以外でも滑り止め等の使用では、UDCによるダイヤモ...

メーカー・取り扱い企業： ジャスト株式会社