• 径/穴径の測定に特化した機構で、スムーズに合否を判定する測定器 製品画像

    径/穴径の測定に特化した機構で、スムーズに合否を判定する測定器

    PRスピンドルシャフトの径、多種多様なパーツの穴径の最終チェックに好適。【…

    <特長> ・安定した繰り返し精度を持ち、品質保証の最終チェックに好適。 ・内蔵スプリングで一定な測定圧が得られ、作業者の影響を受けにくい。 【径の測定に】  ■指示スナップゲージ『Marameter 844FS』   - 測定範囲:10~500mm   - スピンドルシャフトなど円筒形状の工作物の径の測定に 【穴径の測定に】  ■セルフセンタリングダイヤルボアゲージ『Maram...

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    メーカー・取り扱い企業: マール・ジャパン株式会社

  • 『医薬品・化粧品・洗剤開発向け製品ラインアップ』 製品画像

    『医薬品・化粧品・洗剤開発向け製品ラインアップ』

    PR衛生的な開発・製造環境の構築に貢献する耐熱膜や圧力容器をご提供。カタロ…

    当社が取り扱う『医薬品・化粧品・洗剤開発向け製品』のご紹介です。 【製品ラインアップ】 ◎耐熱膜「Duratherm HWS・EXLシリーズ(SUEZ社)」  HWSは熱水殺菌による洗浄が可能。EXLは80℃での連続運転に対応。  RO膜・NF膜・UF膜を選択でき、2.5~8インチとサイズも豊富です。 ◎耐熱膜「HSRO・XUSシリーズ(DuPont社)」  HSROシリーズは熱水...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社サンコー

  • 四重極型 質量ガス分析計 Transpector XPR 3+ 製品画像

    四重極型 質量ガス分析計 Transpector XPR 3+

    半導体やディスプレイ製造プロセスのスパッタ装置専用のRGAです。エアリ…

    【機種名】 ・Transpector XPR3+(プラス) (質量範囲)1~100 m/z 【検出器】 ・ファラデーカップ+二次電子増倍管(EM)仕様 ※低濃度のガス検出能力を必要とする場合は二次電子増倍管...

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    メーカー・取り扱い企業: インフィコン株式会社

  • AlNテンプレート作成装置(配向性AlN膜用スパッタリング装置) 製品画像

    AlNテンプレート作成装置(配向性AlN膜用スパッタリング装置)

    UV-LED用AlNテンプレートをスパッタで。高い結晶性とC軸配向性を…

    UV-LEDの製造の低コスト化に必要なサファイア基板へのAlNテンプレートをスパッタで作成。100arc/sec以下のC軸配向性を持つAlN膜を低温(700℃以下)でスパッタリングで形成。 シンプルかつ安定したプロセスとハイスループット性でUV-LEDの低コスト化に貢献。 サンプルテストに対応...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置 製品画像

    【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

    モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

    MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありな...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • DLCスパッタリング装置(TeerCoatings  UDP) 製品画像

    DLCスパッタリング装置(TeerCoatings UDP)

    DLC(Graphit-iC), MoSTの成膜に最も適した装置です。…

    英国TEER COATINGS社が開発したClosed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating(CFUBMSIP)装置は緻密で高度が高く密着力に優れた膜を形成することができます。 【1】製品ラインナップ UDP6...

    メーカー・取り扱い企業: 安達新産業株式会社 本社

  • AlSc・KNNスパッタリングターゲット ※開発中 製品画像

    AlSc・KNNスパッタリングターゲット ※開発中

    Pbフリー圧電素⼦向けAlSc・KNNスパッタリングターゲットをご紹介

    当社では、PZT(Pb-Zr-Ti)に替わるPbフリーの圧電MEMS向けに『AISc、KNN(K-Na-Nb)スパッタリングターゲット』を開発中です。 従来からあるAINに対し、AlScNは1桁⾼い圧電定数を期待できます。 また、既存のAIScターゲットと⽐較し、圧電特性に影響する酸素の...

    メーカー・取り扱い企業: JX金属株式会社 (電子材料)

  • 低温バレル型ALD成膜装置 CVA-B series 製品画像

    低温バレル型ALD成膜装置 CVA-B series

    低温ALD装置とバレル機構の融合

    自社開発のバレル機構による均一撹拌とバラつきのない膜厚・膜質を実現 ・粉体材料や極小部品表面に均一に高品質な成膜が可能 ・平面ではないワーク形状や他の方法では成膜できなかった材料などにも技術応用可能 ...【コーティング活用例】  磁性粉体(サマリウムコバルト系、鉄ネオジム系、フェライト等)への保護膜形成   ・保磁力、分散性の向上   ・参加劣化防止   ・帯電防止  全個体...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社クリエイティブコーティングス

  • 高電圧パルス発生器 製品画像

    高電圧パルス発生器

    電圧・電流設定の操作、モニタ-を行う事が可能

    ・高安定度高圧電源(温度変動50ppm/℃)搭載。 ・電流、温度制御の時定数設定可能。 ・高電圧高速スイッチ(2KV-pp / 40ns)搭載。 ・各電源を機能別にモジュール化。 ・各電源の電圧、電流、温度モニタ機能。 ・負荷短絡時の保護機能。 ・5KVフローティング回路へ80W電力供給、SPI信号通信。...本電源ユニットは、研究用装置電源の機能として求められている多様な機能を有して...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社A・R・P

  • 小型スパッタリング装置 製品画像

    小型スパッタリング装置

    コンパクト設計で省スペースを実現!大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

    韓国 A-tech社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。 物性研究や製品QCおよびQA、半導体の故障解析などに最適です。 ■詳細はカタログダウンロードより■ ●御問合せ:03-5472-1722 (TEL)...【主な特長】 コンパクト設計により...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社マツボー

  • 多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター 製品画像

    多種金属対応 プログラマブルスパッタコーター

    Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

    【仕様】 ○ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al etc. 〇試料サイズ:φ70mm(Max) 〇排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 100L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):360/422/265mm...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • 電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO 製品画像

    電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701Mk II ECO

    シンプルを追求したコーター ボタン1つで簡単に操作できます

    【仕様】 ○ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd ○試料サイズ:φ50mm(Max) ○排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min ○スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 ○寸法(W/D/H):160/255/286mm...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • タングステン モリブデン オンラインショップ 製品画像

    タングステン モリブデン オンラインショップ

    プランゼーの高機能材料(タングステン・モリブデン)製品がオンラインで購…

    ウントとオンライン割でかなりお安くお求めになれます。 材料品(板、棒)などは、カット寸法も自由に指定頂けます。 ぜひ一度、オンラインショップをお試しください。 https://www.plansee.com/shop/ ...

    メーカー・取り扱い企業: プランゼージャパン株式会社

  • Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ 製品画像

    Aera FC-R7700シリーズ マスフローコントローラ

    経済性に優れた高精度ラバーシール

    特長 ・高速応答性 ─ 設定値入力後2秒未満で流量安定 ・エラストマー(ゴム)シール ・VCR、VCO、Swagelok準拠の接続部 ・10sccm~200slmのフルスケール流量レンジ ・ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ ・1x10-7Pa・m3/sec(He)以下...

    メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社

  • Aera Transformer デジタルマスフローコントローラ 製品画像

    Aera Transformer デジタルマスフローコントローラ

    コスト削減に寄与する汎用性に優れたMFC

    CVD、PVD、拡散、エッチングなど様々なアプリケーションに適したAera Transformerデジタルマスフローコントローラ(MFC)とデジタルマスフローメーター(MFM)は、お客様のプロセス改良に寄与し、優れた柔軟性と効率を実現することによって、歩留まりの改善、生産...

    メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社

  • Aera FC-DR980 デジタルマスフローコントローラ 製品画像

    Aera FC-DR980 デジタルマスフローコントローラ

    優れた汎用性を備え、多くのシステムに対応する先進のデジタルMFC/MF…

    既存の主な制御方式および通信方式に合わせて使用するため、様々な出力形態に応じてアナログまたはデジタル制御を行います。本製品には、お客様のご要望に応じて、シングルガスモデル、マルチガス・マルチレンジモデルをご用意しています。 マルチガス・マルチレンジモデルは、スペアMFCの在庫の大幅削減に寄与する事でコストダウンを図っています。また、流量のモニタリングと制御を総合的に行うため、RS-485通信機能...

    メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社

  • 研究開発用スパタ装置『HSK602VTA』 製品画像

    研究開発用スパタ装置『HSK602VTA

    省スペース化を実現!同時放電による合金膜や積層膜の形成に最適なスパタ装…

    『HSK602VTA』は、6基の小型カソードが個別のシャッターと電源を 持ち、同時放電による合金膜や積層膜の形成に最適なスパタ装置です。 リボルバー式4サンプルホルダーを装備しており、一度の真空引きで 4条件の成膜ができます。 また、コンパクト設計により、省スペース化を実現しました。 【特長】 ■コンパクト設計 ■6カソード ■リボルバー式4サンプルホルダーを装備 ■...

    メーカー・取り扱い企業: 有限会社ハヤマ

  • Aera PI-980 プレッシャーインセンシティブMFC 製品画像

    Aera PI-980 プレッシャーインセンシティブMFC

    明日のプロセスニーズに応える次世代PI技術

    す。その優れた流量安定性により、チャンバ間のプロセス再現性が向上し、生産歩留まりを改善します。 PI-980シリーズは、従来型のサーマル式の構造に、圧力センサ、温度センサならびに当社独自のNeuralStep制御技術を一体化することによって、従来型の製品に使われていたハイコストなガスパネル部品の必要性を減少します。また、マルチガス・マルチレンジ機能により、予備在庫の必要性が劇的に減り、コスト効...

    メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社

  • 簡易実験用スパッタリング装置 製品画像

    簡易実験用スパッタリング装置

    手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種 簡易ロードロックタイプで化合…

    当製品は、基礎研究から先端プロセスの開発までカバーする シンプルでコストパフォーマンスの高いスパッタリング装置です。 全手動化し低コスト化したバッチタイプと手動搬送機構を装備した 簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種の プロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。 サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を ...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • アルミ精密切削加工/大阪・フィリール株式会社 製品画像

    アルミ精密切削加工/大阪・フィリール株式会社

    A5056/旋盤加工/アルミ加工【コストダウンはフィリール株式会社にお…

    =-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=- フィリール株式会社  営業部 出水 義一 (demizu yoshikazu) 〒570-0043 大阪府守口市南寺方東通6丁目11-12 TEL:06-7493-8864 FAX:06-7493-8871 携帯:070-3885-7735 E-mail:...

    メーカー・取り扱い企業: フィリール株式会社 本社

  • タンタル・ニオブ⾦属粉末 製品画像

    タンタル・ニオブ⾦属粉末

    TANIOBIS GmbHでは様々なタンタルとニオブの金属粉末を提供し…

    TANIOBIS GmbHでは、電気自動車や車のイグニッション・エンジン操作機器、宇宙開発等に対応すべく、様々なタンタルとニオブの金属粉末を提供しています。 当社の高純度のタンタル・ニオブ粉末はその純度と品質の高さが評価され、医療用途、航空分野およびエネルギー産業分野等で使用されています。 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、下部フォームよりお気軽にお問い合わせ下さい。...※...

    メーカー・取り扱い企業: JX金属株式会社 (電子材料)

  • HR-PVDスパッタリングモジュール 製品画像

    HR-PVDスパッタリングモジュール

    指向性成膜を実現し、リアクティブスパッタリングも可能な高イオン電流ヘリ…

    AVP Technology社製 HR-PVDスパッタリングモジュール ・ヘリコンプラズマイオンソースを用いたPVDモジュールでICPソースと比べ高いイオン化効率を実現しています。 ・傾斜角方向からの成膜により膜厚均一性およびステップカバレッジにおいても優れた結果を得ています。 ・ターゲット利用効率においても優れた結果が得られています。 *詳細はお問い合わせください。...・200...

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    メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス合同会社

  • 手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター 製品画像

    手軽に電極膜作製 デスクトップコンパクトコーター

    40年以上のロングセラーモデル 手軽に電極膜作製ができるデスクトップ…

    【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Pd/Ag 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:手動式 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DC/平行平板型 〇寸法(W/D/H):160/326/286mm ...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • 8インチスパッタコーター SC-708シリーズ 製品画像

    8インチスパッタコーター SC-708シリーズ

    大型サンプルの全面コーティングに最適なイオンコーターです。4~8インチ…

    QUICK COATER SC-708シリーズは、SEM観察または分析用大型試料のチャージアップ防止用として、また、一度に多くのサンプルの成膜処理を行ないたい場合に最適なスパッタコーターです。 【特徴】 〇サンプルサイズや数量に応じて、4、5、6、7、8と1インチ単位で選択が可能です。 〇コーティングモード/エッチングモード搭載 〇スパッタ薄膜作製はもちろん、マイクロチャネル流路形成時...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • マグネトロンスパッタコーター SC-701MC 製品画像

    マグネトロンスパッタコーター SC-701MC

    イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチック…

    【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H):225/420/320mm...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • 全自動イオンコーター SC-701AT 製品画像

    全自動イオンコーター SC-701AT

    SEM用試料作製に適した全自動イオンコーター

    【仕様】 〇ターゲットサイズ:φ49mm 〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd 〇試料サイズ:φ50mm(Max) 〇排気操作:自動 〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇寸法(W/D/H):225/420/320 ...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • 『ロール・ツー・ロール成膜技術』のご紹介 製品画像

    『ロール・ツー・ロール成膜技術』のご紹介

    フレキシブルエレクトロニクスや光学用多層膜向けの成膜技術!

    【ロール・ツー・ロール成膜装置 ラインアップ】 ■SmartWeb SL ■SmartWeb XL ■SmartWeb WF63 ■SmartWeb WF88 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: アプライドマテリアルズジャパン株式会社

  • 【書籍】薄膜の応力・密着性・剥離トラブルハンドブック 製品画像

    【書籍】薄膜の応力・密着性・剥離トラブルハンドブック

    <Q&A集付> 手元に欲しい一冊!

    9,500円+税 普及価格にてご提供! ★薄膜を取扱ための必携本! ★できるだけ簡単な数式を使用し説明! ★現場トラブルを解決する30以上のQ&A付き! ●表面・界面を評価、分析するポイント! ●現場では聞けない&聞く人がいない ●膜の剥離・剥がれ・割れにはどう対応するの? ●良質の膜とは、その作製法とは! ●薄膜プロセスによる応力の発現機構を理解! ...発刊  2007年1...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社情報機構

  • SRR-W(N)粘着ロール除塵装置 製品画像

    SRR-W(N)粘着ロール除塵装置

    業界を問わずお客様を悩ませてきたメンテナンス時の粘着ロール洗浄をより迅…

    弊社の長年のフィールドサービスの経験から生み出された半自動SRRロールクリーニング装置装置は、メンテナンス時にロールを強制的に回転させる駆動を標準装備した装置です。一般的なチェーンやベルトを使用する駆動と違い、弊社独自の駆動装置により、駆動部の摩耗による粉じんが発生するリスクがありません。従来、1700mm幅の粘着ロールの洗浄に15分ほどかかっていましたが、弊社装置で洗浄すれば約2分で清掃完了!作...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤンゴージャパン 関西事務所

  • デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』 製品画像

    デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

    コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…

    【製品仕様】 スパッタ方式:RFマグネトロンスパッタ方式 カソード:φ2インチ×3源/水冷式 スパッタアップ スパッタ電源:RF電源 13.56MHz Max. 200W(手動式マッチングユニット付) 到達真空度:10^-4 Pa台 寸法:  SVC-700RFIII(制御ユニット):W370×D310×H195mm  RF CONTROL U...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • 多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。 製品画像

    多種金属対応!業界最小クラスの超コンパクトコーターです。

    Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金属対応のハイスペックコンパクトコータ…

    【仕様】 ○ターゲットサイズ:φ49mm/t0.5mm(Max) ○適用可能ターゲット:Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al ○試料サイズ:φ50mm(Max) ○排気操作:手動式 ○スパッタ方式:DCマグ...

    メーカー・取り扱い企業: サンユー電子株式会社

  • RAM インライン型スパッタリング成膜装置 製品画像

    RAM インライン型スパッタリング成膜装置

    パイロットラインから量産ラインへが展開が可能な装置です。

    Max. Sub. Size : 200mm x 300mm x t0.2mm Number of substrate per tray:2 Tray size:350mm×1000mm×20tmm...

    メーカー・取り扱い企業: 京浜ラムテック株式会社

  • Roll to Roll Sputtering System 製品画像

    Roll to Roll Sputtering System

    Flexible Display用など機能性Film製造用Coatin…

    Roll to Roll Sputter SystemはFlexible Display用フィルムなど機能性フィルム製造用コーティング装備で薄いフィルムにコーティング膜の厚さを維持しながら高速コーティングができます。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社SUKWON

  • 導電性カーボン薄膜形成装置(アーク放電スパッタリング装置) 製品画像

    導電性カーボン薄膜形成装置(アーク放電スパッタリング装置)

    導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温(400℃以下)で不活性…

    独自高密度スパッタ法 アーク放電型マグネトロンスパッタリング法(ADMS法)によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。 従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。 導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセンサーなどの新分野に対応 導電性カーボン薄膜は硬度や表面の平滑性に優れており、金属への高い密着性より機械部品の表面処理(トライボロジー用途)への応...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • In-Line Sputtering System 製品画像

    In-Line Sputtering System

    平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

    • System Type : Vertical & Horizontal Type • Substrate Size : Customer request ( Generally Glass ) • Target ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社SUKWON

  • 【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃ 製品画像

    【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃

    超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全て…

    半導体、電子基板、真空薄膜プロセス装置・研究開発用【超高温基板加熱機構】 対応基板サイズ:Φ2〜6inch 真空(UHV対応可能)・不活性ガス・O2・各種プロセス反応性ガス雰囲気等でご仕様いただけます。(詳細別途協議)...◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ ステージ上下昇降(基板又はヒーター昇降、基板&ヒータ二段昇降式) ◉ 基板回転 ◉ RF(1...

    メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社

  • アドバンスドエナジー社製 プラズマ用各種電源 製品画像

    アドバンスドエナジー社製 プラズマ用各種電源

    アドバンスドエナジー社製DC電源、LF電源、MF電源、RF電源、パルス…

    す。 また、コーティングや表面装飾等の一般産業分野でも、世界的に高い評価を得ています。 小型軽量で耐久性に優れたCESERシリーズRF電源、スパッタ用DC電源のスタンダードとも呼べるPinnacleシリーズDC電源を始め、豊富なラインアップの中からご希望の出力波形と出力電力にマッチした、最適な一台をご提案します。 インピーダンス整合器のご相談は、当社までお気軽にご連絡ください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: アステック株式会社

  • ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」 製品画像

    ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」

    膜厚分布:トレー内 ±1.2%、トレー間 ±1.5%を達成しました。

    【性能】 ○膜厚分布 トレイ内 ±1.2% トレイ間 ±1.5% ○ターゲット使用効率 44%(最大) ○タクト 3分/サイクル  ※1枚目を除く ○到達圧力 仕込室 1.0×10^-3Pa以下 SP室 1.0×10^-3Pa以下 ○排気時間 仕込室 2.0×10^-2Pa迄 3分以内       SP室 1.2×10^-2Pa迄 10分以内 ○基板加熱温度 150℃以上を確認 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空

  • ロードロックタイプスパッタリング装置(枚葉搬送タイプ)デモ対応中 製品画像

    ロードロックタイプスパッタリング装置(枚葉搬送タイプ)デモ対応中

    ディスクリート素子から先端デバイスまで、R&Dに量産に。コンパクト、ハ…

    基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種(マルチチャンバタイプ)のプロセスチャンバと搬送機構を共用。 高いレベルの膜質要求に対応、各種IC(ディスクリートIC、カスタムIC,化合物)の量産・試作。 次世代デバイスの開発(強誘電体膜開発、配向性窒化膜形成)に実績のソフト&ハード UV-LED用テンプレート用AlN膜、センサー用酸化膜、高均一性電極膜、薄膜ヒーター...

    メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店

  • 平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』 製品画像

    平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

    ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能!

    『MSS600-3』は、矩形カソード W100xH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。 基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。 また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や 様々な異種積層成膜が可能です。 【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社愛知真空

  • 表面処理・精密洗浄事業 再生・精密洗浄 製品画像

    表面処理・精密洗浄事業 再生・精密洗浄

    個々のプロセスに最適な表面処理!精密・洗浄のご提案

    イアイスブラスト洗浄  ・アルマイト処理部品の洗浄に最適  ・サーマルショック及び昇華時の膨張エネルギーによって付着物を除去  ・ルマイトへのダメージを最小限に抑制 ○セラミック洗浄(Rehabilitate Ceramics)  ・セラミック部品に付着したフッ化物や取れにくい黄ばみを除去 ●詳しくはお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: アルバックテクノ株式会社

  • Batch Type Sputtering System 製品画像

    Batch Type Sputtering System

    一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

    Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社SUKWON

  • 真空続き手・製品多様-アダプタシリーズ 製品画像

    真空続き手・製品多様-アダプタシリーズ

    製品多様真空部品-アダッブタシリーズ

    真空配管や真空装置などによく使用される真空継手の一種です。 それらの製品は変換フランジアダッブタ、ストレス変換フランジアダッブタ、VCRメス、オスアダッブタ、Swagelog接続のメス、オスアダッブタを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。...

    メーカー・取り扱い企業: 日揚科技股份有限公司

  • NCフライス加工/中型精密切削加工品/A5052 製品画像

    NCフライス加工/中型精密切削加工品/A5052

    アルミ材による生産設備部品の製作を承りました。

    某半導体メーカー様よりご依頼頂き、アルミ材による生産設備部品の製作を承りました。 A5052 アルミ材と言えど、中実のままでは重量増の為、 各所に肉抜きの切削加工を施し軽量化を図る構造となっております。 肉抜きしても歪みも公差ズレも無く、完璧な仕上がりです。 弊社では、この様な中型(500mm前後)~大型(1000mm前後)の 切削加工品のご用命も承れます。 ※詳しくは...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社 エージェンシーアシスト

  • A5052精密切削/丸物/旋盤/大阪 製品画像

    A5052精密切削/丸物/旋盤/大阪

    CNC旋盤加工・アルミ精密切削・半導体製造装置部品【コストダウンはフィ…

    =-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=-=- フィリール株式会社  営業部 出水 義一 (demizu yoshikazu) 〒570-0043 大阪府守口市南寺方東通6丁目11-12 TEL:06-7493-8864 FAX:06-7493-8871 携帯:070-3885-7735 E-mail:...

    メーカー・取り扱い企業: フィリール株式会社 本社

  • Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ 製品画像

    Aera FC-R7800シリーズ マスフローコントローラ

    高精度・信頼性のメタルシールモデル

    FC-R7800シリーズは、高精度の流量制御を行うだけでなく、 メタルシールによる優れた高い気密性を備え、主要なガス制御アプリケーションに適したシステムです。 業界標準またはAera独自の電気系接続部を選択できるため、利便性があり、既存のマスフローコントローラ(MFC)と素早く簡単に交換できます。...

    メーカー・取り扱い企業: 日立Astemo&ナガノ株式会社

  • 製作実績【2】/半導体製造装置 関連部品 製品画像

    製作実績【2】/半導体製造装置 関連部品

    金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を実績にてご紹介!

    (1)製品搬送プレート(MC703HL) MC703HLは低摩擦係数で滑り特性・摺動性に優れ製品の搬送や スライダー系の用途に用いる事で製品を傷めずに無潤滑で摺動効果を維持出来ます。 (2)特殊形状加工品(SKD11) 工具鋼材(SKD11)での加工品の製作を承りました。 (3)生産設備部品(A5052) アルミ材(A5052)であっても、重量増の為、各所に肉抜きの切削加工を...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社 エージェンシーアシスト

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