恒温恒湿槽・恒温槽『エクセレントシリーズ』※20℃/分タイプ

PR急速温度変化タイプの恒温恒湿槽・恒温槽

『エクセレントシリーズ』は、－45℃⇔155℃において勾配制御による温度 変化速度15℃/分、20℃/分を実現した恒温恒湿槽・恒温槽です。 温度上昇・下降時間が速いため設定温度への移行時間が大幅に短縮。 【特長】 ■温度サイクル運転機能の追加 ■湿度制御機能に対応 ■温度範囲の拡大 ■カラー液晶タッチパネルを搭載 ■プログラム組み合わせ運転機能付 ※詳しくはカタログを...

メーカー・取り扱い企業： 日立グローバルライフソリューションズ株式会社

高周波ウェルダー『ベーシックタイプ』【＊技術資料プレゼント】

PRコストパフォーマンスに優れたベーシックタイプ 低価格・省スペースを追…

＜ベーシックモデル＞ 　■CISRP11準拠機 　■コストパフォーマンスに優れたベーシックタイプ 　■シリンダ径変更/上下切替装置/ヒータ/メータリレー/コモンベース等、 　　ご要望に応じたカスタマイズが可能 　■発振器のみのご提供も可能 ＜主な用途＞ 塩ビ溶着、シート溶着、フッ素樹脂シート溶着、フィルター溶着、接着剤乾燥　など ＜対象製品例＞ 自動車内装部品、輸液バッグ/輸...

メーカー・取り扱い企業： 精電舎電子工業株式会社

◆ANNEAL◆ 卓上型ウエハーアニール装置

[ANNEAL]は、ウエハー等の基板を安定したプロセス雰囲気にて高温熱…

高真空水冷式SUSチャンバー内に設置した加熱ステージにより最高1000℃までの高温処理が可能です。チャンバー内にはヒートシールドが設置されインターロックにて安全を確保。マスフローコントローラは最大3系統まで増設が可能、精密に調整されたプロセスガス圧力での焼成作業が可能です（APC自動プロセス制御システムオプション）。 又、フロントビューポート、ドライスクロールポンプ、特殊基板ホルダー、熱電対増設...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

化合物半導体用電極膜アニール装置（ホットウォールタイプ）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

Ｓｉプロセスに実績豊富なアニール装置を化合物半導体プロセス用にカスタマイズ。 ＧａＡｓ用のホットプレートタイプに比べ高温（９００～１０００℃）まで対応。 窒化膜半導体の電極の合金化に実績。 急速昇降温型の加熱炉を装備し、均一な加熱と最適な温度プロファイルで電極膜のアニールを制御。 生産量・プロセスにあわせて最適な装置構成を提案可能な実績豊富なウェハプロセス用熱処理装置。 ...横型石英管...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素雰囲気コンベア炉（還元雰囲気連続熱処理装置）

豊富な実績を誇るベストセラータイプ、高温半田付やペースト焼成・金属粒子…

炉内を水素還元雰囲気置換。Ｎ２による不活性雰囲気では実現できない低酸素濃度と還元雰囲気処理をコンベア炉による連続処理で実現。 水素雰囲気の還元効果を応用し、通常のリフローでは対応できない高い信頼性を求められる高温半田付や連続還元雰囲気処理熱処理に対応。 各種ペーストの焼成にも実績豊富。 ３００ｍｍウェハ対応のＣｔｏＣタイプでシステムＬＳＩのウェハバンプのリフロー工程もカバー 従来の半田付・...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

化合物半導体用電極膜アニール装置

オーミックコンタクト用アニール装置。６インチ基板の急速昇降温をコンパク…

高信頼性レーザー素子の電極の合金化工程で活躍中の小型アニール装置。 急速加熱対応のホットプレート型ヒーターと基板水冷機構でコンパクトタイプの抵抗加熱型で急速降温処理を実現。 ランプヒーター加熱に無い安定性が特徴で簡易ロードロックタイプのサセプタ搬送機構で小径ウェハやチップレベルの処理にも対応。 処理温度の高温化や各種ガス導入にも対応しており、より各種ＬＥＤや高周波デバイスなど幅広いデバイスの...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ポリイミドキュア装置（３００ｍｍウェハ対応　クリーンベーク装置）

３００ｍｍウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…

真空置換後の低酸素雰囲気（N2）中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。３００ｍｍウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...低酸素雰囲気中で熱風加熱。温度均一性とクリーンネスを両立。先端デバイスの量産ラインで採用実績豊富な高信頼性装置。 半導体用ポリイミドキュアだけ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

実績豊富な真空半田付装置の基本構成を応用。半田付用の熱板加熱で高速熱処理。 高密度実装基板・プリント板の成膜前の脱ガス・乾燥。セラミックス材料の乾燥など多用途に最適。 太陽電池セルの低温べ―クや薄膜のアニールにも有効でインライン化にも対応。...急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。 長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

連続アニール炉

遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉

当社製の遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 （特長） ●早い加熱処理 　例その１：自動車ヘッドランプ　溶着後の歪除去　６０分⇒５分 　例その２：ＩＣトレー　射出成形後の寸法安定　２４０分⇒６分 　例その３：人工透析器　射出成形後の内部歪除去　１２０分⇒３分 ●コストダウンに貢献 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部　東京営業所

高温高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC-HT

スーパータル　HT （高温用半円筒型、最高炉内温度1675℃）

半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパーHT)を組み込んだ 高温高出力ヒーターモジュール...□特徴□ ■最高炉内温度1675度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC　HT ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1700度 ■詳細は、お問い...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー

量産用真空半田付装置（蟻酸対応タイプ）

ボイドレス半田付のスタンダード装置。車載用パワーデバイスモジュールを支…

豊富な実績を誇るバッチ式真空半田付装置を本格量産用に展開。 従来のＨ２雰囲気プロセスに加え蟻酸対応をプラス。より高い信頼性を持つボイドレス半田付を量産ラインで実現。 車載用パワーデバイスモジュールの半田付の標準装置。 社内デモ機によるプロセスサポートと柔軟なハード対応で要求に対応。...急速昇降温機構と厳密な雰囲気制御機構を装備、半導体ウェハプロセスで実績のガス供給機構で安定した蟻酸野供給と...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

8００ｍｍ□×8００ｍｍＨ／バッチの大量処理が可能な多用途対応の真空オーブン。 高真空処理・真空置換後の不活性大気圧処理、低真空ガスフロー処理、複数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空リフロー装置

大気加熱＋真空リフローのボイドレスリフロー装置　ハイスループットでボイ…

パワーデバイスモジュール実装ラインで実績豊富な真空半田付装置の基本技術を従来型リフロー装置に移管。 不活性中（Ｎ２）で均一な予熱後、真空リフロー室でリフロー＆ボイド除去、水冷ステージでで急速冷却。ボイドレスとスループットを両立。 標準型の真空半田付装置と異なりフラックスタイプの半田ペーストにも対応、従来のリフローラインに互換ＯＫ。 Ｎ２リフロー＋真空リフローのハイブリッド型のボイドレスリフロ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素センサー、濃度計測、溶存水素、水素燃料

用例；EVバッテリー開発（発生水素をオンライで計測）水素ジェット・ター…

水素ガス限定、膜交換不要、メンテ・校正不要、自動校正、インライン用、OEM向け、水素検知、水素濃度計測、水素ガス分析、水素ジェット燃料BTU計測、水素ガスタービン混合比オンライン計測、FCV排気管内水素計測、水素発生装置、FC燃料電池性能評価装置、センサー自体が水素限定、誤信号ゼロ、防爆、IP64, IP68, 変圧器、新幹線用ー変圧器、支柱変圧器、DGA, 絶縁油保安、呼吸ガス、ドライキャスタク...

メーカー・取り扱い企業： TRANS-PAC SALES CORP

横型水素アニール装置

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

化合物半導体のエピタキシャル層や研磨後のＳｉウェハのアニールなど特殊な用途に対応した専用アニール装置。 高真空排気後に大気圧まで水素のみで雰囲気置換を実施、高純度還元雰囲気中で高温（１０００℃）均一加熱 ...横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

金属ナノペースト対応焼結接合装置

次世代パワーモジュールの接合用の金属ナノ粒子用の焼結接合の加圧加熱装置…

パワーモジュールで実績豊富な真空半田付装置をベースに高精度加圧ヘッドを搭載。金属ナノ粒子の焼結接合へ対応、高速昇降温型ヒーターと雰囲気制御機能（真空・不活性（Ａｒ、Ｎ２）・還元（Ｈ２・蟻酸）に高精度加圧・加熱ヘッドを追加、金属ナノ粒子の緻密なボイドレス焼結接合を実現。 ...バッチタイプ熱板型熱処理装置。 各種金属ナノ粒子の焼結接合に対応し還元雰囲気内で均一加圧加熱処理 パワーモジュール...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

鋸刃用フラッシュバット溶接機【IDEAL社】

創立97年を誇るMade in Germany電気溶接機！！　　ヘビー…

【特長】 ◇小型で使いやすい卓上タイプからご用意あり ◇大型フラッシュバット溶接機BAS300シリーズはPLC制御による溶接から焼鈍までの一連作業を自動化 ◇多品種、多サイズを製造されても安定した作業工程、品質を実現！！ ◇サーボモーター制御でにより、安定した品質で製造が可能！！ ◇パイロメータで温度管理を行いながら、自動焼鈍いたします。 ◇タッチスクリーンによる操作性の向上＆レシピ保...

メーカー・取り扱い企業： 東邦インターナショナル株式会社 本社

高出力円筒形ヒーターモジュール　スパータルSMU

発熱体最高使用温度：1550℃！モジュールヒーター

円筒形ヒーターモジュール　SMU 円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■発熱体最高使用温度：　1550℃ ■炉内　最高使用温度 ：　1500℃ ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、シリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■SMUが提供できる機能 ・急速な昇降温...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール □■特徴■□ ■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー

高出力半円筒形ヒーターモジュール　スーパータルSHC

スーパータル　半円筒（ハーフシリンダー）型

半円筒系断熱材に二珪化モリブデンヒーター(カンタルスーパー)を組み込んだ 高出力ヒーターモジュール...■□特徴□■ ■最高炉内温度1550度 ■急速加熱と正確な温度制御が必要な実験炉や生産炉で使用 ■形状は、ハーフシリンダータイプで径、長さはカスタマイズ可能 ■タイプ：SHC ■発熱部長さ：150mm ■全長：200mm ■発熱体温度：1600度 ■詳細は、お問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： サンドビックマテリアルズテクノロジージャパン株式会社 カンタルカンパニー