ロードホールディングバルブ　タイプ LHK LHDV LHT

PR1.位置保持 2.ハンチング防止（スムースな動き）

・当社マルチフローポンプ、シート形切換バルブと組合せ、同調回路を構成できます。 ・荷重が正負に変動する反転装置やスイング装置、クレーンの長いアーム等、スピードを一定に保ちます。 ...･タイプLHK 最高使用圧力:40MPa～ 最大流量:100L/min～ ･タイプLHDV 最高使用圧力:42MPa 最大流量:80L/min ･タイプLHT 最高使用圧力:42MPa～ ...

メーカー・取り扱い企業： HAWEジャパン株式会社 本社

『ジャッキシステム』

PR同期運転、自在なレイアウト、省スペース、クリーンでエコ…。ジャッキシス…

ジャッキシステムとは、ねじ（台形ねじ・ボールねじ）式の スクリュージャッキを機械装置に複数配置し、 荷重を押し上げたり、引き上げたりする機構。 ジャッキの他にモータ（ギヤードモータ・サーボモータ）、 ベベルギヤボックス、カップリングやカウンタ軸等で構成されます。 【特長】 ■同期運転が容易 モータの回転数でジャッキの移動量が決まっており、連結ができるため、 ジャッキの同期運...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マキシンコー

大気圧プラズマ装置　エアープラズマECO（エコ)シリーズ

【オートモーティブワールド2020出展】低コスト！シンプルで経済的な大…

『エアープラズマECO（エコ)シリーズ』は、一般型のAP-4000プラズマ装置からタッチパネル機能を搭載しないことで、シンプルで経済的にお使いいただけるよう開発したモデルです。 処理効果を司る高圧トランスとコントロールボードはAP-4000シリーズと同じですが、プラズマ出力は受注時に500/750/1000Wのいずれかに決定し設定、出荷されます。 【ラインアップ】 ■AP-4000 ...

メーカー・取り扱い企業： AETP Japan合同会社

ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。 次世代デバイスの開発（強誘電体膜開発、配向性窒化膜形成）に実績のソフト＆ハード ＵＶ－ＬＥＤ用テンプレート用ＡｌＮ膜、センサー用酸化膜、高均一性電極膜、薄膜ヒーター...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ロードロックタイプスパッタリング装置（トレイ搬送タイプ）

小型電子部品・太陽電池セルから大型ＦＰＤ基板まで。膜質と個別対応が特徴…

矩形ワイドエロージョンカソードを多元装備、基板に合わせた専用設計で要求に個別対応。効率的なハード構成と膜種対応専用カソードで膜質とスループットを両立。 プロセスに合わせて加熱・冷却・逆スパッタ・ボンバードの各室設置可能。 大型基板の開発・試作から小型基板の量産用途まで実績ハードのカスタマイズで幅広く対応。 膜種に合わせ専用カソードも装備可能。 ...トレイ搬送型スパッタリング装置 縦...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望を確実にサポートします。...シリーズは基本的に４インチカソード、６インチカソード、８インチカソードを装備したバッチタイプ（標準各３元...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

Diener Electronic社製『プラズマ処理装置』

幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…

当社では、半導体分野をはじめとする現場で数多くの導入実績を持つ Diener Electronic社製の『低圧・大気圧プラズマ装置』を販売しています。 取り扱いが簡単で低価格な実験用の小型製品から パワフルな処理能力を備えた大型機まで幅広くラインアップ。 低圧タイプ、大気圧タイプともに豊富なモデルを揃えており、 研究開発や少量生産などお客様のニーズに合わせた選択が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

コンパクトな真空ガス焼入炉、BMIのBMICROシリーズ

小規模生産や研究開発用の小型真空ガス焼入炉。 最小タイプの最大積載量…

コンパクトなBMICROシリーズは省スペースで低コストの立形真空ガス焼入炉で、最高処理温度1250℃、小規模/少量多品種生産や研究用途に最適な真空炉です。 タイプは以下の2種。 BMICRO20/30 最大積載量は20kg。Φ200mm、高さ300mmの積載スペース。 BMICRO30/45 最大積載量は50kg。Φ300mm、高さ450mmの積載スペース。 いずれも、低圧...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社　国内グループ

サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイプ プラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。 全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

高密度プラズマＳＷＰ－ＣＶＤ装置(グラフェン用プラズマＣＶＤ）

新成膜技術ＳＷＰ－ＣＶＤ　高密度プラズマで新分野を開拓。グラフェン・結…

無磁場・無電極型の高密度プラズマ源ＳＷＰ（表面波プラズマ）を採用。 通常のプラズマＣＶＤでは使用困難な液体ガスソースも使用可能。 グラフェンやカーボン膜太陽電池など新たな薄膜で分野開拓。 ＳｉＨ４プロセスでは配向性結晶性Ｓｉ膜を容易に形成可能 基礎研究から実用化開発まで確実にサポート。...ＳＷＰ（表面波プラズマ）ヘッドを搭載したプラズマＣＶＤ装置。 基本のバッチタイプはアッシングで実績...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

粉体大気圧プラズマ処理装置 Plamino

大気圧下で粉体の表面改質が行えるプラズマ処理装置 〜サンプル測定を実…

「Plamino」は、日本発の技術である大気圧プラズマを使い、ヘリウム/窒素雰囲気下でグロー放電を行うことで高分子粉末の表面分子に官能基を高濃度付加出来ます。 □素材の機能性・分散性・耐熱性が向上します。 □医薬品や化粧品の紛体の表面処理など、応用の可能性が広がります。 ※この製品は九州産業大学殿開発(関連サイト)弊社製造製品です。 【特長】 ●真空不要で化学処理よりも安価 ●...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

卓上型／スタンドアローン 大気圧プラズマ装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲…

当社取り扱いの『卓上型／スタンドアローン 大気圧プラズマ装置』を ご紹介します。 前後スライドステージによるシンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置 「MyPLシリーズ」をはじめ、スタンドアローンタイプの「ILPシリーズ」や キャリアガスに不活性のアルゴンを使用したダイレクト方式のプラズマ装置、 アルゴンガスを使用した大気圧プラズマのヘッドユニット「MDシリーズ」 などを取り扱っており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イトー

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。 廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応） 実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電子部品の生産プロセスのドライ化・低コスト化、安定生産に貢献いたします。...電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハ…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。 Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。 基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハンドリングで異種基板の同一装置での成膜・処理を実現。 各用途専用カソード（ワイドエロージョン・強磁性体・酸化物・リアクティブ用）に加え特殊基板機構（高温加熱・磁場印加・冷却等）で幅広い用...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ＡｌＮテンプレート作成装置（配向性ＡｌＮ膜用スパッタリング装置）

ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレートをスパッタで。高い結晶性とＣ軸配向性を…

ＵＶ－ＬＥＤの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのＡｌＮテンプレートをスパッタで作成。１００arc／ｓｅｃ以下のＣ軸配向性を持つＡｌＮ膜を低温（７００℃以下）でスパッタリングで形成。 シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でＵＶ－ＬＥＤの低コスト化に貢献。 サンプルテストに対応中、高周波デバイスへの展開も開発中。 ...標準型ロードロックタイプスパッタリング装置より成膜系...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

RAantec社製プラズマ処理機　

１０mm幅から７０mm幅ノズルまで簡単作業で取替可能

RAantecランテック社が製造販売するプラズマ処理機はPlasmajetとPlasphereの２種類のノズルタイプがございます。 一般的なスポットタイプのPlasmajetは狭い隙間や細い場所の処理またケーブルや電線への印字前処理に最適なノズルです。 Plasphereはより広い面積を処理するアプリケーション向けノズルで３mmから７mmまでの先端ノズルを簡単な作業で取替可能です。 ...ラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・ブラッシュ商会 本社

ハンディタイプ大気圧プラズマ処理装置『ピエゾブラッシュPZ3』

直接放電技術を使って、最大消費電力18Wで50℃以下の低温プラズマを発…

『ピエゾブラッシュPZ3』は、研究や開発、少量生産用に開発された小型で ハンディタイプの大気圧プラズマ処理装置です。 圧電素子による直接放電(PDD)技術を使って、最大消費電力18Wで50℃以下の 低温プラズマを発生。 低温の大気圧プラズマを発生させる高圧トランスにはTDK社の CelaPlas圧電素子を使用しています。 【特長】 ■研究や開発、少量生産用 ■小型のハン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルス

ハンディタイプ小型大気圧プラズマ『ピエゾブラッシュPZ2』

コンパクトなハンディタイプの大気圧プラズマ表面改質装置！

『ピエゾブラッシュPZ2』は、温度に敏感なプラスチックなどの材料を 強固に接着するために開発された、小型の表面改質装置です。 手作業あるいはインラインで、低温のエアープラズマによって表面改質が 可能。 小さなコントローラーがエアーと電力をコントロールし、低温プラズマが 圧電素子によって発生します。 【特長】 ■コンパクトなハンディタイプ ■小型ファン内蔵によりエアー接続...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルス

大気圧プラズマ装置『小型実験機タイプ』

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧…

『小型実験機タイプ』は、A4サイズ程度までの枚葉処理に対応する 大気圧プラズマ装置です。 リモート処理、ダイレクト処理どちらも使用可能。 実験用途に特化しており、扱いやすい半自動タイプです。 小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質などにご使用いただけます。 【特長】 ■小型装置 ■様々な処理に対応 ■実験用途に特化 ■対応サイズ：～A4（A4以上のサイズは別途ご相...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

コンパクトでアタッシュケースに格納可能！大気圧プラズマ照射装置

Heガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで簡単に実験可能！持ち運…

ハンディタイプ 大気圧プラズマ照射装置「HAPYシリーズ」は、コンパクトで全ての機器をアタッシュケース内へ格納可能です。 Heガスボンベ / AC100V電源に接続するだけで実験ができます。 ガスリモート放電方式で、電気的ダメージを抑えたことで安全に様々な材料へプラズマ処理が行えます。 【特徴】 ○コンパクト ○簡易でHeガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで実験可能 ○持ち...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

独自高密度スパッタ法　アーク放電型マグネトロンスパッタリング法（ＡＤＭＳ法）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。 従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。 導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセンサーなどの新分野に対応 導電性カーボン薄膜は硬度や表面の平滑性に優れており、金属への高い密着性より機械部品の表面処理（トライボロジー用途）への応...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

低圧浸炭or低圧窒化処理もオプションで！BMI社の真空熱処理炉

航空機・自動車産業向け各種部品や切削工具・金型、インプラントなどの医療…

OSGグループ 三和精機が取り扱うBMI社の「真空熱処理炉」には炉の種類に応じてプションを用意。通常の熱処理はもちろんのこと、低圧浸炭処理 や 低圧窒化処理などの“特殊処理”も行うことが可能です。 【オプション一覧】 BMIの全ての高温炉には、低圧浸炭処理（ALLCARB）がオプションで設定可能です。 低圧真空炉（焼戻し炉）B5_Rシリーズには、低圧窒化処理のオプションを用意。減圧さ...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社　国内グループ

手軽に電極膜作製　デスクトップコンパクトコーター

40年以上のロングセラーモデル 手軽に電極膜作製ができるデスクトップ…

40年以上に渡るロングセラーモデル 小さなボディながらも、電極用薄膜作製から電子顕微鏡(SEM)用試料作製まで対応 オフィスのデスクに置かれていても違和感のないデザインとコンパクトさ!! 【特徴】 〇スモール＆コンパクト 〇ベルジャーを持ち上げる必要のない前面ドア開閉方式　⇒　サンプルのセット/取出しが楽に行なえます。 〇間欠スパッタ機能を標準搭載 〇多彩なオプションをご用意：シ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

熱処理＆特殊処理　低圧浸炭等のオプションもあるBMIの真空炉

BMI社製高温炉の全てに低圧浸炭処理の、 低温熱処理用低圧真空炉B5…

全ての高温炉に設定されたオプション低圧浸炭（ALLCARBプロセス）は、浸炭ガスに不飽和炭化水素を使用する革新的なプロセスで、20年以上の実績あり。ステンレス鋼や深い穴を持つ構造体への浸炭など、特殊な条件下でも有効に機能します。 低温熱処理用低圧真空炉B5_Rシリーズに用意された低圧窒化処理（ALLNITプロセス）は、減圧されたアンモニアベースの窒化雰囲気を使用し、安定した再現性を実現、熱間...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社　国内グループ

多種金属対応　プログラマブルスパッタコーター

Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

QUICK COATER SC-701HMC IIは、Ni、Cr、W、Ti、Al等、多種金属対応のハイスペックモデルです。 ソフトウェア制御で高精度コントロールが可能。各種金属の薄膜作製を手軽に行なえます。 【特徴】 〇プログラマブルスパッタコーター 〇フルオート/マニュアルの2タイプの操作 〇シャッター標準装備...【仕様】 ○ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに！メタルフリータイプ

メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を！シリコ…

当製品は、販売中のウエハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、 基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。 【特長】 ■金属元素を使用しない設計 ■表面のインジケー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

熱処理変形を軽減する真空ガス焼入炉、BMI社製B8_Tシリーズ

特許の回転流動冷却システムにより比類なき焼入れの均一性を実現。金型や転…

OSGグループ 三和精機が取り扱うBMI社の「B8_Tシリーズ」は、高温熱処理とロー付け用の、横型の真空ガス焼入炉です。 一般的な上下方向の冷却に加え、BMI社の特許である回転流動冷却システムにより大きな部品でも均一に冷却することが可能。大型部品で発生し易い熱処理変形を軽減、デリケートな焼入れに対応いたします。 B8_Tシリーズラインナップ B83T　積載重量200kg　 幅450...

メーカー・取り扱い企業： オーエスジー株式会社　国内グループ

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。 一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績 独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した稼動を実現。 プラズマ前処理電極や磁性材用カソード、基板加熱用メインロールなど豊富なオプション機構を揃えており多目的なフィルム連続処理装置とし...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

フイルム表面処理用ロールダイレクトプラズマ装置『RD』

光学フイルム分野に好適！高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル…

『RD』は、既設の製造ラインへの設置が容易な、フイルム表面処理用 ロールダイレクトプラズマ装置です。 高い均一性とフィルムダメージレス（パーティクル発生無し）を実現。 100m/min以上の速度でも実績があります。 また、1ヘッドタイプ or 3ヘッドタイプの豊富なラインアップがございます。 【特長】 ■グロー放電処理 ■高い処理性能 ■真空不要の常圧プロセス ■対応...

メーカー・取り扱い企業： 積水化学工業株式会社 P2事業推進部

プラズマガン『SG-100』

緻密で溶射効率のよい皮膜が得られる！新設計のノズル電極により長寿命化を…

プラクスエアー/タファー社の『SG-100』は、ノズル内部に材料を供給するため、 緻密で溶射効率のよい皮膜を得ることができるプラズマガンです。 金属から高融点セラミックスまで、各種材料のプラズマ溶射ができます。 また、40KW/80KWのモードがあり、さらにサブソニック、マッハ1、マッハ2の 溶射速度により最適条件の選択が可能です。 このほかに、プラズマ溶射システムを構成する装置...

メーカー・取り扱い企業： ユテクジャパン株式会社

硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）

最大５元カソードによる多元・多層成膜。耐摩耗性・耐熱性・平滑薄膜。ロー…

精密レンズ金型のコーティングに必要な耐熱性の高い耐摩耗膜のに形成に最適。レンズ金型のコーティングに適したＰｔやＲｕなどの貴金属合金を多元同時スパッタで小径カソードで効率的に形成。またナノ多層構造の積層膜により耐熱性と硬度に優れた膜も形成可能。 精密レンズ金型のような基板を高速に加熱できる特殊基板台と専用ロードロック機構でスループット向上を実現。...最大５元ｋソードを装備し、５元同時スパッタが可...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベル)を実現しており、高い歩留りと稼働率が特長です。 【特長】 ■nmレベ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

簡易型高密度プラズマ処理装置

先端プラズマプロセスを低コスト・コンパクトタイプで実現。ダメージレスエ…

先端半導体・ＭＥＭＳの量産で実績豊富な高密度プラズマ源（マイクロ波ラジカルプラズマ源）をコンパクトな筐体に搭載。 処理チャンバ・制御系もシンプル化。先端プロセスを研究室・基礎実験用に提供。 高密度ラジカル処理によるダメージレスエッチング・ダメージレスアッシング・クリーニング・表面処理（親水化・撥水化） コンパクト・イージーメンテナンス。低コスト。基礎研究や実験に最適。 最新型プラズマ表面処...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

常圧Plasma表面処理装置　『Precise II』

常圧Plasma表面処理装置などを取り扱っています。

株式会社イー・スクエアは、1999年08月 IC製造等で排出されるPFC（パーフロロカーボン）を除去するプラズマ除去の応用で地球環境への社会貢献を目的として設立されました。 2001年10月、常圧プラズマを利用した表面改質処理装置の開発に着手。 常圧プラズマの発生実験中にトライしてみたプラズマによるレジストの剥離実験が、LCD製造工程に多用される表面改質装置へと繋がり、2002年08月 表面処...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イー・スクエア

真空装置　基板用平行平板プラズマ処理装置　PC-RIEシリーズ

処理可能基板サイズ550×650ｍｍ。無廃液化・低ランニングコストを実…

「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシング、デスミア、表面改質、Ｆ系ガスエッチング等の処理が行えます。チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○真空プラズマ技術は従来の処理に比べて良環境化 →クリーン化，無廃液化 ○低ランニングコス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

平行平板式減圧プラズマ処理装置　真空プラズマ装置

各種基板・フィルムに対し、用途に応じた様々な官能基（親水、親油、密着性…

「PC-RIEシリーズ」は、各種基板/フィルム等に対して、様々な表面改質効果を与える処理が可能です。 もちろん、一般的なプラズマ処理装置として、アッシング、エッチング、デスミア等の処理も可能です。 チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまでお客様のご要望に適したバージョンが選択できます。 【特長】 ○官能基修飾処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

大気圧プラズマ表面処理装置 GENESISシリーズ

フィルムやガラス、基板の親水性を劇的に改善！ 最大幅1600mmまで…

プラズマ発生部の直下に通過させるだけで、フィルムやガラス、 基板の親水性を劇的に改善します。 表面クリーニング、印刷/塗工性、密着性の向上、前処理等に最適です。 【特長】 ■微細パターンもダメージがなく処理可能 ■最大幅1600mm！大型の材料にも対応 ■オゾン、NOxの発生は極微量で除外設備が不要 ■アーク放電の発生がほとんどなく、ダメージの心配なし ■プラズマ発生部はシンプ...

メーカー・取り扱い企業： アステック株式会社

フィルム等加工専門会社JMT　人気商品・加工サービス

ランキング形式でご紹介。コスト削減、ECOに貢献し悩みを解決

日頃から数多くのお問い合わせをいただいている、弊社の商品・サービス。 今回は、その上位3つをまとめてご紹介します。...＜1位＞ ■ポリイミド粘着テープ＆マイクロスリット受託加工 　コスト30～50％削減！専用リールでイニシャルコストも不要 ポリイミド粘着テープ（中国製）KY6250シリーズは、 電気絶縁性・寸法安定性・耐熱性等に優れています。 当社ではポリイミド粘着テープ等のス...

メーカー・取り扱い企業： JMT株式会社

プラズマノズル『PFW70』

幅広い表面を均一に処理が必要なパーツに好適なノズルです

『PFW70』は、ストレートタイプのプラズマノズルです。 プラズマ照射孔を一列の直線(リニア)状で表面処理できる デザインになっており、ノズルから照射されるOpenair-Plasmaビームは ポテンシャルフリーを採用しています。 与える熱の影響が僅少なため熱に敏感な素材、特にシート材や 合繊フリースなどの前処理に適しています。 【特長】 ■リニア照射方幅広プラズマ処理...

メーカー・取り扱い企業： 日本プラズマトリート株式会社

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...３～８インチウェハ対応の大気搬送型ＣｔｏＣシステム。 平行平板型ＲＩ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。 シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたし...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩みを解決！ 本機種は酸素や窒素・アルゴン・ヘリウムなど様々なガスを導入する事できます。またフロントパネルでパワー調整・ガス流量系・圧力計が設置されており様々な条件で照射が可能です♪...プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

撥水コーティング装置（ＥＸＡＭ－ＳＭＰ１００型） テスト受付中

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプル…

エッチング・クリーニングで実績豊富なプラズマ技術で撥水コーティングに対応。樹脂フィルム・ガラス・金属薄膜、多種の基板を撥水処理。 プロセス変更で親水化やクリーニングにも対応 コパクト・リーズナブル・高信頼性、サンプルテストでプロセス開発に協力。 実績と対応のプラズマ表面処理装置...標準２５０ｍｍ□の処理ステージで各種表面処理（撥水化・親水化・表面酸化・クリーニング） 基板と目的に合わせて...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

卓上大気圧バリア放電装置

低価格な小型装置！

...●低価格 ●小型 　- 研究室にも置きやすい省スペース 　- 他の機器との組み合わせが容易 　- 処理部と操作部の一体化で取り回しが良い ●シンプルな構造 　- メンテナンス、点検が容易 　- 電極（消耗品）を簡便に交換 ●均一性 　- ハンディタイプのコロナ処理よりも均一 ●処理効率 　- 真空プラズマ処理と比べ真空排気が不要 ●ランニングコスト 　- ガス供給...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

卓上真空プラズマ装置　YHS-R

超小型！卓上で扱える表面改質装置！

表面改質に特化した卓上型の真空プラズマ装置！ ワンタッチの簡単な操作性で安価な価格帯です。 大学・研究機関等に多数の導入実績有り！...表面改質に特化した卓上タイプの真空プラズマ装置です。 「いままで接着・塗装が難しかった材質に処理できた！」との反響多数！ 樹脂・金属・ガラス・繊維など様々な材質への接着・密着強化や親水性の向上・有機物の除去などプラズマの持つ高い反応性を利用し、これらの悩み...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社チェッカーズ

工業用PETフィルム・PIフィルムの小巻品・カット品

定尺しか手に入らない工業用PET・PIフィルムを小巻品・カット品にて規…

工業用PETフィルム・PIフィルムは、電気絶縁性や透明性、耐熱・耐寒性など、さまざまな特性を持ち合わせたフィルムです。 JMT株式会社では、通常７５０ｍなどと定尺でしか手に入らない工業用PETフィルム・PIフィルムを小巻品・カット品にて規格・標準、販売を開始します！ ※スリット・断裁加工も対応可能です！別途ご相談下さい。 ＝　掲載製品一覧　＝ 【PETフィルム　ルミラーS10】 ■厚...

メーカー・取り扱い企業： JMT株式会社

コールドカソードイオン銃

ホットカソードには無い極めて低い温度、低い真空度で動作！

　オメガトロンのイオン銃技術とノウハウを結集し、シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃を完成させました。 放電電極に高価なレアメタルをおごっているにもかかわらず、最適設計により部品点数を削減したため、品質をより向上させつつ販売価格を１２３万円（税抜き）とすることができました。 また、オプションのユニットをお選び頂ければ、従来のような高機能・高性能タイプにリーズナブルにステップアップする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オメガトロン

大気圧プラズマ処理機『ALDYNE』※フィルム加工・印刷業界向け

高いエネルギーレベルが安定的に長期間持続！高機能性基材の開発が可能に！

『ALDYNE』は、基材と塗工剤との接着性を高める装置です。 窒素ガスをベースとする混合ガス雰囲気中で、プラズマ放電を発生させ、 添加されたガスの分子を、基材表面に結合させアミド、イミド及びアミノ基を 生成します。 これらの官能基が高極性であり、また塗工剤と共有結合し易い特性を利用し、 基材と塗工剤との接着性を高めます。 【特長】 ■高度な接着性と持続性 ■独立した冷却...

メーカー・取り扱い企業： ソフタル・コロナ・アンド・プラズマGmbH　日本支社

バレルタイププラズマ処理装置　ＰＢシリーズ

等方性プラズマを利用　微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質に最…

バレルタイププラズマ処理装置「ＰＢシリーズ」は、等方性真空プラズマを利用して有機物の除去（Ashing）や油分の除去（Cleaning）、珪素化合物（ＳｉＯ2，ＳｉＮ）のEtching、濡れ性改善等の処理が溶液（Ｗｅt）を使用すること無く行える装置です。良環境性（クリーンな作業環境、無廃液）と低ランニングコストを実現します。 全方向から処理が進行し、対象物の形状に問わず、ナノレベルの処理、洗浄、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

ハンディタイプ 大気圧プラズマ照射装置　HAPYシリーズ

持ち運びが容易なアタッシュケースサイズの大気圧プラズマ照射装置です。

ハンディタイプ 大気圧プラズマ照射装置「HAPYシリーズ」は、コンパクトで全ての機器をアタッシュケース内へ格納可能です。 Heガスボンベ / AC100V電源に接続するだけで実験ができます。 ガスリモート放電方式で、電気的ダメージを抑えたことで安全に様々な材料へプラズマ処理が行えます。 【特徴】 ○コンパクト ○簡易でHeガスボンベ/AC100V電源に接続するだけで実験可能 ○持ち...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

大気圧プラズマ表面処理装置『GENESISシリーズ』

最大幅1600mmで大型の材料にも対応！表面クリーニング、前処理等に好…

『GENESISシリーズ』は、プラズマ発生部の直下に通過させるだけで、フィルム やガラス、基板の親水性を劇的に改善する、大気圧プラズマ表面処理装置です。 表面クリーニング、印刷/塗工性、密着性の向上、前処理等に適しています。 また、プラズマ発生部はシンプルな構造で既設装置へ簡単に取付けが可能です。 【特長】 ■微細パターンもダメージがなく処理可能 ■最大幅1600mmで大型の材...

メーカー・取り扱い企業： アステック株式会社

工業用PET・PIフィルムの小巻品・カット品　※価格表プレゼント

定尺しか手に入らない工業用PET・PIフィルムを小巻品・カット品にて規…

工業用PETフィルム・PIフィルムは、電気絶縁性や透明性、耐熱・耐寒性など、さまざまな特性を持ち合わせたフィルムです。 JMT株式会社では、通常７５０ｍなどと定尺でしか手に入らない工業用PETフィルム・PIフィルムを小巻品・カット品にて規格・標準、販売を開始します！※スリット・断裁加工も別途対応可能です！ ●●　今ならイプロス会員様だけに”価格表”をプレゼント！！　●● ＝　製品規格一覧...

メーカー・取り扱い企業： JMT株式会社