エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

OPIE2024_ポジショニングEXPOに出展と製品のご紹介

PR高精度で1軸～多軸構成、高機能コントローラ、グラナイト製品などを統合し…

【OPIE 2023 ポジショニングEXPO】に出展いたします。 日時：4月24日(水)〜26日(金)　10時～17時 場所：パシフィコ横浜 ブース番号：E-32 【出展製品例】 • 6軸位置決めヘキサポッドステージ • レーザー加工や計測機などに好適なXY＋Z位置決めシステム • エアベアリング：XY軸ステージと回転ステージ • 高速高加速リニアモーターステージ • ナノメ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PIMag 高精度開口部付XY ステージ『V-738』

高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ！一方向再現性は0.1μmです

『V-738』は、モータタイプがアイロンレス3相リニアモータで、 150x150mmの大きな開口部が特長のPIMag 高精度開口部付XY ステージです。 移動範囲は、102 mm×102 mm（4 "）。 速度は、500 mm/sです。 リファレンスリミットスイッチは光学式です。 【特長】 ■移動範囲：102 ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

2軸XY 電磁石『TM202-70760XY』

試作1個から製造可能！株式会社テスラの2軸XY電磁石

『TM202-70760XY』は、小型電磁石・大型電磁石・各種コイルなど様々な物を 製造・販売している株式会社テスラの2軸XY 電磁石です。 試作1個から製造可能。お気軽にお問い合わせ下さい。 【仕様】 ■型式...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テスラ

PILine XYステージ『U-723』

高精度でプラットフォームの位置を直接測定！ステージの位置が機械的に安定…

『U-723』は、電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、 ステージの位置が機械的に安定するように維持されるPILine XYステージです。 電力消費と発熱量が大幅に削減。こうした特性は、デューティサイクルが 小さく、バッテリー駆動や熱に弱い用途にとって利点となります。 エンコーダによって軸の位置を測定し、光学リファレ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ『U-780』

0.1μmの分解能！熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。最…

『U-780』は、静止時にセルフロックし、低ノイズな PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージです。 熱負荷が低く潤滑も不要なため、高い水準の安定性。 10μm/sから120mm/sまでとダイナミックレンジが広く、 ジョイスティックとソフトウェアによる理想的な操作です...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

PIMag リニアモータXY軸ステージ『L-731/V-731』

産医療産業、レーザー切断、走査などに！高精度位置決め可能なリニアモータ…

『L-731/V-731』は、クロスローラーガイドケージのクリープを防ぐ PIMag(R)リニアモータXY軸ステージです。 高剛性が必用な環境下では「L-731」、速度安定性が重要な アプリケーションには「V-731」が好適です。 産医療産業、レーザー切断、走査、バイオテクノロジーなどにご使用いただ...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

ステージ【SSA XYシリーズ リニアモーターステージ】

高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、2軸リニアモータ…

【SSA XYシリーズ リニアモーターステージ】は、 高精度・短納期・優れたコストパフォーマンスを実現する、 2軸リニアモーター位置決めステージです。 E1・E2ドライバーとの併用で、優れた速度リップル...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

注油不要！PILineピエゾモーターXY軸ステージ『U-751』

ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー。最…

『U-751』は、従来のモーター駆動のボールベアリングステージと 比べて、薄型で、設置面積はより小さくなっている PILineピエゾモーターXY軸ステージです。 高さがわずか32mmという薄型で最適化されたフォームファクタと、 標準化された取り付けパターンにより、PIの標準ピエゾナノポジショニング システムとの組合わせが可能になり...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

アライメントステージ『SA』

X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築できる…

『SA』は、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、 低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。 直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成 としてラインアップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを ...

メーカー・取り扱い企業： 藤川伝導機株式会社

エアベアリング リニアモーターシステムカタログ

半導体やPCBプリント基板、DI露光機などに！豊富なラインアップでご紹…

当カタログでは『エアベアリング リニアモーターシステム』について ご紹介しております。 「エアベアリングXYリニアステージ」をはじめ、「エアベアリング ガントリーシステム」、「エアベアリングXYZ」など豊富にラインアップ。 産業用途の性能と特性など写真を用いて掲載しており、導入検討の際に 参考に...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

V817型　高性能リニアモータ位置決めステージ

・63mmと薄型で、最大813ミリの動作量 ・リニアモータ・高性能イ…

を実現。 オプションのモーションプラットフォームは、3つのM6ホールパターンを備え、 多様なアセンブリオプションを提供します。 このプラットフォームを使用しない場合、全高が63mmと低くなり、特にXY結合の際に有利。 ■薄型（高さ63mm）、幅166mm、長い移動範囲（～813mm）。 ■高動作性、メンテナンスフリーのリニアモーター ■高精度インクリメンタルリニアエンコーダ ■最大600 Nの...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

アライメントステージ『SA…DE』

ダイレクトドライブ方式を採用！低断面でコンパクトなXYθ運動を実現

クロスローラベアリングを使用したアライメントステージです。 ダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより 高分解能と高精度を実現。 X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に 構築することができます。 【特長】 ■コンパクトなXYθテーブル ■XYθの組み合わせが自由 ■薄形・コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 日本トムソン株式会社

PIMag 精密リニアステージ『V-508』

力誘導転動体保持器は保持器のクリープを防止！XYアセンブリも可能です

ォトニクスおよび精密スキャンに使用できるPIMag 精密リニアステージです。 技術的に洗練されたコスト重視のアプリケーションは、さまざまな移動距離、 ドライブ、および測定システムで同様に利用可能。XYアセンブリも可能です。 クロスローラガイドの場合、ボールガイド内のボールの点接触は、 硬化したローラの線接触に置き換えられます。その結果かなり堅くなりそして予圧を 少なくする必要があり、それは摩擦...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

コンパクトリニアステージ『U-521』

統合ピエゾセラミックダイレクト駆動！超音波ピエゾモーターを備えたリニア…

『U-521』は、アダプタープレート不要でXYコンビネーションが可能な コンパクトリニアステージです。 静止時の自動ロックにより、発熱、サーボによるブレがありません。 真空対応バージョンを利用可能です。 研究および製造業、オート...

メーカー・取り扱い企業： ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

τLinear Stage カスタムメイド実例集 Ver.1.3

マシン仕様にJust-Fit！カスタムメイドリニアステージ実例を多数掲…

当資料は、進化型リニアステージ『τ Linear Stage』の カスタムメイド実例集です。 「Xステージ」をはじめ、「X2ヘッドステージ」、「XYステージ」、 「円弧型ステージ」などカスタムメイドリニアステージ実例を豊富に掲載。 CKD日機電装は、お客様のマシン仕様にジャストフィットする高品質な リニアステージをご提供いたします。ぜ...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社

『超小型ピエゾステージ』

重さ6gの超小型！使い勝手の良いドライバーも用途に合わせ各種ご用意！

『超小型ピエゾステージ』は、オーテックスが取り扱う MECHONICS社の製品です。 わずか15mm角、厚さ7mm、ストローク3mm、重さ6gから 50mmストロークまでの多種類X、XY、XYZステージを揃えています。 メコニクスの新製品マルチアクチュエーターを組み込んだ10mm ストロークステージはNOVAコントローラーを使用することで 16Nというブロッキングフォース...

メーカー・取り扱い企業： オーテックス株式会社

リニアサーボモータ『τ Linear』

スケールレスリニアセンサ対応が可能！用途に応じた豊富なラインアップをご…

プが可能です。 【特長】 ■用途に応じた豊富なラインアップ ■水冷・空冷対応が可能 ■スケールレスリニアセンサ対応が可能 ■各種リニアエンコーダの選択が可能 ■τリニアを搭載したX/XY/XYθステージの構築も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社

超薄型ダイレクトドライブモータ『τDISC ND-u シリーズ』

負荷取付けの安定性が向上！XYΘステージ等の高さ制限のある装置や重量物…

5mm”の超薄型でありながらも、 高トルク密度です。 【特長】 ■薄さを追求したモータ厚み“39.5mm”の超薄型 ■薄型でも高トルク（高トルク密度） ■負荷取付けの安定性が向上 ■XYΘステージ等の高さ制限のある装置や、重量物搬送用途に好適 ■ND180-40-FU・ND250-40-FUの2タイプをラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社

高性能リニアステージ『τ Linear Stage』

サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現！カスタムメイド対応可…

『τ Linear Stage』は、リニアサーボモータを搭載した高精度ステージです。 X/XYステージを標準ラインアップし、ダイレクトドライブモータ τDISCをθ軸として搭載したXθ/XYθステージの構築も可能。 多ヘッドステージ、XYZ軸ステージ、保護カバー付きステージなど、 ...

メーカー・取り扱い企業： CKD日機電装株式会社

エアベアリング ステージ

エアステージLBTシリーズ

ット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹介 標準化により低コスト、短納期を実現しております。 XYステージのラインナップもございます。...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

薄型DDモーター【DMTシリーズ】

圧倒的な薄さが特長の薄型DDモータ―

2023年6月より、新たに中空径340mm/薄さ30mmの「DMTK3」を受注・販売開始 ステージ組立工数を削減。 当社リニアモーターと組み合わせて、比較的容易に全高約250mmの高精度XYΘステージを実現します。 ■圧倒的な大中空径 ■高分解能で優れた位置決め精度 ■ギアなし・ゼロバックラッシュ ■独自の電気回路設計により高トルク ラインアップ 【DMTK3】中空...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

DCサーボモータ『ミナーシャモータRMシリーズ』

電機子はスロットコア形！出力/質量比が特に優れた超小形・軽量のDCサー…

ータです。 電機子はスロットコア形で、 ハーモニックギヤにより駆動することを考慮し、 定格回転速度を3000r/minに設定。 ロボットを始め、インサーションマシン、ICボンダ、高精密XYテーブルなど 広範囲の用途に適用できます。 【特長】 ■界磁構成として希土類磁石を使用 ■出力/質量比が特に優れる ■超小形・軽量 ■電機子はスロットコア形 ■定格回転速度を300...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FEW 本社

高精度自動ステージ『PA180S シリーズ (カバー付)』

最大2,200mmのロングストロークへ！大型・重量物にも対応します

【共通仕様（一部抜粋）】 ■移動方向：X軸、XY軸対応 ■テーブルサイズ：180×213mm ■ガイド方式：リニアスライドガイド ■送り方式：精密ボールねじ リード5mm ■モータ：0.75A/相 5相ステッピングモータ　など ※詳...

メーカー・取り扱い企業： コムス株式会社 神奈川営業所

株式会社YTK　会社案内

海外製品をメーカー直販に近い形のサポート及びサービスをご提供します

【取扱製品(抜粋)】 ■サポートユニット ■カップリング ■精密手動ステージ ■標準型自動ステージ ■精密アラインメントステージ ■精密ロックナット ■XYテーブル ■リニアアクチュエータ　など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社YTK

シャフトモーター駆動グラナイトエアーベアリングステージ

クリーンルーム対応！組み合わせでX-Yテーブルとしても使用可能な一軸テ…

【ラインアップ】 ■ピコメーターシリーズ ■ナノシリーズ ■10ナノシリーズ 〔XYステージ〕 ■ピコメーターシリーズ ■ナノシリーズ ■10ナノシリーズ ■大型でぃすぷれいパネル用テーブル 　・液晶用 　・PDP用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジイエムシーヒルストン

マグネット製品　円形対向型磁気回路

要求仕様・製品仕様に合わせカスタマイズいたします。

【特徴】 ○空隙(ギャップ)部にXY方向の磁束を発生する磁気回路。 ○主に空隙中心部の磁束密度強度を規定する。 ○空隙内にコイルを充填しアクチュエータとして使用する。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東和製作所

マグネット製品　スパッタ用カソードマグネット

要求仕様・製品仕様に合わせカスタマイズいたします。

【特徴】 ○空隙に任意の磁場発生させる磁気回路。 ○主に、マグネット上面より規定の高さHgにおけるXY成分の磁束密度を規定する。 ○要求仕様・製品仕様に合わせカスタマイズいたします。 ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東和製作所