小型・完全非接触の『テレメトリー計測システム』※MANNER社製

PR回転体のデータ収集において、ニーズに合わせた計測を可能とする完全非接触…

MANNER社製の『回転体テレメータ』は小型で完全非接触。 高回転に対応したテレメータアンプとアンテナの構成により、 歪ゲージ、熱電対等のセンサーに取り付け可能です。 半永久的に通信を可能とした誘導タイプから、 長距離の通信を可能にしたラジオタイプ等まで、ユーザーの用途に合わせた製品を提供できます。 精度も良好で、派生品では標準トルク計もご用意しています。 【本製品が選ばれるポ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツイ 東京本社

自動工具交換装置『NITTAOMEGA type S-C』

PR軽量、コンパクトな5-10kg可搬の産業用ロボット向けオートマチックツ…

『NITTAOMEGA type S-C』は信頼性の高いカムロック連結機構を備えた、軽量、コンパクトな5 – 10kg可搬のオートマチックツールチェンジャーです。 圧縮エアと電気信号のインターフェイスを搭載しており、一台のロボットで複数のハンドやツールを持ち変える事が出来ます。また、防水、防塵の非接触信号通信モジュールを標準化しており、厳しい環境下でもご使用いただけます。 研磨、バリ取り、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パワーテクノ

化合物半導体用電極膜アニール装置（ホットウォールタイプ）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。 長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のＨ２雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

YACデンコー社のFPD用熱処理装置、ベルト搬送炉、赤外線ヒータ

各種金属の熱処理炉、非接触のクリーンな熱源である遠赤外線処理

■FPD用縦型熱処理装置 　・LCDの第1世代から第8世代に対応 　・高効率面状IRヒータを用い、均一な加熱が可能 　・クリーン度Class10対応（FED-STD209E） ■ベルト搬送炉 　・遠赤外線加熱技術により幅広いプロセスに対応 　・スタンダードタイプ焼成炉、高速焼成炉、小型焼成炉、WB式焼成炉、ロープ搬送式乾燥炉、ローラーハース搬送式焼成炉 ■高効率遠赤外線ヒータ...

メーカー・取り扱い企業： 三井物産エレクトロニクス株式会社

化合物半導体用電極膜アニール装置

オーミックコンタクト用アニール装置。６インチ基板の急速昇降温をコンパク…

高信頼性レーザー素子の電極の合金化工程で活躍中の小型アニール装置。 急速加熱対応のホットプレート型ヒーターと基板水冷機構でコンパクトタイプの抵抗加熱型で急速降温処理を実現。 ランプヒーター加熱に無い安定性が特徴で簡易ロードロックタイプのサセプタ搬送機構で小径ウェハやチップレベルの処理にも対応。 処理温度の高温化や各種ガス導入にも対応しており、より各種ＬＥＤや高周波デバイスなど幅広いデバイスの...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ポリイミドキュア装置（３００ｍｍウェハ対応　クリーンベーク装置）

３００ｍｍウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…

真空置換後の低酸素雰囲気（N2）中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。３００ｍｍウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...低酸素雰囲気中で熱風加熱。温度均一性とクリーンネスを両立。先端デバイスの量産ラインで採用実績豊富な高信頼性装置。 半導体用ポリイミドキュアだけ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高温高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC-HT

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパーHT)を組み込んだ 高温高出力ヒーターモジュール...□特徴□ ■最高炉内温度1675度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC　HT ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1700度 ■詳細は、お問い...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー

連続アニール炉

遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉

当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 （特長） ●早い加熱処理 　例その１：自動車ヘッドランプ　溶着後の歪除去　６０分⇒５分 　例その２：ＩＣトレー　射出成形後の寸法安定　２４０分⇒６分 　例その３：人工透析器　射出成形後の内部歪除去　１２０分⇒３分 ●コストダウンに貢献 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高出力円筒形ヒーターモジュール　スパータルSMU

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

円筒形ヒーターモジュール　SMU 円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■発熱体最高使用温度：　1550℃ ■炉内　最高使用温度 ：　1500℃ ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、シリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■SMUが提供できる機能 ・急速な昇降温...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール □■特徴■□ ■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー

◆ANNEAL◆ 卓上型ウエハーアニール装置

[ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空リフロー装置

大気加熱＋真空リフローのボイドレスリフロー装置　ハイスループットでボイ…

パワーデバイスモジュール実装ラインで実績豊富な真空半田付装置の基本技術を従来型リフロー装置に移管。 不活性中（Ｎ２）で均一な予熱後、真空リフロー室でリフロー＆ボイド除去、水冷ステージでで急速冷却。ボイドレスとスループットを両立。 標準型の真空半田付装置と異なりフラックスタイプの半田ペーストにも対応、従来のリフローラインに互換ＯＫ。 Ｎ２リフロー＋真空リフローのハイブリッド型のボイドレスリフロ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆

ローコスト 必要最小構成（手動制御）管状炉・拡散炉・熱CVDとして応用…

小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉 大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉 【用途】 ◉ 半導体・太陽電池・燃料電池・電子基板等の熱処理 ◉ 基礎実験：縦型管状炉・酸化拡散炉・LPCVD等の簡易熱処理実験...【主な仕様】 ・炉内温度Max1200℃, 試料最大温度Max950℃ ・小片試料：数ミリサイズ〜3in...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

横型水素アニール装置

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

金属ナノペースト対応焼結接合装置

次世代パワーモジュールの接合用の金属ナノ粒子用の焼結接合の加圧加熱装置…

パワーモジュールで実績豊富な真空半田付装置をベースに高精度加圧ヘッドを搭載。金属ナノ粒子の焼結接合へ対応、高速昇降温型ヒーターと雰囲気制御機能（真空・不活性（Ａｒ、Ｎ２）・還元（Ｈ２・蟻酸）に高精度加圧・加熱ヘッドを追加、金属ナノ粒子の緻密なボイドレス焼結接合を実現。 ...バッチタイプ熱板型熱処理装置。 各種金属ナノ粒子の焼結接合に対応し還元雰囲気内で均一加圧加熱処理 パワーモジュール...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC

スーパータル　半円筒（ハーフシリンダー）型

半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■最高炉内温度1550度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1600度 ■詳細は、お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー