ストレートチューブポンプ『コントローラー一体タイプ TVA型』

PRチューブの消耗を抑制！コントローラー一体タイプの高精度試薬注入ポンプ

『コントローラー一体タイプ TVA型』は、2本のチューブ間を往復する フィンガが作る蠕動(ぜんどう)運動で、液体を送るチューブポンプです。 フィンガがチューブを真っ直ぐ押して液体を送り出しますので、 他のチューブをしごくタイプに比べてチューブの消耗を抑えられます。 また、180度位相の異なる2本のチューブで液体を送るので、 脈動が抑制され安定した定量塗布が行えます。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクアテックス

【異物検査装置】波長選択型の異物検査装置

PR検査対象サンプルに合わせ、検査に最適な光(波長)に切替る波長選択型の検…

エフケー光学研究所の異物検査装置は、検査対象サンプルに合わせ検査に最適な光(波長)に切替る波長選択型の検査装置です。 どの波長においても均一に照射可能です。 検査撮像素子に対して迷光ノイズ成分を十分に抑えた光学設計となっています。 また、お客様のライン構成に最適化可能な豊富なラインナップを取り揃えています。 1.　検査ステージ上に置かれたガラス基板を複数台のエリアセンサで検査するエ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エフケー光学研究所

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

表面波プラズマ（surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

低圧プラズマ装置

表面改質に最適な1台　低圧プラズマ装置

当社ではDiener Electronic社製（ドイツ）プラズマ装置を輸入販売しています。ドイツではプラズマ処理の研究・実用が進んでおり独自の技術を持つ専門メーカーが いくつかありますが、その中でもDiener Electronic社は1993年創業で電気電子部品、プラスチック製品、医療用途などでの表面処理を得意とするメーカーです。世界中に販売実績があり、卓上型から自動車部品処理用等の大型の製品...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。...IC、LSI、光半導体などの組立工程（ダイアタッチ、ワイヤーボンディング、樹脂封止、アンダーフィル充填前）での...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社