• 設置工数を最小限にした防護柵『Fタイプ』 製品画像

    PRストレートもコーナーもクリップひとつで接合できるクリップ連結を採用!ス…

    泰生工業が開発した安全柵は、設置工数を最小限に抑え、また美観に優れた防護柵『Fタイプ』です。 Fタイプ防護柵用の縦材フレーム「PSM-3645」をはじめ、横材フレーム 「PSL-2548」などをラインアップ。 専用の連結クリップ「ARC-1541/ARC-1550」でフレームを接合します。 【特長】 ■接合はクリップ連結を採用 ■設置工数が少ない ■美観に優れている ■標準...(つづきを見る

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  • 『ロボット向け軸受製品』 製品画像

    PR拡大しグローバル化が加速するロボット市場!市場シェアの維持・拡大のため…

    弊社軸受製品資料がダウンロードできます! ぜひ下記[PDFダウンロード]より資料をダウンロードし、ご覧ください! ロボット分野で活躍できる軸受製品を豊富に取り揃えています。 主軸関係には「薄肉アンギュラ玉軸受」、 バランサー関係には「球面軸受」「ブッシュ」「ロッドエンド」、 リンク関係には「球面軸受」「リンク製品」などをご提案可能です。 【取り扱い製品(一部)】 ■アンギュラ...(つづきを見る

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  • 4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ 製品画像

    300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

    スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...(つづきを見る

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ 製品画像

    装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

    スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ア...(つづきを見る

  • 省力化ロボット/クリーンロボット 【電子部品・食品・医療機器】 製品画像

    クリーンルーム内での電子部品、食品、医療機器関連作業に最適!

    クリーンルームにおける生産システムの自動化・省力化に貢献 単軸・直交・スカラロボットをラインナップ ●クリーンスカラロボット YK-XGC/XCタイプ ●クリーン単軸ロボット  FLIP-XCタイプ、SSCタイプ ●クリーン直交ロボット XY-XCタイプ 詳しくはカタログをダウンロードからカタログをご覧ください。...詳しくはカタログをダウンロードからカタログをご覧ください...(つづきを見る

  • 直動式シングルアームクリーンロボット『HR1400-720』 製品画像

    モータには減速機組付け可能!コントローラは5軸仕様のクリーンロボット

    『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式:RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイ...(つづきを見る

  • 卓上型ダブルアームクリーンロボット『AR2300-220』 製品画像

    低消費電力100W以下!搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を…

    『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策:下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成...(つづきを見る

  • 4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-AMシリーズ 製品画像

    ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

    スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...(つづきを見る

  • 4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-PMシリーズ 製品画像

    300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

    スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...(つづきを見る

  • 5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ 製品画像

    シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

    300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくは...(つづきを見る

  • 4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ 製品画像

    ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

    スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくは...(つづきを見る

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット MCR3000Cシリーズ 製品画像

    従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

    スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くださ...(つづきを見る

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ 製品画像

    半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

    スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、...(つづきを見る

  • 4軸円筒座標型クリーンロボット MTCR4000シリーズ 製品画像

    ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

    スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...(つづきを見る

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ 製品画像

    省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

    スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:2...(つづきを見る

  • 3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ 製品画像

    Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

    ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700m...(つづきを見る

  • 4軸円筒座標型クリーンロボット STCR4000Sシリーズ 製品画像

    2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

    スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100m...(つづきを見る

  • 4軸円筒座標型クリーンロボット LTHR4000シリーズ 製品画像

    液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

    ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm ○Z...(つづきを見る

  • 真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ 製品画像

    真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

    真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...(つづきを見る

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