各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

資料『次世代半導体の今を説く～SiC・GaN解説～』【進呈中！】

PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに！

エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく！ ...

メーカー・取り扱い企業： ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカ アンド カンパニー】

『高耐熱』の炭素繊維複合材料！C/CとC/SiCの物性比較

800℃以上の高温環境下で使用する部材の軽量化・たわみ量低減・振動減衰…

C/Cコンポジットは炭素繊維と炭素、C/SiCコンポジットは炭素繊維とSiCの複合材料です。 炭素繊維の多くは樹脂をマトリックスとした複合材料（CFRP）として利用されますが、樹脂の耐熱性には限界があります。 高温処理物質（炭素・SiC）をマトリックスにすることで、高温環境下（800℃）での使用を可能にしました。 【メリット】 ■耐熱性が高く（800℃）、高温環境下での使用が可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 三菱ケミカル株式会社 コンポジットプロダクツ事業部

シリコンカーバイド/グラファイト複合材料『SiC30』

「グラファイト」の特性である耐熱衝撃性に「シリコンカーバイド」の硬度・…

当社が取り扱う『SiC30』は、 高多孔性電気グラファイトに溶融シリコンを含浸させて製造されます。 カーボン材料の硬質摺動相手材として使用すると、カーボン材料の ブリスター耐性が大幅に改善。当製品同士を組み合わせて “軟質カーボン材料”として使用すると、ブリスターを完全に防止できます。 さらに、トライボロジー用途に使用されている様々なセラミックスより優れた 耐熱衝撃性を有してい...

メーカー・取り扱い企業： シュンク・カーボン・テクノロジー・ジャパン株式会社

金属セラミックス複合材料「MMC」（SiC/Si　浸透法）

圧倒的な低熱膨張、高熱伝導で放熱部材への使用が可能！！

SiCセラミックス多孔体に金属シリコンを含浸させた複合材料です。 SiCの比率を変えることにより、ニーズにマッチした熱伝導率を実現できます。 熱膨張は低く、あらゆる材料の代替素材として注目されております。...【特徴】 ○軽量　アルミニウムと同等！ ○高剛性　SiCほぼ同等！ ○低熱膨張　金属シリコンと同等！ ○高熱伝導　175～190（W/m・K）　SiC 以上！ ○対SiC大型化...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

金属セラミックス複合材料「MMC」（SiC/アルミ　鋳造法）

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アルミニウム合金の中にSiCセラミックス粒子を30～40vol％ 含有させた複合材料です。 砂型鋳造、ダイカストによる鋳造法により製造致します。 SiCの含有率を調整することにより、ニーズにあった材料を提供可能です。 近年、装置の大型化、高速化に伴い急速に採用が進んでおります。 採用分野としては、液晶製造装置、半導体製造装置、各種検査装置など あらゆる分野での採用が進んでおります。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

金属セラミックス複合材料「MMC」（SiC/アルミ　浸透法）

セラミックスより大型化が容易で、金属を含浸することにより破壊靭性をUP…

SiCセラミックス多孔体にアルミニウムを含浸させた複合材です。 ...【特徴】 ○軽量　アルミニウムと同等！ ○高剛性　SUSの約1.3倍！ ○対セラミックス大型化 　セラミックス通常□1m程度→□2m以上の大型品可能！ ○対セラミックス破壊靭性UP ○対金属耐磨耗性UP ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【資料】Cu+SiC ワイヤー複合材料

Cu+SiCワイヤーで作製した溶射皮膜の従来の材料との性能比較などを写…

当社は、全く異なる分散型微粒子複合材料を提供します。 部品から熱を分散させる必要がある摩擦及び摩耗の用途に適しています。 当資料では、Cu+SiCワイヤー複合材料の目的をはじめ、Cu+SiC複合材料の ワイヤー（線径φ3.17）、研磨後のCu+SiC溶射皮膜とCu基材などを 写真や図を用いて掲載。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■目的 ■Cu+Si...

メーカー・取り扱い企業： 九溶技研株式会社

シリコンカーバイト

前途有望な素材！高純度SiCパウダーの製造に長年取り組んでいます

ESK-SIC社は、SiCを用いた半導体産業にとって不可欠な原材料である 高純度SiCパウダーの製造に長年取り組んでいる企業です。 これによって、ロスの多いシリコン製電子部品にとって代わる投入容量が ...

メーカー・取り扱い企業： ESK-SIC有限会社

【耐熱性ワークピース】高温度耐熱素材

耐熱性ワークピース！高温度耐熱素材をご紹介します

SICは様々な特性を併せ持つ素材で、セラミック業界と 耐火素材業界には欠かすことのできない重要な素材です。 結合の種類と割合が、多種多彩なシリコンカーバイドの特長を 決定する鍵となっています。 坩堝や窯の内壁材やサヤ鉢には、熱電導性が高く、かつ熱膨張率も低く、 さらには化学的耐性も高いSICが好適。 SICでできた鋳造金物用フィルターは量子跳躍によって、 鋳造技術分野で高品質を...

メーカー・取り扱い企業： ESK-SIC有限会社

CERASIC『常圧焼結SiCセラミックス長尺ローラーチューブ』

高温高強度だからできることがあります！長尺品(～3200mm)が対応可…

当製品は優れた耐薬品・耐腐食性をもつ長尺ローラー・チューブです。 当製品にも使用されている「CERASIC常圧焼結SiCセラミックス」は、 機械的特性、摩耗特性、腐食ガス及び薬品などに対する耐食性が 非常に優れたセラミック材料です。 そのため、金属材料が使用されている熱処理分野において幅広く...

メーカー・取り扱い企業： クアーズテック株式会社

【切削材や研磨剤として】高温度耐熱素材

ソーラーおよびエレクトロニクス分野に好適の素材です！

SICには究極の強度と鋭利なエッジと特有な脆性があるため、コランダムと 並んでセラミック、あるいは合成樹脂混合素材の砥粒やサンドペーパーや 研磨ワイヤーの主要原材料になっています。 ハードメタル、鋳鉄、銅、真鍮、アルミニウム、亜鉛、ガラス、 大理石、花崗岩、炭素、合成樹脂、木材といった様々な 硬質素材の加工にSICが役立っています。 粗い粒子(mm単位)から微細な粒子(μ単位)のSI...

メーカー・取り扱い企業： ESK-SIC有限会社

ソリッドSiC

肉厚や大口径、複雑な形状など、さまざまな用途に対応！CVD法で製作した…

『ソリッドSiC』は当社独自のCVD技術を応用し開発されました。 高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、 幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮。 半導体装置に最適化された当製品は半導体の可能性を拡げる 材料として期待されています。 【特長】 ■高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れている ■幅広い様々な用途で高いパフォーマンスを発揮 ■パーティ...

メーカー・取り扱い企業： 東海ファインカーボン株式会社

バインダー・ジェティング

複雑なSiCコンポーネントでも特に少量生産を費用優位的に製造できます！

『バインダー・ジェティング』は、セラミックの3Dプリントに よく利用されているプロセスです。 複雑なSiCコンポーネントでも特に少量生産を費用優位的に製造可能。 また、ESK-SICによってE-COMPACTSIC粉体が開発されました。優れる流動性、 高い嵩密度といった特殊な特性を武器にこのパウダーはパウダーベッド ベースの3Dプリントプロセスに卓越した適性を発揮します。...

メーカー・取り扱い企業： ESK-SIC有限会社

複合素材

未来を見据えたテクノロジー！前途有望な素材です

当社は、求められる機能に応じて、単一特性もしくは複合特性をもった 「複合素材」を実現しました。 当社の標準仕様製品および特別仕様製品は応用範囲の拡大に貢献し、 さらには理想的なプロセスで製造され、適切化された製品を 世に送り出しています。 【ラインアップ】 ■金属マトリックス複合素材 (MMC) ■合成樹脂結合構造素材 ■コーキング剤 ※詳しくはPDF(英語版)...

メーカー・取り扱い企業： ESK-SIC有限会社

装置性能が変わる！　金属セラミックス複合材料 MMC

アルミの軽さで鉄の剛性。軽くてたわまないから素早く動いてピタッと止まる…

○弊社独自の複合化技術で作られるMetal Matrix Compositesは、金属とセラミックスの配合比率を、弊社にて好適に組み合わせた複合材料です。 ○アルミの軽さでありながら、鉄のようにたわまないMMCを、装置の可動部品として使えば、装置性能が劇的に変わります。 ○低熱膨張、高熱伝導の優れた熱特性が、装置の熱問題を解決します。 ○MMCの採用をご検討ください。...【SA...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

『BN焼結品(SO43)』

高温下での優れた電気絶縁性！生産能力の向上に寄与する複合焼結品

『BN焼結品(SO43)』は、スリーエム社製BN+ZrO2+SiCの複合焼結品です。 BNの持つ非濡れ性・ZrO2の持つ耐火性・SiCの持つ耐摩耗性が 生産能力の向上に寄与します。 酸化雰囲気下で1、800℃、不活性ガス雰囲気下で2、000℃の耐熱性があります。 【特長】 ■溶融した金属や硝子に対する高い耐化学薬品性 ■優れた耐熱衝撃性 ■高温下での優れた電気絶縁性 ...

メーカー・取り扱い企業： 三洋貿易株式会社　ライフサイエンス事業部・ 産業資材事業部

ケイ酸カルシウム断熱材『プロマジル-1000G』　(輸入対応品)

従来のケイカルより優れた断熱性能・加工性を発揮できる断熱ボード

『プロマジル-1000G』は、優れた断熱性能を発揮できる、高性能ケイ酸カルシウム 断熱ボードです。 特に高温域の断熱効果に優れる為、各種加熱炉の省エネルギー化やCO2排出量の 削減に貢献します。 低密度・軽量でありながら、機械強度にも優れるため、加工も容易に行えます。 また、撥水機能を有し、レンガのバックアップ材の他に不定形耐火物のバックア ップ材としてもご使用頂ける「-100...

メーカー・取り扱い企業： プロマット・ジャパン株式会社

東栄産業　ソーラー事業

近年世界的に注目を集める太陽光発電の分野においても、アジア・ヨーロッパ…

品であるカーボン繊維成形断熱材です。 ○パッキング材 　・高純度のポリシリコンを梱包するＰＥバックです。 　・製品の純度に影響を及ぼさないよう、全てクリーンルーム内で製造されています。 ○SIC砥粒 　・SIC砥粒はシリコンインゴット切断工程でワイヤーソーと一緒に使用されます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄産業株式会社

【用途例】筐体・ケース　金属セラミックス複合材料

アルミニウム合金にSiCセラミックス粒子を含有させた複合材料です。

アルミの軽さで鋳鉄以上の剛性をもつ金属セラミックス複合材料。 抜群の比剛性と高熱伝導、低熱膨張の優れた熱特性が筐体に好適です。 ダイカスト製法、重力鋳造、低圧鋳造により多様なニーズに対応します。 その他の複合材料についても開発可能ですので この機会にお問い合わせ頂けます様、よろしくお願い致します。...【特徴】 ○軽量　鋳鉄の約1/3！アルミニウムと同等！ ○高剛性　アルミニウ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

【実績紹介】セラミックスによる長寿命化対策

金属部品をセラミックスに変更することで大幅な寿命改善が見込まれます。改…

セラミックスは金属に比べて非常に優れた耐摩耗性・耐食性を持つ軽い材料で、装置部品の寿命対策、摩耗対策に採用が進んでおります。 装置の金属部品を炭化ケイ素や窒化ケイ素などのセラミックスに置き換えることで部品寿命が延び、部品交換のメンテナンス作業が大幅に軽減されます。 JFCでは5種類の炭化ケイ素と2種類の窒化ケイ素をラインナップしてます。窒化ケイ素SNP03は標準SNP02よりも破壊靭性...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

酸化物マトリックス系繊維強化セラミックス（CMC）プリプレグ

専用の粘着剤によりタック性を付与することができ、複雑形状の賦形性に優れ…

当社では、酸化物マトリックス系繊維強化セラミックス（CMC）プリプレグの 注文生産を行っております。 酸化物マトリックス系繊維強化セラミックス（CMC）プリプレグは、 環境に配慮したWater-based（水性）で空気中で焼成できます。 また、酸化雰囲気中でも高強度、損傷許容性を維持。 薄肉繊維強化セラミックスの成形も容易です。 【特長】 ■積層により多層構造のCMCが容...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社湘南先端材料研究所

【用途例】粉砕装置用「MMC耐摩耗ライナー」

画期的耐摩耗材ライナー　セラミックスの耐摩耗性と金属の割れにくさを両立

SiCとアルミニウムを複合することにより、セラミックスの耐摩耗性を維持したまま、破壊靭性アップを実現しました。各種粉砕装置のライナー材に採用が進んでおります。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。...【特長】 ○セラミックスより割れにくい！　破壊靭性UP ○金属より摩耗しない！　耐摩耗性UP ○軽量　ステンレスやセラミックスより軽い！　アルミニウムと同等！ ○低熱膨張、高熱...

メーカー・取り扱い企業： 日本ファインセラミックス株式会社

異種素材を融合させて新たな材料を創出！複合材料ラインナップ紹介

異種素材を融合させて新たな材料を創出する"複合化"！「AC-Albol…

当社の金属基複合材の製法は、世界トップクラスの溶湯鍛造技術を有します。 「強化材」に「マトリックス材(溶けた金属)」を供給し、高圧で含浸・複合化。 単一材料および他工法での複合材では得ることが困難な機能・物性・特性を 付与することが可能です。 アルミニウムの"軽さ"と鋳鉄"強度"を両立する新素材「AC-Albolon」をはじめ、 SiC(炭化ケイ素)とアルミニウムの複合材料「AC...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスコンポジット株式会社 本社　富士事業所　

奈良機械製作所 粒子の表面改質

新規材料への応用へつながる、奈良機械製作所の粒子の表面改質技術

奈良機械製作所では、粒子の表面改質や複合化を行うことにより、 従来にはない新規材料の創製や大幅な性能向上をもたらすことが可能です。 核となる粒子（母粒子）表面への微粒子（子粒子）の固定化や成膜化を、 3分程度と極めて短時間で行うハイブリダイゼーションシステム。 原材料の組み合わせによって非常に幅広い分野で活躍中です。 また、各種材料のナノ粒子を生成し、その場で微粒子表面にコーティング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所

【機能的充填材】高温度耐熱素材

強い摩耗耐性が求められる外壁保護剤として使用される高温度耐熱素材！

ESK-SICは、過酷な自然条件にさらされるため強い摩耗耐性が求められる 外壁保護剤として使用され、耐用年数を伸ばすのに役立っています。 また、静電気を逃がすために表面に電気伝導体を使用することもありま...

メーカー・取り扱い企業： ESK-SIC有限会社