【分析事例】有機EL素子の成分分析

Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析

今回は構成成分の結合を壊さずに測定するために、Slope面を作製して各層を露出させました。Alq3, NPD, CuPcと推定される分子量関連イオン・フラグメントイオンが得られ、Slope面のTOFSIMS分析が有機多層膜の成分分析手法として有効な手段であることが確認されました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査

切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定

Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着（転写）させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。このように、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】熱履歴を考慮した異物の成分同定

熱履歴を揃えた標準試料の活用提案

ある場合、測定サンプルと同じ環境で処理した標準物質を比較データとして用いる必要があります。 熱処理（200℃/30分）によってPP標準物質がどのように変化するかを調べるため、FT-IR及びTOFSIMS測定を行いました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

微量汚染物のTOF-SIMS分析

TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染…

再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。 同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を 行いました。 TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物（CH,CN）、 Na、K、が検出されました。 ウォ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】錠剤タイプ頭痛薬の組成分布評価

新品と過酷試験後の錠剤断面における成分を可視化

市販されている錠剤タイプの頭痛薬に含まれる成分とその分布評価を目的として、錠剤の断面をTOFSIMSにより質量イメージング分析を行いました。制酸剤由来であるAl、Mgと有効成分のアセチルサリチル酸が、2つの領域に分かれていることがわかりました。また、過酷試験として錠剤を4週間に渡り温度50℃...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST