『NFPA79 産業機械用電気規格 2018年版/日本語翻訳版』

PRNFPA承認の日本語版資料の2018年版。第3章まで収録したサンプル版…

産業機械を北米に輸出する企業にとっては適合必須とも言える規格「NFPA79」。 NFPA(米国防火委員会）が策定する産業機械用電気規格として、 定格電圧1000V以下の電圧で動作する機械の電気・電子機器に適用されています。 適合比較評価業務を手がける当社では、『NFPA79 2018年版』の 日本語翻訳版規格書をリーズナブルな価格で提供しています。 ★第3章まで掲載したサンプル版...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キューセス

自動工具交換装置『NITTAOMEGA type S-C』

PR軽量、コンパクトな5-10kg可搬の産業用ロボット向けオートマチックツ…

『NITTAOMEGA type S-C』は信頼性の高いカムロック連結機構を備えた、軽量、コンパクトな5 – 10kg可搬のオートマチックツールチェンジャーです。 圧縮エアと電気信号のインターフェイスを搭載しており、一台のロボットで複数のハンドやツールを持ち変える事が出来ます。また、防水、防塵の非接触信号通信モジュールを標準化しており、厳しい環境下でもご使用いただけます。 研磨、バリ取り、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パワーテクノ

デジタル指示計「デジタルストレンゲージメータA5000-17」

ロードセルに接続して重量をデジタルで表示します。

ストレンゲージとは、物体のひずみ測定を利用して荷重測定を行う方法です。 この指示計はロードセルに接続して計測結果を表示させます。 【特長】 ■ディスプレイ2タイプ（マルチ、シングル） ■出力ボード7タイプ ■マザーボード（電源部）は2タイプ ※詳しくはお問合せ、もしくはカタログとダウンロードしてご覧ください。...※詳しくはお問合せ、もしくはカタログとダウンロードしてご覧くださ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テンサー センサーシステム事業部

枚葉式ウエハ処理装置『自動レジスト塗布現像装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

【工程】 [Resist coater] ○Centering ○loader ○HMDS ○Resist coater ○Bake ○Bake ○Bake ○Cool plate ○unloader [D...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs（厚み150um）、IｎP（厚み150um）、LT（厚み120um）など薄い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

レジスト塗布装置

高粘度レジスト塗布が可能！

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。Si基板をはじめ、GaAs、GaN、LT、LN等小口径化合物基板向けにコンパクトな装置も取り扱っております。開放・密閉兼用のカップ構造により、高粘度〜低粘度まで幅広いレジストに対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

『薄膜スプレー技術資料』抜粋

霧化方法・薄膜形成方法など、当社の最新ノウハウを初心者の方にも分かりや…

いて　 ■薄膜スプレーの比較 ※尚詳細については下記にお問合せ頂ければ『薄膜スプレーに関する技術資料』の詳細資料をお送り致します。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 →　http://shimadaappli.com/contact.html...

メーカー・取り扱い企業： Shimada Appli合同会社 コーティング開発部

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

NCフライス加工／中型精密切削加工品／A5052

アルミ材による生産設備部品の製作を承りました。

某半導体メーカー様よりご依頼頂き、アルミ材による生産設備部品の製作を承りました。 A5052 アルミ材と言えど、中実のままでは重量増の為、 各所に肉抜きの切削加工を施し軽量化を図る構造となっております。 肉抜きしても歪みも公差ズレも無く、完璧な仕上がりです。 弊社では、この様な中型（500mm前後）～大型（1000mm前後）の 切削加工品のご用命も承れます。 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト

研究開発向け　枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【デモ可】

昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

手動フォトレジスト現像装置（マニュアルデベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

当製品は、枚葉式のマニュアル機です。 マニュアル機を御社のニーズに合わせて設計から製造・販売しています。 研究開発目的としてだけでなく少量多品種の製品を扱うお客様にご利用いただいております。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

2インチのウエハサイズに対応する､全自動式露光装置です｡ 従来のウエハ搬送方式で用いられる多間接ロボットに代わり､自社開発の搬送ロボットを3台配置させたことで､毎時190枚(2インチウエハ)を処理する高いスループットを実現しました｡ 特に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

バッチ式エッチング装置（バッチ式洗浄装置）

長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

使いやすく、コストダウンにも配慮してご提案します。 前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプもご用意できます。...【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。 【材質】 ○本体　：鋼板製 ○塗布部：塩ビ製 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

ロール to ロール片面露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度片面露光装置

平行光光源により高解像度が得られます...FPCの回路形成を行うための露光装置です｡ ロール to ロールでピッチ送りし､上面からドライフィルム上にパターンを焼きつけます｡ 装置は､ロール巻出機→クリーンローラ装置→エッジコントローラ装置→露光部→ロール送り部→ロール巻取機によって構成されます｡ 【主な特長】 平行光光源による高解像度 高精度基板搬送(サーボロール送り､エッジコントローラ...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

両面アライメント付きロール to ロール露光装置

フレキシブルプリント基板(FPC)用の高精度両面露光装置

両面同時露光により高い生産性を実現します...FPC両面回路形成用露光機で､ロール状両面FCCLに､ドライフィルムをラミネートしたものに対し､両面回路を高精度で露光可能です｡ 両面同時アライメントを行い露光するため､FPCの裏表露光精度を高めることができます｡ また､両面同時露光を行うので､高い生産性が得られます｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

高精度スプレーコーター API-300OGS

カバーガラス一体型タッチパネル（OGS）用レジストコーター

流量範囲：1cc - 20cc/min程度 ノズル：当社独自のLPVNノズル（外部混合型２流体ノズル） 基板固定：リフトアップピンによるロボットとの受け渡し/真空吸着 霧化圧：最大800kPa (元圧が800kPa以上必要となります） その他機能　 自動脱泡、薬液自動供給、自動洗浄、各種アラーム、防爆、 レシピ登録（最大100個）、データログ、塗布状態のグラフ表示 10インチカラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アピロス 本社

枚葉式ウエハ処理装置『自動ウエハレジスト塗布装置』

高性能のポンプを使用し高精度の塗布を行うウエハレジスト塗布装置

【工程】 ○Centering ○loader ○HMDS ○Resist coater ○Bake ○Bake ○Bake ○Cool plate ○unloader ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

リフトオフ（イメージリバーサル）対応フォトレジスト現像装置

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■UV露光ユニット（LED光源もお選びいただけます） ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）Developer

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

PEB対応自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動フォトレジスト現像装置（セミオートデベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■スピン現像ユニット：1組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP～ ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：1組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

製作実績／半導体製造装置 関連部品

金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を実績にてご紹介！

（1）精密整列パレット（SUS430） ステンレス材を指定された為、バリが出やすかったのですが、 加工方法と刃物の選定で最小限に留め、仕上げ処置で規定通りにバリをゼロに仕上げました。 （2）ウェハー保管用ケース（４弗化テフロン／PTFE） 歪みも公差ズレも無く、しっかりとウェハーを整列させ、 尚且つ傷付ける事も無い完璧な仕上がりです。 （3）真空チャック用先端部（A5052）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト

静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）

多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…

【主な仕様】 ■カセットステージ：2組 ■スピン現像ユニット：2組 ■ウエハサイズ：Φ2"～Φ12" ■現像ノズル：1組/CUP ■リンスノズル：1組/CUP ■ベークユニット：2組（Max200℃） ■クーリングユニット：1組 ■センタリングユニット：1組 ■装置サイズ：（例）1200×1000×1800(Φ4"本体) 　　　　　　　　　 1600×2500×1800(...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

磁気浮上型インテグレーテッドポンプ BPS-i30

Compact & Resonable for Highend…

モータ・コントローラ一体型BPS-i30ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 コントロー...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社