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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
高精度の圧力センサ、大気圧計など。 ■ADROITシリーズ: 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。 ■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。 ■TERPSシリーズ: ドラックトップクラスのシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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短納期対応可能!高純度ガス用インラインガスフィルター!
TFE膜タイプ 内面仕上げ :≦ Ra 5μ inch(0.127μm) 多孔率 :60~70%(単位面積当たりの隙間の割合) 接続形状 :メタルフェイスシール(MFS継手:VCR相当)、ダブルフェルール継手 流量範囲 :15~9,000SLPM 最高使用圧力 :~21MPa(20℃時):エレメント金属焼結タイプ :~0.98MPa(20℃時):エレ...
メーカー・取り扱い企業: バリューインパクト有限会社
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ファイバーエレメントを使用した低価格インラインフィルター
仕様流量:75L/min 捕獲性能:0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:1/4"VCR、1/2"VCR...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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ニッケルエレメントを使用した低価格・低圧損インラインフィルター
仕様流量:15~600L/min向け 捕獲性能:0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:1/4"VCR、1/2"VCR 他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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半導体産業や各種ハイテク産業向け高性能インラインフィルター
仕様流量:8~300L/min向け 捕獲性能:0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:1/4"VCR、1/2"VCR 他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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最大1,000lpmまでの流量を確保
3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理) 内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE サポート:PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ
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米国mott社製フローリストリクターシリーズ (高純度向け)
多孔質金属技術を用いた流量制御器 (高純度向け)。
接続仕様:1/4"VCRユニオン継手、1/2"VCRユニオン継手、集積IGS用 *使用ガス種、供給圧力からご要望流量にセッティング。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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不活性ガスをはじめ、特殊ガスも対応可能な高性能・簡易型フィルター
仕様流量:1~50L/min向け 捕獲性能:0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:1/4"VCR、1/2"VCR 製品材質:ステンレス製およびニッケル製...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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米国mott社製インラインガスフィルターDefenderシリーズ
mott社独自技術によるファイバーエレメントを使用した低圧損フィルター
仕様流量:50~4000L/min向け 捕獲性能:0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:1/4"VCR、1/2"VCR 他...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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経済性に優れた高精度ラバーシール
特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー(ゴム)シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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製品多様真空部品-アダッブタシリーズ
真空配管や真空装置などによく使用される真空継手の一種です。 それらの製品は変換フランジアダッブタ、ストレス変換フランジアダッブタ、VCRメス、オスアダッブタ、Swagelog接続のメス、オスアダッブタを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロード...
メーカー・取り扱い企業: 日揚科技股份有限公司
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リキッドソースの気化ラインに最適なフィルター
仕様流量:50L/min 捕獲性能:0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様:1/2"VCR
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクメイション
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高精度・信頼性のメタルシールモデル
特長 ・高速応答性 - 設定値入力後1秒未満で流量安定 ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec(He)以下の外部...
メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社
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