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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
高精度の圧力センサ、大気圧計など。 ■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。 ■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。 ■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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経済性に優れた高精度ラバーシール
特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー(ゴム)シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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製品多様真空部品-アダッブタシリーズ
真空配管や真空装置などによく使用される真空継手の一種です。 それらの製品は変換フランジアダッブタ、ストレス変換フランジアダッブタ、VCRメス、オスアダッブタ、Swagelog接続のメス、オスアダッブタを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロード...
メーカー・取り扱い企業: 日揚科技股份有限公司
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高精度・信頼性のメタルシールモデル
特長 ・高速応答性 - 設定値入力後1秒未満で流量安定 ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec(He)以下の外部...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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