各種ウェハ高速加熱処理装置『HEATPULSE』

PR“サセプタ不用"の高スループットSiCウェハアニール！4-8…

『HEATPULSE』は、サセプタ不要のSiCウェハアニールが可能な 高速加熱処理(RTP/RTA)装置です。 独自技術により高温プロセスも効率化。 パワーデバイス関連、およびその他の半導体業界、または高温高速 加熱処理が必要な方に好適な装置です。 【特長】 ■独自技術により、サセプタ無しでのSiCアニールを実現 ■パージ効率、昇温レートの向上により、約1.5倍の高スルー...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

資料『次世代半導体の今を説く～SiC・GaN解説～』【進呈中！】

PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに！

エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく！ ...

メーカー・取り扱い企業： ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカ アンド カンパニー】

電力調整器 unitzシリーズ 『H3000』

ヒーター断線検出機能を標準装備！各種ヒーターの安定的な制御に好適

ル電力調整器です。 通信により出力量、負荷電流量、警報のモニターが可能で生産管理が容易。 定電流制御、定電圧制御、定電力制御といった高機能な制御方式を標準装備し、 ハロゲンヒーター、SiC、カーボンヒーターなど、そのほか各種ヒーターの 安定的な制御に適しています。 【特長】 ■高機能な制御方式を標準装備 ■ヒーター抵抗値を基準とした、ヒーター断線検出機能を標準装備 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック