• 安心・安全な抗菌スプレー『AUSIRO(オウシロシリーズ)』 製品画像

    安心・安全な抗菌スプレー『AUSIRO(オウシロシリーズ)』

    PR6時間以上の抗菌作用が持続!ナノ粒子を用いた抗菌・抗ウイルス製品です!…

    『AUSIRO(オウシロシリーズ)』は、病原菌を自己融解へ導き、ウイルスを 不活性する機能を持った製品です。 人にやさしいく環境にも配慮した技術で菌やウイルスを未然に予防できます。 菌を殺す生物毒ではないため、人だけでなく、動物・植物・昆虫にも 作用せず生活環境に配慮。手のひら最長6時間以上、モノに対して 1週間以上の持続効果を有します。 無香料タイプや、微量のアルコール配合製...

    メーカー・取り扱い企業: 日立工油株式会社

  • RS-232Cをより便利に活用できるシリアルアダプターシリーズ 製品画像

    RS-232Cをより便利に活用できるシリアルアダプターシリーズ

    PRUSBタイプからBluetooth、SubGigaまでラインナップした…

    ものづくりの現場で広く採用されている「シリアル通信」をより便利に活用できるラトックのシリアルアダプターシリーズは、用途に合わせてUSB変換、Bluetooth、Wi-Fi、SubGigaをラインナップ。また有線ネットワーク(Ethernet)もご用意しています。 【シリアルアダプターの便利な用途】 ・各計測器とホスト端末をつないで計測結果をまとめて計測 ・ケーブルの届きにくい機器との接続...

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    メーカー・取り扱い企業: ラトックシステム株式会社

  • 【Nanofurnace】BWS-NANO 卓上型熱CVD装置 製品画像

    【Nanofurnace】BWS-NANO 卓上型熱CVD装置

    多目的に使える、高精度プロセスコントロール【ホットウオール式熱CVD装…

    イクオリティな成膜実験が可能 ◉ ホットウオール式 反応管内を均一に加熱 ◉ MFC高精度流量制御:精度±1% F.S. ◉ バラトロンゲージ(オプション)による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア(オプション)によるリモート制御, パラメータ設定 【主仕様】 ◉ Φ2.5inch(標準)Φ4inch x12inch石英反応管内 ◉ 最高使用温度1100℃ ◉ ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 【nanoCVD】卓上型グラフェン/CNT合成装置 製品画像

    【nanoCVD】卓上型グラフェン/CNT合成装置

    ◉ 大型製造装置設備を使わず、簡単にグラフェン・CNT(SWNT)合成…

    ・USBケーブル接続,PC側でのレシピ作成→装置へアップロード可能 ・最大試料サイズ:40 x 40mm:銅(ニッケル)箔, SiO2/Si, Al2O3/Si基板,他 ◆Model. nanoCVD-8G(グラフェン用)◆ ・グラフェン生成用,真空プロセス制御 ・ロータリーポンプ標準付属(オプション:TMP, Diffusion or Dry Pump) ・ガス供給3系統(標準...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置 製品画像

    【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

    モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

    MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • ALD・CVD⽤⾼純度塩化⾦属 ※開発品 製品画像

    ALD・CVD⽤⾼純度塩化⾦属 ※開発品

    開発から製造までの⼀貫体制︕⾼品質塩化⾦属を安定的にご提供します

    当社は、ALD・CVD⽤『⾼純度塩化⾦属』を開発中です。 半導体プロセスにおける要求を満⾜する⾼純度品により、 プリカーサー合成の際、お客様での⾼純度化プロセスが不要となります。 また、スパッタリングターゲットで培われた⾼純度原料を使⽤しており、 ⾼品質塩化⾦属を安定的にご提供します。 【特⻑】 ■⾼純度塩化物の採⽤ ■昇華精製⼯程の削減・省略 ■トータルコスト低減に貢...

    メーカー・取り扱い企業: JX金属株式会社 (電子材料)

  • AMPERTECⓇ 塩化物 製品画像

    AMPERTECⓇ 塩化物

    TANIOBIS GmbHのAMPERTECⓇ 塩化物は高反応性化合物…

    高純度塩化物:五塩化タンタルTaCl5、五塩化ニオブNbCl5、六塩化タングステンWCl6、五塩化モリブデンMoCl5のご提供が可能です。 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、下部フォームよりお気軽にお問い合わせ下さ...

    メーカー・取り扱い企業: JX金属株式会社 (電子材料)

  • 乾式除害装置(MAKシリーズ) 製品画像

    乾式除害装置(MAKシリーズ)

    大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

    た、弊社横浜研究所の現地分析により、  フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】  圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、  装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。  これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 【管理性】  剤破過検知器(ブレイクモニター)のサンプリング位置を  自動切換することにより、剤交換時...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社巴商会 企画営業部

  • 大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』 製品画像

    大量生産用連続式常圧CVD装置『A6300S』

    SiCトレーを採用!搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…

    A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました。 【特長】 ■高い生産性:毎時120枚の処理が可能 ■重金属汚染対策:ウェハ裏面からの金属汚染を防止 ■...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社天谷製作所

  • シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「A200V」 製品画像

    シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD) 「A200V」

    小ロット生産・試作・開発向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成…

    「A200V」は、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)等の成膜を目的とした、枚葉式常圧CVD(APCVD)装置です。 密閉型チャンバーでの枚葉式Face down成膜により、限られた設置スペースの中でも、安全で、膜厚・不純物濃度のバラツキが小さく、パーティクルが少ない成膜が可能です。 装置タイプは、2チャンバータイプ・1チャンバータイプから選択可能で、多品種小...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • 太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」 製品画像

    太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置 「AMAX1000S」

    結晶太陽電池セル用量産装置を新たにリリースしました

    太陽電池用常圧CVD(APCVD)装置「AMAX1000S」は、太陽電池(セル)製造用に開発されたハイスループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。拡散用ハードマスクやパッシベーション用のSiO2膜、固相拡散源としての、P(リン)をドープしたPSG膜、B(ボロン)をドープしたBSG膜が常圧下で成膜可能です。量産用装置(AMAX1000S)の他、R&D用装置(D501)もラインナップ。お客様の...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • 多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン+ALD) 製品画像

    多層膜成膜装置 (ポリパラキシレン+ALD)

    ポリパラキシレン(パリレン)とALD(原子層堆積法)による無機酸化物層…

    パリレンは生体適合性を持つ高機能樹脂ですが、無機酸化物と比較するとガスバリア性が低いという欠点があります。そこで、パリレンと酸化物をサンドイッチのように交互に成膜することで、バリア性の高い、高機能膜を生成することが可能になり、製品の小型化や薄膜が求められる医療用アプリケーションに最適です。 パリレンとALDは同一チャンバ(In-situ)で真空を破ることなく成膜するので、パーティクルの心配はあり...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • CARBOZENハイブリッドPVDシステム 製品画像

    CARBOZENハイブリッドPVDシステム

    製膜スピードUP&高い密着性!導入コストや維持費も低いDLCコーティン…

    『CARBOZEN ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...

    メーカー・取り扱い企業: パーカー熱処理工業株式会社 川崎事業所

  • 単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51A 製品画像

    単結晶高純度ダイヤモンド合成用CVD装置 DCVD-51A

    コンパクトで省電力!デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験用…

    ダイヤモンドの単結晶成長(ホモエピタキシャル)が可能な 高純度のダイヤモンド合成実験を行うためのプラズマCVD装置 【特徴】 ○コンパクトで省電力 ○超高真空技術を駆使しており、プラズマが室壁に接触しないため  デバイス作成向け単結晶高純度ダイヤモンド合成実験が可能 ○球状コンパクトチャンバー+特殊電極により、高効率な運転が可能 ○放電状態を見ながらの実験が可能 ○試料導入は...

    メーカー・取り扱い企業: アリオス株式会社

  • 粒子用 ALD (原子層堆積)装置 / FORGE NANO社 製品画像

    粒子用 ALD (原子層堆積)装置 / FORGE NANO社

    粒子専用のALD(原子層堆積 Atomic Layer Deposit…

    研究開発向け粒子用ALD(原子層堆積)装置で様々な開発用途に活用できます。ナノスケールの粒子の成膜をミリグラムからキロまでプロセス可能です。  ■流動床を含めた手法により膜厚を均一にコントロール ■3種類の容量のリアクターサイズ ■複数のプレカーサーを個別に温度コントロール ■多様な粒子材料へ多様な膜の成膜が可能 ■カスタムレシピーを容易に作成し自動運転 ■粒子容器は取り外し可能 *...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • 枚葉式常圧CVD装置『A200V』 製品画像

    枚葉式常圧CVD装置『A200V』

    装置サイズを可能な限りコンパクト化!安定した成膜処理と低パーティクルを…

    A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。 フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル 制御、埋め込み性能を発揮し、SiH4をベースとしたシリコン酸化膜を成膜。 また、TEOS-O3、SiH4-O3もオプション対応が可能な装置です。 【特長】 ■フェイスダウンポジション ■...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社天谷製作所

  • PLAD-221-Y PLDシステム 製品画像

    PLAD-221-Y PLDシステム

    PLAD-221-Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

    メーカー・取り扱い企業: AOV株式会社

  • 原子層堆積(ALD)デモ成膜/導入サポート 製品画像

    原子層堆積(ALD)デモ成膜/導入サポート

    原子層堆積(ALD)プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

    ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、問題になるのが、次の二点です。 1)どのように目的とする性能の膜を作ればいいのか? 2)導入後、どのように装置や工程を管理していけばいいのか? そこで、PICOSUNは次のようなサポートサービスをご提案いたします。 1)設計段階でのお悩みには、材料選定やレシピ設定、評価方法につきアドバイスする”PicoDevelopment”。 ...

    メーカー・取り扱い企業: PICOSUN JAPAN株式会社

  • ALD/MOCVD容器 製品画像

    ALD/MOCVD容器

    50CCから60L容量までのALDやMOCVD用途、SUS製カスタマイ…

    創業から30年以上の経験と多くの納入実績を持つ米国PFL社製。 50CCから60L容量までのALD/MOCVD用途、SUSカスタマイズ容器を承ります。材質(ステンレスや高ニッケル鋼)、バルブ位置や数、容器の高さ/幅寸法、内表面粗度、安全認証など様々な組み合わせでカスタマイズ可能です。(400以上のバリエーションがあります) 容器の回収から洗浄、容器検査、安全認証の再取得、容器のご返却ま...

    メーカー・取り扱い企業: 黒岩ステンレス工業株式会社

  • TrueSeal Fitting 製品画像

    TrueSeal Fitting

    TrueSeal Fitting

    全てFDA認定品の材質で薬液などに最適。軽量。バリなどの不純物が混入しない構造。 1/4〜1/2サイズ。ボデイ材質はアセタール、ポリプロピレン、Kynar。 O-Ring材質はニトリルゴム、EPDM、Viton。...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社フロー・ジョイント

  • JSWアフティのECRプラズマ成膜/ALD/アニール装置 製品画像

    JSWアフティのECRプラズマ成膜/ALD/アニール装置

    装置の動作デモをご覧いただき、サンプル成膜を実施し、そして評価へと一連…

    体ソースECRプラズマ成膜装置 固体ソースECRプラズマ成膜装置は、低温・低ダメージ・超薄膜形成を実現できることから、100台以上の装置が生産現場で稼働しております。 ■ALD(Atomic Layer Deposition/原子層堆積)装置 原子層堆積法は、プリカーサーにより供給された分子を原子一層ごとに表面へ吸着、不活性ガスでのパージによる余剰分子除去、反応ガスによる成膜、不活性ガスで...

    メーカー・取り扱い企業: 三井物産エレクトロニクス株式会社

  • MOCVD排気濾過用フィルター (AIXTRON装置用)中国産 製品画像

    MOCVD排気濾過用フィルター (AIXTRON装置用)中国産

    MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

    主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...ドイツのAIXTRON社のMOCVD装置用の排気フィルターシリーズ製品はアメリカ産の高級耐高温ガラス繊維制濾過材(濾過布)と中国産SUS304を構成した製品。 ガラス繊維制...

    メーカー・取り扱い企業: 愛鋭精密科技(大連)有限公司(AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

  • MOCVD排気濾過用フィルター (AIXTRON装置用)中国産 製品画像

    MOCVD排気濾過用フィルター (AIXTRON装置用)中国産

    MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

    主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...ドイツのAIXTRON社のMOCVD装置用の排気フィルターシリーズ製品はアメリカ産の高級耐高温ガラス繊維制濾過材(濾過布)と中国産SUS304を構成した製品。 ガラス繊維制...

    メーカー・取り扱い企業: 入江株式会社 東京支店

  • 半導体材料 ALD/CVD材料 製品画像

    半導体材料 ALD/CVD材料

    高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発

    業界に先駆けて新規ALD/CVD材料の開発に着手してまいりました。その結果、高・強誘電材料、電極材料、配線材料等で多くのオリジナル製品を開発、国内外のお客様より高い評価を得ております。これらは、合成から一貫してクリーンルーム内で作業が行われ、スピーディーな製品設計が可能であると同時に、試作から量産へのスムーズなシフトも実現できる専用工場で生産されております。詳しくはカタログをダウンロード、もしくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ADEKA

  • 原子層堆積(ALD)装置 製品画像

    原子層堆積(ALD)装置

    豊富なプロセスレシピを持ちながらも非常に小型な原子層堆積装置

    コンパクトな卓上型ALD。 半導体デバイス、有機太陽電池、ナノワイヤー、量子ドットなどへの成膜により、表面保護や改質など様々なデバイス開発にご使用いただけます。 プロセスはALD・CVDの材料開発拠点で開発されたもの。 順次レシピを増やしてゆき、新規のプロセス開発も承っております。...設置面積:48x48cm 基板サイズ: 最大4インチ プレカーサー材料:5系統 方式:ホットウォール...

    メーカー・取り扱い企業: ALDジャパン株式会社

  • BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1600℃ 製品画像

    BHシリーズ【超高温薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1600℃

    大学実験室・研究機関のお客様に限定した安価で短納期なヒーター製品を用意…

    3種類のサイズ(Φ1, 2, 4inch)4種類のヒーター素線材質(NiCr, Kanthal, Graphite, SiC)に限定して標準化、部品在庫を持つことにより短納期・安価な価格を実現しました。 大学実験室・研究機関に限定した数量限定の製品です。 【特徴】 ● 予...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • 【セラミック・トップ・ヒーターMax1800℃】Φ1〜6inch 製品画像

    【セラミック・トップ・ヒーターMax1800℃】Φ1〜6inch

    超高温Max1800℃。 様々なプロセス環境に対応可能な基板加熱ヒータ…

    基板加熱ヒーター (窒化アルミプレート)Max 1800℃ 対応可能サイズ Φ1〜6inch用、及び最大150mm角まで ヒーターエレメント:NiCr線(標準)、トッププレート材質:AlN(窒化アルミ)を採用した超高温・加熱効率に優れ...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」 製品画像

    ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」

    油、有機溶剤検知器にRoHSおよびCE対応のOD-7が加わりました。

    ポイントタイプ液漏れ検知器「リークラーン OD-7」は、多種類の油や有機溶剤に対応する高性能なセンサと組み合わせて使用する機器です。 一般工場・各種プラント・火力、原子力発電所等の機器や、配管からの液漏れを早期に発見し、事故を最小限に防止することができます。 【特徴】 ■検知方法は抵抗変化方式を採用 ■液漏れと断線の警報を各々別の外部接点から出力することが可能 ■対象液体や液漏れ状態...

    メーカー・取り扱い企業: ラポールプラントエンジニアリング株式会社

  • MOCVD装置 「Doctor T」 製品画像

    MOCVD装置 「Doctor T」

    独自開発のシステムでFeRAM-LSIの大量生産を実現

    MOCVD装置「DoctorT」は、産学協同により世界で初めて製品化に成功しました。特許取得済み独自コンセプトの気化器を搭載し、多様な有機金属化合物の成膜が可能です。今まで困難とされていたCVD法によるPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、SBT(タンタル酸ビスマスストロンチウム)などの強誘電体成膜の問題点を克服し、FeRAM-LSIの大量生産を可能にした画期的な強誘電体薄膜CVD装置です。本製品により...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • 原子スペクトル検索ツール 無料動画DVDプレゼント 製品画像

    原子スペクトル検索ツール 無料動画DVDプレゼント

    AtomSpectraDBViewer 高速便利に検索!新バージョン登…

    ピーディーで軽快な動作でご好評いただいているAtomSpectraDBViewerが待望のバージョンアップ! 原子名の複数価数の範囲指定や複数波長のAND、OR検索、データ行の簡単コピー機能などご要望の多かった機能を大幅追加しました。 機能の詳細は公式サイトを...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社クレブ

  • 化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット 製品画像

    化合物半導体ウエハ用非接触ピンセット

    マニュアル操作により化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)を非…

    ◎特徴 1.450℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 2.化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2~4in ウエハ ・Φ2~4inx1/4ウエハ ・Φ2~4inx1/2ウエハ ...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

  • ピラニ真空計 PG-20 製品画像

    ピラニ真空計 PG-20

    小型なボディで装置組込みの省スペース化!

    帯域(1.0×10-1Pa)〜(1.0×10 4Pa)の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。 熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。 (特長)  ●(1.0×10-1Pa)〜(1.0×10 4Pa)の測定範...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 【即納可能】水冷・ガス導入機 製品画像

    【即納可能】水冷・ガス導入機

    真空装置の冷却及びガスの導入ポートに使用する継手付きフランジです。在庫…

    付きフランジです。高真空用としてNW/KF、JIS-VF/VG接続、また、超高真空用としてICFフランジ接続の選択が可能です。真空側、大気側の接続は、以下の組み合わせから自由に選定が可能です。・Swagelok(R)・VCR(R)おす・VCR(R)めす・チューブエンド ...

    メーカー・取り扱い企業: コスモ・テック株式会社

  • 定温度型ピラニゲージコントローラ PG-30 製品画像

    定温度型ピラニゲージコントローラ PG-30

    熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

    帯域(1.0×10-1Pa)〜(1.0×10 4Pa)の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 半導体用トランスデューサー 製品画像

    半導体用トランスデューサー

    半導体用トランスデューサー

    コンパクトなデザイン 防爆指令対応(ATEX Zone2) 保護等級NEMA4(IP67)を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...コンパクトなデザイン 防爆指令対応(ATEX Zone2) 保護等級NEMA4(IP67)を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社フロー・ジョイント

  • 【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃ 製品画像

    【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃

    超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全て…

    半導体、電子基板、真空薄膜プロセス装置・研究開発用【超高温基板加熱機構】 対応基板サイズ:Φ2〜6inch 真空(UHV対応可能)・不活性ガス・O2・各種プロセス反応性ガス雰囲気等でご仕様いただけます。(詳細別途協議)...◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ ステージ上下昇降(基板又はヒーター昇降、基板&ヒータ二段昇降式) ◉ 基板回転 ◉ RF(1...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD)「A6300S」 製品画像

    シリコン酸化膜成膜装置(常圧CVD)「A6300S」

    量産対応 NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 連続式…

     「A6300S」は、半導体用層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピウェハ用バックシール等の成膜を目的とした、高スループット連続式常圧CVD(APCVD)装置です。  コンパクトな筺体ながら、2レーンでの連続成膜により、高生産性を確保し、CVDコートSiCトレーの採用によりメタルコンタミ(金属汚染)の低減を実現しています。  その他、目的別に装置ラインナップを揃えており、デモ装...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行

  • 赤外線反射防止膜用DLCコーティング装置 製品画像

    赤外線反射防止膜用DLCコーティング装置

    高い赤外線透過率をもつDLC膜をハイレートで基板両面に形成。 安定の…

    硬質膜・表面処理用途で実績豊富なPIG式DLC膜形成装置を赤外線光学用途に展開。90%以上の高い透過率を持つDLC膜を基板両面に一括形成 硬質・高い透過率のDLC膜を高い生産性で実現。 ...独自開発高密度プラズマ源(PIGプラズマ源)を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • Nd:YAGレーザパルス蒸着システム 製品画像

    Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

    Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

    高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD(Pulsed Laser Deposition)法はPVD(物理気相蒸着)法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 Nd:YAGレーザは装置コストが廉価であること、金属系ターゲッ...

    メーカー・取り扱い企業: AOV株式会社

  • 3次元誘導加熱・温度解析ソフトウエア/μ-TM 製品画像

    3次元誘導加熱・温度解析ソフトウエア/μ-TM

    複雑な加熱コイル形状に威力、高周波加熱、温度、発熱、磁場分布が見える!

    め、モデル化が簡単 ・問題に特化した条件設定メニューで、解析工数をさらに短縮 ・初心者向けには、自社開発の直交格子メッシャーAirCubeとの組合せがお勧め ・精密なモデル形状にはFemapとの組合せを ・材料温度依存性あり ・マイクロ波加熱も開発中(ソルバーはFDTD法)   ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ミューテック

  • 反りウエハ用ベルヌーイチャック 製品画像

    反りウエハ用ベルヌーイチャック

    反りウエハを触らずにつかむベルヌーイチャック

    ◎特長 1.反りウエハを非接触にて把持、搬送 2.ウエハに損傷を与えない 3.汚れを付けない ◎ 適応 1.反りのあるウエハ 2.GaSaウエハ 3.極薄ウエハ 4.表面処理ウエハ ...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

  • 小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」 製品画像

    小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

    最大1,000lpmまでの流量を確保

    濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ

  • ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置:フロートチャックSAC型 製品画像

    ソーラーリサーチ研究所の非接触搬送装置:フロートチャックSAC型

    オーダメイドの垂直気体噴流方式非接触搬送装置「フロートチャックSAC型…

    ベルヌーイ効果・エゼクタ効果・コアンダー効果を持つベルヌーイチャック「フロートチャックSAC型」の新機構を採用したオーダメイドの「ベルヌーイチャック・非接触搬送装置」製作いたします。 新機構:非接触搬送装置「フロ-トチャックSAC型」には吸引力を生じるエゼクタ効果を高めるためにコアンダー効果を付加させました。 ベルヌーイ効果と併せて高効率、気体消費量の少ない非接触搬送装置です 新方式「気流垂...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

  • B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(ICF70)』 製品画像

    B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(ICF70)』

    センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

    広帯域(1.33×10-7Pa)〜(6.65Pa)の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロ...

    メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社

  • 【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~ 製品画像

    【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~

    Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果な…

    当資料では、アクア プラズマの画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術を ご紹介しています。 Aqua Plasmaの効果として、銅サンプル表面の酸化深さをESCAArビームエッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■はじめに ■...

    メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社

  • 真空成膜装置・高真空装置 製品画像

    真空成膜装置・高真空装置

    お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置

    高真空装置で定評のあったMECA2000社の技術を引き継いだ高真空度を実現...真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となっています。西華デジタルイメージでは、長年薄膜素材の評価装置として定評のあるVINCI社の製品を取り扱ってまいりました...

    メーカー・取り扱い企業: 西華デジタルイメージ株式会社

  • ガスフィルター用ジャケットヒーター 製品画像

    ガスフィルター用ジャケットヒーター

    200℃の高温でガスフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒータ…

    (株)ピュアロンジャパン製ジャケットヒーターです。 コントローラーユニットには、加熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。フィルターから簡単に着脱できます。温度・時間などの設定は遠隔操作できるデジタル式コントローラーにより操作が簡単です。ヒーターユニットは薄型・軽量でスペースを取りません。...【特徴】 ○最高使用温度は200℃です。 ○電源はAC100Vです。 ○...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ピー・ジェイ

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