半導体プロセスガス用　インラインフィルター

短納期対応可能！高純度ガス用インラインガスフィルター！

TFE膜タイプ 内面仕上げ　　：≦ Ra 5μ inch（0.127μｍ） 多孔率　　　　：60～70%（単位面積当たりの隙間の割合） 接続形状　　　：メタルフェイスシール（MFS継手：VCR相当）、ダブルフェルール継手 流量範囲　　　：15～9,000SLPM 最高使用圧力　：～21MPa（20℃時）：エレメント金属焼結タイプ 　　　　　　　：～0.98MPa（20℃時）：エレ...

メーカー・取り扱い企業： バリューインパクト有限会社