チムニシリーズ性能UPで新色登場！

PR5000時間の耐酸試験をクリア。燃焼系装置を保護。常温乾燥で塗装が楽。

『サーモジンチムニ』は、優れた耐熱・耐酸性を有する塗膜を形成し、腐食性ガス（硫酸・塩酸）や酸露点腐食から、素材を長期間保護するロングセラー商品です。更に耐酸性が向上。長期間塗膜を維持する耐擦傷性と強度も向上して、2色追加になりました。 【特長】 ■硬化剤と合わせて使う2液タイプ（下塗り無） ■設備停止時の高濃度な低温腐食からも素材を保護 ■耐塩水性（塩害）、耐候性、耐錆性、にも優れてい...

メーカー・取り扱い企業： 東京熱化学工業株式会社

東レ　ワイピングクロス『トレシーシリーズ　クリーンルーム用』

PR先着50社にサンプル進呈！拭き取り性能抜群。クリーンルームや半導体業界…

当社では、高密度な単糸繊度0.07dtex(直径約2μm)の 超極細繊維により、水・油・薬品などを残さず拭き取れる 工業用ワイピングクロス「トレシーシリーズ」を展開しています。 『クリーンルーム用』は超純水洗浄したクロスを クラス100対応のクリーンルーム内で包装。 ドライクリーニング向けやウェットワイプに適した保水性に優れるタイプなど 様々な用途向けの製品をラインアップし、そ...

メーカー・取り扱い企業： 東レ株式会社 トレシー販売部

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

表面波プラズマ（surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

低圧プラズマ装置

表面改質に最適な1台　低圧プラズマ装置

当社ではDiener Electronic社製（ドイツ）プラズマ装置を輸入販売しています。ドイツではプラズマ処理の研究・実用が進んでおり独自の技術を持つ専門メーカーが いくつかありますが、その中でもDiener Electronic社は1993年創業で電気電子部品、プラスチック製品、医療用途などでの表面処理を得意とするメーカーです。世界中に販売実績があり、卓上型から自動車部品処理用等の大型の製品...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。...IC、LSI、光半導体などの組立工程（ダイアタッチ、ワイヤーボンディング、樹脂封止、アンダーフィル充填前）での...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社