小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

3/sec以下 構成部材 ハウジング：SUS316L(電解研磨処理)　　内面粗度：Rmax0.5μm以下 フィルターメディア：PTFE　　サポート：PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー（ゴム）シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社

Aera FC-R7800シリーズ　マスフローコントローラ

高精度・信頼性のメタルシールモデル

特長 ・高速応答性 － 設定値入力後1秒未満で流量安定 ・耐腐食設計 ・メタルシール採用 ・VCR準拠の接続部 ・10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-11Pa・m3/sec（He）以下の外部...

メーカー・取り扱い企業： 日立Astemo＆ナガノ株式会社