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資料『次世代半導体の今を説く~SiC・GaN解説~』【進呈中!】
PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに!
エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく! ...
メーカー・取り扱い企業: ジェルグループ【株式会社ジェルシステム/株式会社ナカ アンド カンパニー】
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PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール!4-8…
『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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搬送の難しい特殊ウェハも各種ユニットを開発してきたアテルが解決します!
ハ周辺だけハンドリング」といった特殊なご要望も実現した各種ユニットを開発。 そのため当社は、扱いが難しい、特殊ウェハであるタイコウェハ、80μm 以下の薄ウェハ、15mm 以上反ったウェハ、SiC ウェハ、石英ウェハなどに自信を持って「対応できると」断言します。 【対応特殊ウェハ】 ■タイコウェハ ■80μm 以下の薄ウェハ ■15mm 以上反ったウェハ ■SiC ウェハ ...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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極単純構造で製造コストを削減!4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…
【仕様】 ■被搬送物:4インチ GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 ・センタリング:±0.2mm以内 ・オリフラ:±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間:約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度:ISO クラ...
メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社
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強さと安全性 ・ 耐塩性 ・ 耐薬品性が必要なあらゆる用途に適したマッ…
■手荷重が非常に軽く、作業が容易 ■コンパクト設計で、軽くて持ち運びも便利 ■各部品がプレス加工で、全体がボルトにより組み立てられている為、手軽に分解可能 ■軸受部には、全て一流メーカーのボールベアリングを使用 ■減速機には特殊な熱処理を施した当社独自の転移方式によるギヤを採用 ■メカニカルブレーキには二重安全機構を採用 ■二重安全ワイヤロック方式 独自のウインチを製造、販売してい...
メーカー・取り扱い企業: マックスプル工業株式会社
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