Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

は応用されています。 PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 Nd:YAGレーザは装置コストが廉価であること、金属系ターゲット等、集光（エネルギー密度）が必要な場合に適しております。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

高周波レーザーCVD装置

簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…

当製品は、高周波加熱コイルの中心に試料ステージ（自動回転機構付き）があり、 外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。 サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。 簡単に試料セットする事ができます。 オプションでチャンバー上部にガス供給系（最大5系統...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステムはNd:YAGレーザを用いたPLDです。 独自の回転式SiC基板加熱により、基板面上で850度以上の加熱が行えます。 ターゲットは20mm径を４個有し、自転および公転により、ターゲット上の照射が均一...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-150Y PLDシステム

PLAD-150Y PLDシステム

PLAD-150Y PLDシステムはNｄ：YAGレーザ（266nm,120mJ，10Hｚ）を用います。 YAGレーザによるPLDは容易に集光が得やすいことが特徴です。 金属材料などもアブレートしやすいですが、逆にドロップレット発生が...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社