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ウェーハ外周端面を、簡易的に面取りする半自動の研削加工機
φ2インチ～φ6インチまでのウェーハに対応。 Si、ガラスのほか、SiC、酸化物、化合物ウェーハなど各種材料に対応いたします。 研究、開発、試作工程などで使用できるよう小型化しました。...本機械は丸型ワークの面取り加工を簡易的に行う装置です。 ワークのセットは作業者が行い面取り加工を自動で行う半自動型です。 装置は本体部に制御盤を内蔵する自立型です。...（つづきを見る）
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