• 最短納期40日!エアーシャフト 製品画像

    PRCFRPエアーシャフトもお取扱ございます! 国内設計のため要望に応じ…

    高性能な外部膨張エレメントを採用することにより、アルミボディを採用でき軽量化に貢献、且つシンプルな構造となり低価格を実現しました。 使用環境や状況により材質や形状をカスタマイズできる国内設計のオーダーメイド製品で高品質を実現しました。 【特長】 ・外部膨張エレメント型より約20%近い大きいトルクを発生(SF-2100) ・国内設計のため、要望に合わせたカスタマイズが可能 ・短納期、低...(つづきを見る

  • 金属部品の腐食でお困りの方へ!金属表面処理【クリーンエス処理】 製品画像

    PR厚膜フッ化ニッケル不働態処理により飛躍的に耐食性を向上! その他、耐…

    汎用金属素材(SUS材、アルミニウム材等)の腐食性ガス雰囲気に対する耐食性を付与することを目指してきましたが、近年より腐食性の激しいガスの使用環境に対し、さらに耐食性能を高めたフッ化ニッケル不働態処理の開発に成功しました。他、皮膜の高硬度化(ビッカース硬度1,000程度)により耐食/耐摩耗効果のバランスを発現させたタイプが揃っています。 ※クリーンエスは昭和電工(株)の登録商標です。 【特...(つづきを見る

  • 連続アニール炉 製品画像

    遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉

    当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 (特長) ●早い加熱処理  例その1:自動車ヘッドランプ 溶着後の歪除去 60分⇒5分  例その2:ICトレー 射出成形後の寸法安定 240分⇒6分  例その3:人工透析器 射出成形後の内部歪除去 120分⇒3分 ●コストダウンに貢献  ...(つづきを見る

  • YACデンコー社のFPD用熱処理装置、ベルト搬送炉、赤外線ヒータ 製品画像

    各種金属の熱処理炉、非接触のクリーンな熱源である遠赤外線処理

    ■FPD用縦型熱処理装置  ・LCDの第1世代から第8世代に対応  ・高効率面状IRヒータを用い、均一な加熱が可能  ・クリーン度Class10対応(FED-STD209E) ■ベルト搬送炉  ・遠赤外線加熱技術により幅広いプロセスに対応  ・スタンダードタイプ焼成炉、高速焼成炉、小型焼成炉、WB式焼成炉、ロープ搬送式乾燥炉、ローラーハース搬送式焼成炉 ■高効率遠赤外線ヒータ...(つづきを見る

  • ポリイミドベーキング装置 製品画像カタログあり

    300mmウェハ、高密度実装ボード、ポリイミドキュア、ベーキング、アニ…

    真空置換後の低酸素雰囲気(N2)中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。300mmウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...低酸素雰囲気中で熱風加熱。温度均一性とクリーンネスを両立。先端デバイスの量産ラインで採用実績豊富な高信頼性装置。 半導体用ポリイミドキュアだけ...(つづきを見る

  • 高温高出力半円筒形ヒーターモジュール スーパータルSHC-HT 製品画像カタログあり

    スーパータル HT (高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃)

    半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパーHT)を組み込んだ 高温高出力ヒーターモジュール...□特徴□ ■最高炉内温度1675度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ:SHC HT ■発熱部長さ:150mm ■全長:200mm ■発熱体温度:1700度 ■詳細は、お問い...(つづきを見る

  • ◆ANNEAL◆ 卓上型ウエハーアニール装置 製品画像カタログあり

    [ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱…

    高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です(APC自動プロセス制御システムオプション)。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...(つづきを見る

  • ◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆ 製品画像カタログあり

    ローコスト 必要最小構成(手動制御)管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用…

    小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉 大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉 【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験:縦型管状炉・酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験...【主な仕様】 ・炉内温度Max1200℃, 試料最大温度Max950℃ ・小片試料:数ミリサイズ〜3in...(つづきを見る

  • スピンコーター 製品画像カタログあり

    研究・開発向けの、低コストでハイスペックなスピンコーターです。

    スピンコーター組込用ドラフトも同時販売します。耐酸・アルカリ仕様も製作します。簡易防爆(安増)仕様や装置パネル分離タイプなど特殊仕様も承ります。詳しくはお問い合わせ下さい。...■仕様 ※機種により異なります 【基板サイズ】 φ10~φ200、基板対応  【カップ(外輪)】 φ220~φ400 【回転範囲/回転数精度】 100~8000rpm/±3rpm以下 【真空Torr(mmHg)】 ...(つづきを見る

  • 高出力円筒形ヒーターモジュール スパータルSMU 製品画像カタログあり

    発熱体最高使用温度:1550℃!モジュールヒーター

    円筒形ヒーターモジュール SMU 円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■発熱体最高使用温度: 1550℃ ■炉内 最高使用温度 : 1500℃ ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、シリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■SMUが提供できる機能 ・急速な昇降温...(つづきを見る

  • スーパータル シングルウェハーリアクター 製品画像カタログあり

    電子・半導体業界用!1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

    従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール □■特徴■□ ■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ:SWR...(つづきを見る

  • 高出力半円筒形ヒーターモジュール スーパータルSHC 製品画像カタログあり

    スーパータル 半円筒(ハーフシリンダー)型

    半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■最高炉内温度1550度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ:SHC ■発熱部長さ:150mm ■全長:200mm ■発熱体温度:1600度 ■詳細は、お問い合わせ...(つづきを見る

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