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24件 - メーカー・取り扱い企業
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PR独自のフィン形状で伝熱効率を向上!除湿・溶剤回収、腐食性ガス・水質など…
『ステンレス製フィンチューブ式熱交換器』は、耐食性・耐熱性・強度に優れており、 長寿命でメンテナンスも容易です。 また産学連携によってフィンの密着度を改良し、能力を向上させることに成功いたしました。 本熱交換器の導入によって、水質影響による銅管・鋼管の腐食や、 腐食環境下での寿命の問題を解決できたという事例もございます。また、クリーンな使用環境にも適しています。 【スペック】 ...
メーカー・取り扱い企業: 境川工業株式会社
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PR独自のフィン形状で伝熱効率を向上!耐食性・耐熱性・強度に優れており、 …
『ステンレス製フィンチューブ式熱交換器』は、耐食性・耐熱性・強度に優れており、 長寿命でメンテナンスも容易です。 また産学連携によってフィンの密着度を改良し、能力を向上させることに成功いたしました。 本熱交換器の導入によって、水質影響による銅管・鋼管の腐食や、 腐食環境下での寿命の問題を解決できたという事例もございます。また、クリーンな使用環境にも適しています。 【スペック】 ...
メーカー・取り扱い企業: 境川工業株式会社
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最大1,000lpmまでの流量を確保
で、大流量濾過が可能です。 高い粒子除去性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からPV用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ
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蒸着源はボートタイプ!基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…
蒸着源はボートタイプで、基板は支柱上のプレートに取付けられており、 高さは任意に変更可能。 排気系は、DPとRPを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 【特長】 ■SUS製上チャンバーには、CF70ポートが2式、50φの窓が2式、 又下チャンバーはCF70ポートが6式標準装備されている ■上チャンバーは電動にて上下する機構を有している ■標準で膜厚計を装備...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社和泉テック
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高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック
半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、CVD装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。 その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製作しております。 ◎特徴 1.耐熱1000℃可能 2.使用温度環境に応じた材料を使用します。 PTFE. ・PEEK・アルミニュウム・SUS316...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。 【主仕様】 ◉ チャンバ:SUS304製 クラムシェル式 ◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4源)、有機蒸着源(最大4源)、又はΦ2"マグネトロン(最大3基)、基板加熱ステージなどを搭載 ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…
【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】 ◉ 基板サイズ:最大Φ6"(026)、最大Φ10"(090) ◉ チャンバ:SUS304製 UHV対応(*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア) ◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納 ◉ MLチャンバー内成膜モジュール: ・抵抗加熱蒸着源(最大4源) ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D395mmサイズで卓上型 ■お手持ちの排気系、膜厚計を取付可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
【主仕様】 ・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450)有り ・最大基板サイズ:Φ8...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
【主仕様】 ・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450) ・ポンプ:ターボ分子ポンプ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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真空蒸着装置『MiniLab-090』(グローブボックス用)
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
【主仕様】 ・最大基板サイズ:Φ10inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
【主仕様】 ・基板サイズ:Max12inch対応 ・チャンバー:SUS304 UHV対応、500 x 500 x500mm ・到達真空度:5 x 10-5pascal ・スパッタカソード:Φ2"(最大6)、Φ3"(最大4) ・プラズマ電源:RF150W, 30...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
分布 ±1%以内 (バッチ内、バッチ間) T/S=900mm ○排気系 クライオポンプ、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ ○真空槽 W800mm × D800mm × H1300mm、SUS304製 ○フットプリント W3700mm × D4300mm × H2400mm 【所要諸元】 ○所要電力 本体 φ3 200V 約40KVA (115A) 蒸発源 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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温水でフラスコに入っている有機溶剤を蒸発させる装置の開発概要をご紹介し…
【仕様】 ■外観寸法:W1800xD700xH1600 SUS製 ■槽内寸法:W1380xD390xH750 塩ビ製 ■冷却方式:空冷式チラー AC200V 10A ■加熱方式:シースヒーター AC100V 1200W ※別途工場エアーと排気設備が必...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンメック
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水晶振動式膜厚モニター搭載!コンパクト設計でクリーンな成膜が可能
【仕様(抜粋)】 ■到達圧力:4×10^-5Pa ■排気時間:5×10^-4Paまで10分以内 ■ベルジャー:SUS304 Φ507×H422 ■蒸発源:抵抗加熱蒸発源3対、2kW 3連EBガン(オプション) ■排気系:TMP800L/sec、RP360L/min、真空バルブ類一式、付属品 ※詳しくは...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社片桐エンジニアリング
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高真空及び超高真空に対応可能の真空部品
【特長】 ○製品多様化 ○規格品を提供可能以外の特製品を提供できます。 ○製品の材質は基本的にSUS304ですが、他の材質も製造可能です。 ○許容温度:-200℃~450℃(OFHC Copper) ●規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特注品を製造も可能なので、その他機能・ボルト...
メーカー・取り扱い企業: 日揚科技股份有限公司
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金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。
【特長】 ○製品材質:SUS304 ○製品は溶接ベローズ、成形ベローズ、フレキシブルチューブがあります。 ○規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。 ●その他機能・詳細はお問い合わせ頂くか、...
メーカー・取り扱い企業: 日揚科技股份有限公司
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。 【主仕様】 ◉ チャンバ:SUS304製 クラムシェル式 ◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4源)、有機蒸着源(最大4源)、又はΦ2"マグネトロン(最大3基)、基板加熱ステージなどを搭載 ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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スパッタリング装置 多機能スパッタ装置MiniLab-S060A
コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…
【主仕様】 ・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450)有り ・最大基板サイズ:Φ8...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Windows PC、または7”タッチパネル。熟練度を問わない簡単操作、且つ安全に最大限配慮しております。 【主仕様】 ◉ チャンバ:SUS304製 クラムシェル式 ◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納 ◉ 抵抗加熱蒸着源(最大4源)、有機蒸着源(最大4源)、又はΦ2"マグネトロン(最大3基)、基板加熱ステージなどを搭載 ...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
【主仕様】 ・基板サイズ:Max12inch対応 ・チャンバー:SUS304 UHV対応、500 x 500 x500mm ・到達真空度:5 x 10-5pascal ・スパッタカソード:Φ2"(最大6)、Φ3"(最大4) ・プラズマ電源:RF150W, 30...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。 高さ570…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□
蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…
【主仕様】 ・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー *ラージチャンバーオプションMiniLab-070(450 x 450 x 450) ・最大基板サイズ:Φ8in...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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□■□【MiniLab-090】フレキシブル薄膜実験装置□■□
グローブボックス収納可能 PVDフレキシブル薄膜実験装置 高さ570m…
【主仕様】 ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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