• 屋外路肩・壁面用 多機能型避難誘導標識『ALLシリーズ』 製品画像

    PR避難場所まで途切れず誘導!壁面・縁石上部など様々な面に設置可能な誘導標…

    『ALLシリーズ』 は、壁面・緑石上部などの色々な面に 多機能的に簡易設置可能な誘導標識です。 小型矢印タイプと併せて、避難場所までの誘導に役立ちます。 屋外用高輝度蓄光製品として高い性能を持ち、 12時間後でも14mcd/m2強の驚異的な残光輝度を実現。 長時間経ったあともはっきりと文字・サインが視認できます。 【特長】 ■簡易設置可能 ■積層構造型蓄光製品 ■高い耐候...(つづきを見る

  • 手元に置いておきたい一冊!スポンジサンプルブック 製品画像

    PRゴムスポンジ等、豊富な製品をラインアップ!【サンプルブックプレゼント】

    当カタログは、株式会社甲南が取り扱うスポンジのサンプルを 掲載しています。 添付サンプルはそれぞれの代表的グレードを載せておりますが、 その他各種多様な材質及びグレードがございますのでご相談下さい。 規格及びデータにつきましては必要に応じて提出致しますので御下命下さい。 サンプルブックはもれなくプレゼントできます。 サンプルブック希望の方は、お問合せください。 【掲載...(つづきを見る

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  • DPタイプ 抵抗加熱式真空蒸着装置 SVC-700 製品画像

    DPタイプのベーシックな真空蒸着装置 各種デバイスの電極膜付け用途に

    「SVC-700」は、DP+RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。 金属・カーボンの高真空領域における成膜に最適です。 シンプルな構成と豊富なオプションで研究や開発をサポートします。 【特長】 〇ベンチトップタイプのベーシックな真空蒸着装置 〇DPながら、簡単操作の排気バルブ手動タイプ 〇優れた拡張性により、さまざまなカスタマイズが可能 ...【仕様】 ○到達圧力 10-4Pa ...(つづきを見る

  • 薬液ヒーター フランジタイプ 製品画像

    薬液ヒーター フランジタイプ

    接液部は全てPFA樹脂で出来ている 薬液ヒーター フランジタイプ 【特徴】 取り付ける槽の昇温条件、槽寸法に合わせ設計・製作いたします...接液部は全てPFA樹脂で出来ている 薬液ヒーター フランジタイプ 【特徴】 取り付ける槽の昇温条件、槽寸法に合わせ設計・製作いたします...(つづきを見る

  • バッチタイププラズマリフロー装置(フラックスリフロー) 製品画像

    微細ウェハバンプのフラックスレスリフロー装置 サンプルテスト対応 省…

    高密度プラズマ(SWP)による強還元性H2ラジカルによりフラックスフリーのバンプリフローを実現。 フラックスの塗布・洗浄工程を削減。リフロー前後のウェット工程を削減。ウェット装置のスペース・処理・ユーティリティーを削減する省エネ・省スペース・クリーンプロセス。 300mmウェハ対応の処理ステージによる最先端量産プロセスをバッチタイプのハードで小径基板のニッチデバイスに対応 短タクトのバッチ処...(つづきを見る

  • カフマン グリッドタイプ イオンソース 製品画像

    KRIグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

    カフマン型グリッドイオンガン  RFICPイオン源グリッドサイズ:4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm  DCイオン源グリッドサイズ:1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The versatile gridded series of broad beam ion sources are available in different sizes which...(つづきを見る

  • ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 ディップタイプ 製品画像

    【デモ機貸し出し可能!】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…

    本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、...(つづきを見る

  • シリンダータイプヒーター(円筒)  製品画像

    シリンダータイプヒーター(円筒) 

    シリンダータイプヒーター(円筒)  耐熱ヒーターカンタルA-1を使用した、断熱材と一体化した高負荷タイプの 円筒形モジュールヒーターです。...均熱性にすぐれるため、電子部品、半導体材料などの熱処理に多く用いられております。 □■特徴■□ ■RACタイプヒーターは、スパイラル形状にしたカンタルA-1ヒーターをセラミックスペーサーで固定し、断熱材に埋め込んだ円筒形モジュールヒータ...(つづきを見る

  • ECU(電源制御ユニット)テスタ ECOIC-E2 卓上タイプ 製品画像

    卓上タイプのECU(電源制御ユニット)テスタ

    ■□■特徴■□■ ■対象装置 ・燃料噴射装置、エアバッグ、ABS、エアコン、ステアリング、室内調光、ワイパー、サンルーフ などのECUに! ■コンパクト ・全体サイズ(mm):約W450×D450×H400 ・本体重量:約30kg ■標準機能 ・入出力信号:64本(ECUにより対応) ・主電源:DC35V・20A(外部) ・ソースメジャーユニット:バイポーラ出力 ±2...(つづきを見る

  • スピンドライヤー SFH type 製品画像

    【デモ機貸し出し可能!】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です

    SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のクリーン度を向上させます。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵...(つづきを見る

  • レンタル専用スピンコーター(卓上タイプ) 製品画像

    業界初!レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・…

    業界初!レンタル専用スピンコーター 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ 対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間:15日間~1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ ...【装置構成】 ・基板サイズ(MAX):250mm□・φ300mm ・回転数:MAX6000rpm(...(つづきを見る

  • CtoCタイププラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー) 製品画像

    フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェット…

    ダメージフリーのダウンフロー型表面波プラズマの強還元性H2ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー フラックス塗布、洗浄工程 塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライCtoCシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。 ...チャージアップダメージフリープロセス。 信頼性の高い安定した搬送機構 均一な温度分布による300mmウェハ面内のリフロー温度プロファイル 300mmウェ...(つづきを見る

  • ヒューズテクノネット ガスコントロールユニット集積タイプ 製品画像

    ガスコントロールユニット集積タイプで、ガス漏れを監視します

    半導体、液晶工場向け装置ガス、液体材料供給システムの設計、製作を行っております。...【特徴】 ○ガス漏れを防ぐ ○集積タイプ ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。...(つづきを見る

  • 試作・少量生産用バッチタイプスパッタリング装置 製品画像

    多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

    コンパクトな筐体に3元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。...シリーズは基本的に4インチカソード、6インチカソード、8インチカソードを装備したバッチタイプ(標準各3元...(つづきを見る

  • 高精度処理タイプ ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン 製品画像

    高精度処理タイプ ソフトエッチング・小径穴洗浄ライン

    抜群の面精度で、小径孔も確実に洗浄...【特長】○直進性の高いスリットで小径孔を洗浄 ○高精度エアーナイフにより孔内の乾燥も実施 ○板厚50μmのワークも搬送可能 ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。 ...(つづきを見る

  • 高精度処理タイプ 高精度エッチングライン 製品画像

    高精度処理タイプ 高精度エッチングライン

    ファイン化仕様、薄板搬送対応...【特長】 ○ファイン用ノズル配列とオシレーションシステムにより均一な面精度が出せます ○上エッチングは個別圧調でさらに高精度 ○板厚50μmのワークが安定して流せる ●その他機能や詳細については、カタログをダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 スプレータイプ 製品画像

    【デモ機貸し出し可能!】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(…

    枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します(フープ対応可)。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ○枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置 ○各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供(フープ対応可) 【仕様】 ○ウエハーサイズ:~φ300mm ○洗浄液...(つづきを見る

  • シェル&チューブ ラウンドタイプPVC製シェル 製品画像

    シェル&チューブ ラウンドタイプPVC製シェル

    SUPER PFAを伝熱管に使用しております。 高純度薬液の加熱・冷却に最適です。...SUPER PFAを伝熱管に使用しております。 高純度薬液の加熱・冷却に最適です。...(つづきを見る

  • 簡易実験用スパッタリング装置 製品画像

    全手動バッチタイプと手動搬送機構装備の簡易ロードロックタイプの2機種 …

    当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を ...(つづきを見る

  • ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」 製品画像

    油、有機溶剤検知器にRoHSおよびCE対応のOD-7が加わりました。

    ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」は、多種類の油や有機溶剤に対応する高性能なセンサと組み合わせて使用する機器です。 一般工場・各種プラント・火力、原子力発電所等の機器や、配管からの液漏れを早期に発見し、事故を最小限に防止することができます。 【特徴】 ■検知方法は抵抗変化方式を採用 ■液漏れと断線の警報を各々別の外部接点から出力することが可能 ■対象液体や液漏れ状態...(つづきを見る

  • ハンディタイプ静電チャック「ソフトパーム」 製品画像

    薄型化するウェハー、ガラス基板、金属箔、フィルムなどの搬送に最適!従来…

    『ソフトパーム』は、クーロン力にて対象物を接触吸着し、ハンドリング するハンディタイプの静電チャックです。本製品は面吸着のため、薄い部材に対して局所的ストレスがかからないのが最大の特長です。また、電池駆動(充電可)のコードレスタイプと、専用コントローラー駆動セミコードレスタイプがございます。 【特長】 ■コードレスの為どこでも携帯可能 ■凸凹面のある対象物も吸着可能 ■電位は最小に抑...(つづきを見る

  • バッチタイプSWPアッシング装置 製品画像

    ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

    表面波プラズマ(surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・MEMSデバイスに対応 MEMS製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れ...(つづきを見る

  • 薄肉シームレスパイプ(単層タイプ) 製品画像

    強度と耐熱性に優れた高精度の薄肉シームレスパイプを実用化! 他工法では…

    弊社製品の「メタルスリーブ」は、金属性シームレスパイプを極限まで薄く加工する技術を駆使し 金属の塑性加工技術の粋を集めた遠藤製作所固有の技術です。 薄肉シームレスパイプ(単層タイプ)は、他工法では実現困難な板厚100μm以下の薄肉加工を実現! 耐熱強度や耐食性を備えた「薄肉シームレスパイプ」としてご使用いただいております。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お問い合わせくださ...(つづきを見る

  • 【極限の薄さで開発案件に貢献】薄肉シームレスパイプ(積層タイプ) 製品画像

    薄肉シームレスパイプの熱伝導率を大幅に向上!表面に積層させる金属の特徴…

    弊社製品の「メタルスリーブ」は、金属性シームレスパイプを極限まで薄く加工する技術を駆使し 金属の塑性加工技術の粋を集めた遠藤製作所固有の技術です。 薄肉シームレスパイプ(積層タイプ)は、メタルスリーブ技術で加工した薄肉シームレスパイプの表面に 用途に応じた金属を積層させます。 例えば、強度が高いステンレス製の薄肉シームレスパイプの上に、熱伝導性の高いアルミ材を積層させることで ステン...(つづきを見る

  • 【小型&軽量】UV-LED照射装置 ~上下両面照射タイプ~ 製品画像

    卓上で使えるコンパクトなLED硬化装置。上/下両面照射が可能で、手ごろ…

    本製品は、上/下両面照射が可能な紫外線照射装置です。 小型でリーズナブルながら、費用対"硬化"(=効果)をとことん追求しています。 半導体、樹脂材料、フィルム、接着剤などの研究開発等、さまざまな分野でご利用いただいています。また、蛍光灯タイプ(※本製品は、LED照明)もご用意しております! 【特長】 ■上/下両面照射が可能 ■小型かつ軽量 ■ランプの寿命は20,000時間をクリア ...(つづきを見る

  • 卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ) 製品画像

    空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

    樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決! 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪ チャンバーサイズはφ250mm×高さ150mm。...プラズマ装置国産メーカー『魁...(つづきを見る

  • 卓上サーボプレス 0.3/1tonタイプ 製品画像

    業界初、小型・軽量・低騒音で環境に優しい新サーボプレス

    SBN−300/1000は、安全性・操作性・応用性・職場環境などを考慮して開発された今までに無い新感覚の「超薄型卓上サーボプレス機」です。               SBN-300   SBN-1000 ●加圧力ton(kN):    0.3(2.9)    1(9.8) ●ストローク数spm:  max300    max300    ●ストローク長mm:    3〜27   3〜...(つづきを見る

  • 高速昇温ホットプレート「PA6010型 ハイパワータイプ」 製品画像

    最高温度600℃!昇温速度に優れたハイパワータイプホットプレートです。

    高速昇温ホットプレート「PA6010型 ハイパワータイプ」は、従来の設計を1から見直して、プレートを可能な限り軽量化し、AC100V電源で動作するぎりぎりのところまで出力を上げることで高速昇温を実現致しました。 室温から600℃までを、わずか5分30秒程で昇温させてしまうことが可能で、従来のホットプレートと比べると、その差は一目瞭然です。 【特徴】 ○高速昇温型のホットプレート ○室温...(つづきを見る

  • ベーシックタイプ 薄膜蒸着モニター SQM160 製品画像

    標準2チャンネルセンサー入力、オプション追加4センサー入力!膜厚測定の…

    SQM-160は、薄膜蒸着プロセスで蒸着レートと膜厚を計測するために、インフィコンのクオーツクリスタルセンサーで証明されたテクノロジーを活用します。標準構成で2つのセンサーを入力ができ、オプション4センサーカードを追加することで、さらに4つのセンサーの入力することを可能にします。標準の2つのレコーダーアウトプットから、レートと膜厚のアナログ信号を出力します。複数のセンサー入力は、1つの材料に対して...(つづきを見る

  • TMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80 製品画像

    簡単操作のTMP排気システム採用!拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

    「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP+RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。 排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。 シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。 また、専用オプションにより、有機...(つづきを見る

  • PLAZMARK(R) ウエハ型 セラミックタイプ 製品画像

    ウエハプロセスのプラズマ評価に!面内分布を手軽に可視化。高温プロセスも…

    プラズマ処理効果の評価ツールとして、2014年の発売以来、 お客様の用途に応じてラインアップを拡充してきた「PLAZMARK(R)」。 このたびご要望の多かったウエハプロセス向け製品の第1弾として 『PLAZMARK(R) "ウエハ型" セラミックタイプ』が登場! 電子デバイスのエッチングやアッシングなど、 ウエハプロセスの面内分布等の評価にご利用いただけます。 【特長】 ...(つづきを見る

  • ハンディタイプUV(紫外線)硬化装置 製品画像

    高出力のUV硬化装置をお手元で、簡単に。 樹脂にあわせた3種類の…

    UV硬化は、ランプより放出される紫外線(250nm~450nm)の照射を行う事により、UV硬化性の樹脂・接着剤・塗料・レジスト等が瞬時に光重合反応をおこし硬化する技術です。  これらのUV硬化技術は、従来の熱乾燥などと比較すると「硬化・乾燥」までに至る時間が圧倒的に短く、溶剤等の使用量が飛躍的に削減される為、「省エネ」「省スペース」「環境面」に於いてその特性を発揮します。...感光剤である紫外線...(つづきを見る

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