XY | イプロスものづくり

PR簡易金型プレス工法のメリット、量産金型との使い分け方などをまとめた技術…

本資料では、当社が専門とする「簡易金型プレス工法」について、わかりやすくご紹介しています。　試作・中～少量生産で活躍する簡易金型プレス工法は、コストや納期など様々なメリットがあり、量産金型との適切な使い分けが必要です。　金属プレス部品の製作をご検討中の方は、ぜひご覧ください。　【掲載内容】 ◎量産金型と簡易金型の構造上の違い、メリット・デメリット ◎簡易金型のプ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社加川製作所

OPIE2024_ポジショニングEXPOに出展と製品のご紹介

PR高精度で1軸～多軸構成、高機能コントローラ、グラナイト製品などを統合し…

【OPIE 2023 ポジショニングEXPO】に出展いたします。日時：4月24日(水)〜26日(金)　10時～17時場所：パシフィコ横浜ブース番号：E-32 【出展製品例】 • 6軸位置決めヘキサポッドステージ • レーザー加工や計測機などに好適なXY＋Z位置決めシステム • エアベアリング：XY軸ステージと回転ステージ • 高速高加速リニアモーターステージ • ナノメ...

メーカー・取り扱い企業：ピーアイ・ジャパン株式会社本社

XYθテーブル

・極薄68.5mm ・XY各50mmSt ・θ可動角80° ・分解能0.12秒この他にも以下の製品を取り扱っております。詳細は「ダウンロード」よりご確認ください。・水冷実演・リニア小型ユニット ...

メーカー・取り扱い企業：クロノファング株式会社

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3Cシリーズ」

電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ　　　　　　～ …

超薄型XYθ（アライメント）ステージ「NAF3シリーズ」は、電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージであり、装置全体の低重心が実現可能です。スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレート...

メーカー・取り扱い企業：ヒーハイスト株式会社本社・埼玉工場

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能で位置決めが可能です。ストロークは『 20mm 』と長く、搬送と精密位置決めが1台でできます。ナノメートルオーダーの波長を扱うような研究分野で利用されています。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時）ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：ク...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

顕微鏡用XY自動ステージ　【改善事例　部品プリント】

パレットに並んだ部品をマーカーやプリンタを使ってマーキングしたい。

【ニーズ】シーケンサーを使ってマーカー・プリンタとXYステージを連動させるプログラムを組んでいますが、多品種少量生産のため部品の種類が変わると頻繁にプログラムを変更しなければならない。【改善事例】マーカー・プリンタとXYステージを連動させて...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

顕微鏡用XY自動ステージ　【改善事例　繰り返し作業の手間】

存する場合「画像保存→隣の視野エリアに移動→画像保存→・・・」と何度も繰り返し、手間と時間がかかっていました。【改善提案】キャプチャートリガーの信号によって画像保存するCCDカメラとXYステージを連動させることで、ワーク全体の画像を自動取得できます。画像取得のためのI/O制御プログラムも簡単に作れます。手間のかかる作業から解放され、生産性を改善します。（CCDカメラには画像...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

顕微鏡用XY自動ステージ　【改善事例　不良箇所のNGマーキング】

【ニーズ】前工程の検査で良否判定したパレットに並んだ部品のうち、不良部品だけにディスペンサーでNGマークを付けたい。【改善事例】ディスペンサーとXYステージを連動させて、マップで指定した箇所のみ移動させNGマーキングします。測定器の測定開始出力、終了入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。測定対象、測定ピッチが変わっても、マップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

サブミクロンフィードバックステージ FS-3200X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』または『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。スローダウンセンサを搭載しており、ストローク...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

顕微鏡用 XY自動ステージ　【改善事例　既存顕微鏡のバージョンアップ】

現在のマイクロスコープを使って、外観検査システムを作りたい。

TeleMatri はマップ上でステージの位置、良否判定結果の入力を管理できるので、検査効率を改善できます。コントローラー（ソフトウェア含む）のみを提供することもできるので、他社製または自作XYステージと組み合わせることも可能です。システム設計の自由度が上がり、ソフト開発の手間を省けます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

特注例 X軸・XY軸ステージ（透過穴追加）

ステージ中央にφ100mmの透過穴（開口）を追加したステージ

特注ステージ例の透過穴がテーブル部に空いているステージです。テーブルサイズ、透過穴のサイズやストロークは変更が可能です。内蔵のリニアスケールを用いたフィードバック制御による高い再現性が実現できます。...○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、リニアスケール内蔵 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○分解能：5nm / 10nm / 50nm ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

顕微鏡用XY自動ステージ　【改善事例　大型ワークの観察】

マイクロスコープで大きなワークを観察したい。

点】マイクロスコープに付属している標準ステージでは小さいため、大型のワークを観察ができない。観察するためにワークを小さく切断したり、準備に無駄な時間をかけていた。【改善事例】門形XYステージ（移動量200mm）をご用意しました。X軸にマイクロスコープを固定し、Y軸にワークをセットすればワーク全体を観察できます。ステージの移動範囲はご相談ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

顕微鏡用 XY自動ステージ　【改善事例　検査箇所を見失う】

いま、顕微鏡で何番目の素子を見ているか分からなくなった・・・

【問題点】ウェハや電子部品など整然と並んだ素子を顕微鏡で検査していると、不良箇所を見つけてもそれが何番目の素子か分からなくなることが良くある。【改善事例】マップソフト TeleMatri はマップ上でステージの位置を管理できるので、現在検査している場所を間違えることがなくなります。不良箇所にはマップ上にカラーマーキングしてあとでレポート出力すれば、結果を間違えることなく作業効率...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

リニアθユニット

すこの他にも以下の製品を取り扱っています。詳細は「ダウンロード」よりお願いします。・水冷実演・リニア小型ユニット・5連型ユニット・ボールスプライン一体型ユニット・XYθユニット ...

メーカー・取り扱い企業：クロノファング株式会社

フルデジタルガルバノスキャナ　ライトニング2

これまで実現が困難であった超高精度加工のアプリケーションに対応！

で超高速加工速度　－　大口径ミラーを高速ステップ走査 >2,000pps ■ドライバとコンローラ機能を兼ね備えた一体型基板－　ミラー走査位置・速度に同期したレーザモジュレーション信号を出力 ■XY2100インターフェースオプション　－　従来のXY2100 コントローラがそのまま使用可能 ■USBインターフェースでPCから直接制御ー ScanPackソフトウェアの使用で次世代高次元のレーザ...

メーカー・取り扱い企業：ノヴァンタ・ジャパン株式会社本社

【製作例】両面パターンズレ検査用ユニット

オリジナル電動レボルバを採用！既成アクチュエータを用いずフレームと一体…

当社が製作した「両面顕微鏡測定用ユニット」をご紹介いたします。オリジナル電動レボルバを採用。上下対物レンズの軸を高精度に合わせることができます。また、高速駆動可能な薄型フラットXYステージに高精度θ回転を組み込んだオートステージとなっております。【特長】 ■ワーク表裏面のパターンズレ測定　（サイズ：W500×D780×H700） ■オリジナル電動レボルバを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェルテック

自動ステージ『クロスローラガイド』

コンパクトで高精度！筐体にアルミを使用し軽量化

【主なラインアップ】 ■X軸クロスローラガイド ■XY軸クロスローラガイド ■Z軸クロスローラガイド ■XYZ軸クロスローラガイド ■薄型X軸クロスローラガイド ■薄型Z軸クロスローラガイド ■水平面Z軸クロスローラガイド ※詳しくはカ...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

自動ステージ『KXSシリーズ』

スライドガイド採用！低価格で高品質を実現しました

【ラインアップ】＜X軸スライドガイド＞ ■KXS18100 ■KXS18200 ■KXS18300　など＜XY軸スライドガイド＞ ■KYS18100 ■KYS18200 ■KYS18300　など＜Z軸スライドガイド＞ ■KZS18100 ■KZS18200 ■KZS18300　など ※...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

自動ステージ『PGシリーズ』

案内ガイド一体構造で薄型を実現！豊富なバリエーションをご用意

【ラインアップ】＜X軸リニアボールガイド＞ ■PG413 ■PG513　など＜XY軸リニアボールガイド＞ ■PMG413 ■PMG513　など＜Z軸リニアボールガイド＞ ■PZG413 ■PZG513　など＜XYZ軸リニアボールガイド＞ ■PMZG413 ■P...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

動力電動機器・産業機械機器・制御機器等の販売

動力電動機器・産業機械機器・制御機器等のサポート致します！

御機器等の販売を行っております。取り扱い製品は、下記になります。＊軸駅関連機器＊空圧機器・油圧機器＊伝動機器＊搬送機器＊制御機器＊モーター減速機＊精密測定XYテーブル＊その他　・特殊スプリング・切削追加工・樹脂・非金属・鉄・ゴム　など ★詳細は、お問い合わせ下さい★...

メーカー・取り扱い企業：木村工機株式会社

精密機器ガイド　ピエゾ／センサアプリケーション

顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などに最適

【ご紹介製品】［顕微鏡用ナノサーボステージ］ ○弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ ○XY(Z)軸一体型ステージ ○対物レンズ用フォーカスポジショナ［顕微鏡用ナノステップスライダ］ ○SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ［精密金型加工用ステージ・センサ］ ○超精密切削に...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

FA・搬送装置

FA・搬送装置等のエンジニアリング、設計および製造を行っております

他に専用ジグおよびユニット、専用機、加工食品等の搬送、環境機器についても同様取り扱っております。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。【製品例】 ■加工機械の自動化装置　・XY直交2軸のロボット、エアーアクチュエータ2軸で構成した搬送装置 ■加工ライン搬送装置　・部品加工ラインの搬送・移載装置 ■着脱式駆動装置　・軸端の四角取り等部に簡単着脱できる駆動装置 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ティーイージー

ツクモ工学株式会社　光学機器総合カタログVol.4

光学実験等に利用される各種ホルダー・ステージ・取付部品ベース・その他光…

○レンズホルダ ○ファイバホルダ ○レーザホルダ ○偏光子ホルダ ○虹彩絞りホルダ ○ピンホールホルダ ○プリズムホルダ ○フィルターホルダ ○その他のホルダ ○X軸ステージ ○XY軸ステージ ○Z軸ステージ ○XZ軸ステージ ○XYZ軸ステージ ○回転＆傾斜ステージ ○ゴニオステージ ○多軸ステージ ○光学ベンチ ○ポール＆スタンド ○クロスクランプ ○べ...

メーカー・取り扱い企業：ツクモ工学株式会社本社工場

1/2軸対応モーションコントロールユニット

を採用 ●パラレル入出力を利用し、PLCや各種SW等で制御可能各軸64ポジションデータをプログラム可能 ●様々な制御に対応する5種類の動作モード ●ステップ選択で原点サーチも簡単設定 ●XYステージ動作に便利なジョイスティック信号入力対応...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノドライブ

ピエゾステージ　「MI-100シリーズ」

小型ながら3軸変位拡大機構を内蔵

○ナノメートルの高分解能動作 ○3軸ロングストローク ○ローコスト ○XY軸、XYZ軸タイプを取り揃え ○一体弾性ヒンジ機構により摩擦のない動作を実現 ○高精度な位置決め可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メステック

真空対応サブミクロンフィードバックステージ 100mm動作

真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めス…

内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって「50nm」または「100nm」になります。 ...最小分解能：50nm（FC-411使用時）　　　　　：100nm（FC-...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

手動直動ステージ　XY軸リニアボールガイド（SS）ステージ

高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです

XY軸リニアボールガイド（SS）ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：駿河精機株式会社

簡易型XY機構　SXYシリーズ

トランスファーロッドの位置調整用に最適なチルト調整機構を組み合わせた、簡易型XY機構【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応可能 ○4...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。ストロ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-3150X/XY

【ロングストローク】エンコーダを内蔵した高分解能・高い位置再現性・高い…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。ストロークが長いため試料の移動と精密位置決めをこれ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1020X/XY

【エンコーダ内蔵】高分解能かつストロークが長い位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージ FS-1100X/XY

【100mmストローク】ロングストロークかつ高分解能な位置決めステージ

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。エンコーダで位置を検出してフィードバック制御を行っているため分解能・位置再現性・位置保持性に優れています。フィードバックステージコントローラFC-411と組み合わせた場合は『50nm』、FC-111と組み合わせた場合には『100nm』分解能で動作し、ストローク範囲は『100mm』となって...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

顕微鏡用XY自動ステージ　【改善事例　画像処理装置との連動】

パレットに並んだ部品を、画像処理装置を使って良否判定の検査をしたい

【背景】画像処理装置をシーケンサーでプログラムを組んで検査を行っていた。多品種少量生産のため頻繁にプログラムを変更しなければならない。【改善事例】画像処理装置とXYステージを連動させて、不良箇所にはマップ上にカラーマーキングします。画像処理装置の処理開始出力、良否判定入力のI/O制御プログラムも簡単に作れます。検査対象が変わっても、マップ形状を変更する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファインシス

10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能：10nm 最大移...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社