Dynalabs社製『小型加振器』＜複数タイプをラインアップ＞

PRアンプとサイン波発生器が内蔵されたオールインワンモデル。コンパクトで取…

当社では、コンパクトで耐久性に優れ、取り扱いも容易な DynaLabs社製『小型加振器』を販売しております。 導入後すぐに振動試験が開始できる、アンプおよびサイン波発生器を 本体に内蔵した汎用タイプのオールインワンモデルをはじめ、 モーダル解析用や、慣性式のタイプの製品もラインナップ。 試験内容に合わせて製品をお選びいただけます。 【ラインナップ（抜粋）】 ◎「小型加振器...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社シスコム（SysCom）

往復回転式撹拌機【高粘度液・高濃度液の撹拌操作が容易！】

PR往復回転で撹拌効率アップ！高粘度液・高濃度液の撹拌操作が容易な往復回転…

『往復回転式撹拌機アジター』は、三角翼をつけた撹拌軸が一方回転でな く、1/4回転ごとに反転をする撹拌機です。低粘度液から高粘度液まで 溶解、反応など広範囲に使用でき、独特の撹拌効果を発揮します。ニーダー としても利用できます。 【特長】 ■槽内の液は複雑な上下対流となり、強力な撹拌でも液面は常に平ら ■邪魔板や槽底の軸受が不要で空運転ができる ■三角翼の向き、位置によって発泡、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島崎エンジニアリング 本社

水素プラズマクリーニング装置（ラジカルクリーニングタイプ）

高密度プラズマによる高還元性水素ラジカルでダメージレスクリーニング。半…

水素ラジカル（高還元性水素活性種）により表面酸化層のプラズマダメージレスクリーニングを実現。 大面積対応の高密度プラズマ源SWP（表面波プラズマ）採用。プラズマ中のイオンを完全除去。ダメージレス（電荷フリー・チャージアップフリー）のソフトプロセス。 還元力の強い水素ラジカルにより金属表面酸化層（半田・錫）を苦クリーン除去。 実装前洗浄に加え、在庫電子部品の端子部のクリーニングによるリペア・復...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

多用途に実績豊富なプラズマクリーニング装置に新タイプ登場。 従来のプラズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。 今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。 従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ２（酸素）クリーニングとの2段階ステップクリーニングなど新たなク...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

表面波プラズマ（surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ装置　PiPi（ピピ）

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用...小型・低価格　プラズマクリーナー。 手軽なRIE装置です。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社