ケイドン「転がり軸受　製品一覧」

PRケイドンは、超薄型シリーズだけでなく、各種転がり軸受をラインアップ！

【超薄型ボールベアリング】 ■ 驚きの薄さと軽さで、装置の軽量化と省スペース化に貢献 ■ アンギュラコンタクト（Type-A）や深溝型（Type-C）に加え、4点接触型（Type-X）をラインアップ ■ 4点接触型は、ベアリング1個でラジアル・スラスト・モーメントの複合荷重を受けられます。 ■ ボールならではの、軽トルクの回転と高い回転精度を実現 ■ 半導体装置や宇宙用途の真空環境向けに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

排煙口（手動復帰型/自動復帰型）

PR天井ボードを張りつけられるタイプも製作可能！メラミン焼付塗装仕上げの排…

『排煙口（手動復帰型/自動復帰型）』は、煙感知器または手動開放装置 との連動により瞬時にパネルが開放します。 天井面の色に合わせてメラミン焼付塗装仕上げとなっており、 天井ボードを張りつけられるタイプも製作可能。 また、当社は、ワイヤー式（機械式）と電気式の「手動開放装置」も 取り扱っております。 【製作仕様】 ■標準L寸法/160mm（300×300のみ140mm） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NEXUS

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチタイプＳＷＰアッシング装置

ダメージレス、ハイレート、大面積対応、イオンダメージを完全除去、完全ラ…

表面波プラズマ（surface Wave excited plasma)による高密度プラズマをイオン遮蔽トラップにてイオンを完全にシールド。基板にラジカルのみを供給。 高密度ラジカルによるウェット同等のダメージレスアッシングを実現。 ハイレートとダメージレスアッシングを両立。コンパクトなバッチタイプで小型基板・化合物半導体・ＭＥＭＳデバイスに対応 ＭＥＭＳ製造プロセスの有機膜犠牲層除去に優れ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマドライクリーナー 　プラズマクリーナー　プラズマ洗浄装置

ご要望に合わせてカスタマイズ出来るプラズマクリーナー

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

新型高密度プラズマ表面処理装置

従来の容量結合型より一桁高いプラズマ密度を実現。シンプルな構造で従来型…

新型放電機構HCDにより従来の容量結合型プラズマより一桁高いプラズマ密度を実現。 放電用のアンテナや磁石などの付属機構を使用せずシンプルな機構で高密度プラズマを容易に実現。 従来の容量結合型放電タイプの装置に比べ処理面積の拡大が容易に行えウェハより一回り大きな基板への対応を容易に行えます。 エッチングや表面処理に従来に無い用途とプロセスを実現します。...従来の容量結合型（平行平板型）プラズ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

プラズマ装置　PiPi（ピピ）

小型卓上タイププラズマ装置　PiPi（ピピ）

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用...小型・低価格　プラズマクリーナー。 手軽なRIE装置です。...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社