技術資料『定盤って、何だ？』　※選び方やDaiwa定盤のご紹介

PR製品・装置の固定や、絶対平面の確保に活躍！定盤の種類や用途を実例を交え…

研究開発や組立、検査時に活躍する『定盤（じょうばん）』ご存知ですか？ 主に「製品・装置の固定」や「絶対平面の確保」を目的に使われます。 今回配布する技術資料『定盤って、何だ？』では、 定盤の基礎知識から選び方、実際の活用例まで豊富な写真で丁寧に解説。 （掲載内容） ■こんなお悩みには…定盤の出番です。 ■定盤選びでは、ここをチェック ■定盤の製作事例：組立定盤 / 試験定盤 / ...

メーカー・取り扱い企業： 大和重工株式会社

『クラウド型 設備稼働監視システム A-PoM』※事例進呈

PR簡単に設備の状況を見える化して生産性向上！スマホ・タブレットを使ってリ…

『クラウド型 設備稼働監視システム A-PoM』は、 設備やデバイスの稼働時間の計測・集計を手軽に実現可能。 クランプ型CTを用いて電流値を計測し、設備状況を見える化します。 設備ごとに日別の稼働状況がグラフ化でき、人員の好適化や 作業効率の向上、作業工程の改善などにつなげられます。 また、稼働状況は工場から離れた場所からでも タブレットやスマートフォンから確認可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アイレス電子工業株式会社 本社

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACCUBATH

ナイトライドエッチ用　石英ナイトライド・リフラックス・システム　ACC…

信頼性と安定性に富んだナイトライドエッチ用　 石英ナイトライド・リフラックス・システム 【特徴】 ○適切な純水供給量により、安定した沸点管理を実現 ○±0.2℃の温度管理を実現 ○アクシアシールTM（オプション）によるシール部の冷却機構により長寿命化、 　30ヶ月の保証を実施 ○Si3N4エッチ（ナイトライドエッチ）のもっとも有効で、信頼性と安定性に富んだ 　システ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒロテック 東京営業所

差動排気型 質量ガス分析計『Transpector CPM』

コンパクトで多機能。業界最高クラスの測定速度・感度を実現し、半導体プロ…

『Transpector CPM』は小型かつ柔軟な構成が可能な質量ガス分析計です。 汎用性に優れたインレットを独自開発し、 Hex block機構にオリフィス、スニファーを使用する ことで幅広い圧...

メーカー・取り扱い企業： インフィコン株式会社

半導体製造装置　PlasmaPro 800Plus

ドライエッチング装置（オープンロード式）

コンパクトなボディにRIE、RIE/PE、PECVDを選択可能なモデル 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 英語版のカタログをダウンロード頂けます。 ...【特長】 ○300mm ウエハーまで対応 ○2インチ×40, 3インチ×21, 4インチ×12 等同時処理 ○大型下部電極による大量バッチ処理可能 ●詳しくはお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

半導体製造装置　PlasmaPro System133

RIE、ICP-RIE、PECVD、ICP-CVD装置

キャリアプレートによる搬送から200mm及び300mmまでのプラズマＣＶＤやドライエッチングプロセスに対応...特長】 ○プラズマソースとして平行平板、ICP(内径180mm/380mm)が選択加工 ○ICP-RIEではクライオプロセスも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ●英語版のカタログをダウンロード頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業： オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

【Sonaer】ソニア社製低流量型超音波スプレーノズル

2mmlit/min以下の流量噴霧が可能に！

【Sonaer】ソニア社製低流量型スプレーノズルノズル ミクロン・サブミクロンの粒子にして無駄なく小さな部品に焦点を当てることができます。 ノズルはフラットとワイドスプレーチップの2種類があります。 こ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

差動排気型 質量ガス分析計　※RGA制御ソフトウェアもご紹介！

業界最高クラスの測定速度・感度を実現し、半導体プロセスに好適。測定中で…

『Transpector CPM』は小型かつ柔軟な構成が可能な質量ガス分析計です。 汎用性に優れたHex blockインレットにより幅広い圧力範囲に対応します。 電算処理技術の向上により、迅速なデー...

メーカー・取り扱い企業： インフィコン株式会社

半導体製造装置　PlasmaPro NGP1000

ＬＥＤ生産用大型バッチ装置（PECVD/RＩＥ）（ロードロック式）

φ490mm大口径電極を備えたLED生産用大型バッチ処理装置...【特長】 ○PECVD: 6インチ×7枚, 4インチ×15枚 ○ETCH: 6インチ×5枚, 4インチ×12又は13枚 ○ウエハーの搬送は大型キャリアを使用。４面搬送チャンバーと組み合わせてカセットtoカセットに対応可能 ○大型バッチでのエッチング性能向上のために新規にViperTMプラズマソースを開発（専...

メーカー・取り扱い企業： オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

半導体製造装置　PlasmaPro Estrelas100

MEMS向け次世代プラズマエッチング装置

200mmウエハーまで対応可能。 ボッシュプロセス及びクライオプロセスにも対応。...【特長】 ○200mmウエハーまで対応　 ○ボッシュプロセス・クライオプロセスを１台で運用可能　 ○研究開発用途から量産用途（クラスター化）まで対応　 ●詳しくはお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

セトラ社　高精度真空計　真空センサ　Vactron ７６０

セトラ社の真空計７６０は０～１ｋＰａから１００ｋＰａまでの絶対圧を高精…

セトラ社の真空計７６０は０～１ｋＰａから１００ｋＰａまでの絶対圧を高精度に計測する用途で設計されたキャパシタンス型真空計です。 ...【特徴】 ○ローコスト、小型サイズ ○優れた温度安定性 ○優れたEMI/RFI性能 ○接ガス部にインコネルを使用し、耐食性流体にも対応可能 ○CEマーク対応 ○ゼロ・スパン調節が容易に行える ●詳細は、資料請求もしくはカタログダウンロード下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サヤマトレーディング

プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪

有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪…

Siやカーボン膜の受託エッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！ 初回条件出しやデモ処理は無償対応。... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪... 出力 MAX300W 周波数 13.56MHz 外形寸法 510(W) ×850(H)×760(D)mm 重量 約 85Kg　 ガス系 マスフロコントローラ１系統(２系統はオプション) 浮子式流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

半導体製造装置　Ionfab300Plus

イオンビームスパッタ成膜装置・エッチング装置

【特長】 ○高品質光学膜（低損失反射膜等）のアプリケーション　 ○反射防止膜（Quartz等へ斜めエッチング等）アプリケーション ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ●英語版のカタログをダウンロード頂けます。 ...

メーカー・取り扱い企業： オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

精密表面処理装置　Veeco PSP WaferStorm

TSV及びWafer Thinning用ウエットプロセスやLED、有機…

１．45年の歴史を誇り、グローバルな展開をしているVeeco PSP社がコストパフォーマンスに注力し、提供しているWET型半導体精密表面処理装置 ２．先端的測定器が集積するラボでプロセス評価 ３．管理された浸漬槽、高圧スプレー、カラーCCDカメラによる正確なエッチエンドポイント ４．IN SITUによる薬液混合 ５．薬液リサーキュレーションによる最少薬液使用 ６．最少床面積と最大スループ...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

室　エッチング室各１室構成 　　　　　　　※量産用　マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ８インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■基板材質：Si、ガラス、化合物半導体基板（GaAS、サファイア）等 ■エッチング対象：各膜種 Al系（AlSi、AlSiCu）・Cr等 　　　　　　　　：各基板 GaAS・サファイア等　　　　　　　　　 ■対象プロセス　：各種薄膜エッチン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

難燃性/UL取得　同軸RFケーブル

UL,IECの難燃性規格認証済の同軸ケーブルをご提供致します。　

弊社コムクラフトは米国Times Microwave Systemの日本総代理店です。 同社は同軸ケーブルの専門メーカーとなり、ノンハロゲン・難燃性規格が必須となる米国内のビル・スタジアム等の公共施設や、船舶、防衛関連で多くのUL認証ケーブルの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト 東京本社、大阪営業所、米国事務所

カフマン　グリッドタイプ イオンソース

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

　RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm 　DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The versatile gridded series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

ウェット処理装置（エッチング）

FPD業界向けに多数納入しているエッチング装置を展開。

■用途に合わせて、スプレー処理、ディップ処理、パドル処理など、最適なエッチング装置構成をご提案 ■枚葉平流し ■独自開発したスプレーノズルによる均一性の向上 ■様々な薬液に対応可能な実績 ■基板サイズ：□100×100mm ～ □2,250×2,800mm ◆弊社工場でのエッチングテストが可能です。 　お気軽にお問合せ下さい。...【エッチングデモ概要】 対応サイズ：最大730×...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FEBACS

ウェット処理装置（洗浄）

FPD業界向けに多数納入している洗浄装置を展開。

■用途に合わせて、ロールブラシ、2流体、その他、最適な洗浄ツール、組み合わせをご提案 ■サブミクロンサイズのパーティクル除去を実現 ■枚葉平流し ■傾斜搬送方式（基板持ち出しによる液使用量の削減、置換性能の向上） ■基板サイズ：□100×100mm ～ □600×600mm ◆弊社工場での洗浄テストが可能です。 　お気軽にお問合せ下さい。...【洗浄デモ概要】 対応サイズ：最大5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FEBACS

ウェット処理装置（レジスト剥離）

FPD業界向けに多数納入しているレジスト剥離装置を展開。

■用途に合わせて、高圧スプレー処理、低圧スプレー処理の組み合わせでのレジスト剥離装置構成をご提案 ■枚葉平流し ■マルチスキャンジェット方式による高い剥離性能を実現。 ■独自の急速置換方式によるレジスト再付着及び残渣の抑制 ■基板サイズ：□100×100mm ～ □2,250×2,800mm ◆弊社工場でのレジスト剥離テストが可能です。 　お気軽にお問合せ下さい。...【レジスト剥...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FEBACS

金属組織エッチングの受託サービス｜JTL

薬品での表面腐食による、金属組織検査用の前処理を行います。

エッチングとは、薬品などの化学反応による腐食作用を利用した表面加工の手法です。この原理を利用した観察用の前処理が金属組織のエッチングです。 金属表面をエッチングすることで結晶方位の違いや組成の違いにより凹凸が付き、金属組織の観察を行うことができます。 エッチング可能な試料サイズはおおよそ50mm角になります。 金属顕微鏡での観察であれば、試料サイズで50mm角程度まで、倍率で1,000倍...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

『ウェット処理装置』※サンプル洗浄受付中

金属や樹脂など、各種材質の精密洗浄が可能。最大2,250×2,800m…

最大2000mm角の大型基板に対応。 基板のエッジを保持する搬送ロボットにより、 各槽に浸漬させて精密洗浄する装置です。 FPD業界で世界トップクラスのシェアを持つSCREENファインテックソリューションズ の技術力で、ガラスをはじめ、金属、樹脂など様々な素材の精密洗浄をご提案いたします。 ★サンプル洗浄実施中★ 　ご希望の方はお問合せください 【特長】 ■用途に合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FEBACS

【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

詳しくはカタログをダウンロード下さい。 『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！ 【実用例】 ・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄 ・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化 ・各種塗工の濡れ性U...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

ATM（エーティーエム）ダイジェストカタログ

ドイツ製ならではの確かな品質を実現！切断機や埋込機など多数の製品をご紹…

ヴァーダー・サイエンティフィックには、レッチェ、レッチェテクノロジー、 カーボライト、ATM、エルトラという5つのブランドがあります。 ATMは、各種産業の品質管理工程で使用される材料構造（金属組織）解析用 装置を提供する世界有数のメーカーです。さまざまなニーズに対応する 解析装置はもちろんのこと、消耗品から実験室設備一式に至るまで幅広い 製品を取り揃えています。 当カタログで...

メーカー・取り扱い企業： ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社（旧 株式会社レッチェ）

[チラ―]効率と省エネを追求した　ESL-60シリーズ

「効率」と「節約」を合わせて追求した新しい温度管理システム

ATSジャパン株式会社より、エネルギー効率と省エネを合わせて追求したマルチチャンネルチラー「ESLシリーズ」のご案内です。 ■ホットガスバイパスにより、エネルギー効率に優れたモデル ■デュアルチャンネルモデルは1チャンバーを1台で！ ■幅450mmのスリムボディ ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

【半導体関連】装置の安全カバーフレームの製造

半導体製造関連／実装機械 等、装置の部分的な製作、装置組立のご依頼もお…

■お客様 FA用機器・装置メーカー 様 ■ご依頼内容 半導体製造装置メーカー様用 自動化装置の安全カバーフレーム部分の製造 ■主な仕様 [数量]　装置カバーA　1台　／装置カバーB　1台 [寸法(mm)／Ｗ×Ｄ×T] 装置カバーA ： 3500mm　×　3050mm　×　1845mm 装置カバーB ： 2240mm　×　1750mm　×　1935mm [カバー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・ＰＶＣボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 【仕様】 ワークサイズ：Φ8インチ、もしくは200×200まで クリーンユニット：ＨＥＰＡフィルター 洗浄方式：スピン洗浄＋ブラシ又...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

PSS 量産システム 「TEX-01」

マスターモールド・ソフトモールド・UVレジスト・転写装置すべてをシステ…

LEDの光取り出し効率や化合物半導体結晶のエピタキシャル成長の格子整合を高めるためにサファイヤ基板表面に パターン形成するPSS（Patterned Sapphire Substrate)技術はコンタクト露光プロセスが一般的です。 基板面の一括転写等の必要性から数年前にナノインプリント技術の導入が検討されましたが、不完全な技術...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

半導体製造装置　PlasmaPro System100

RIE、ICP-RIE、PECVD、ICP-CVD装置

キャリアプレートによる搬送から200mm及び300mmまでのプラズマＣＶＤやドライエッチングプロセスに対応。...特長】 ○プラズマソースとして平行平板、ICP(内径180mm/380mm)が選択加工　 ○ICP-RIEではクライオプロセスも対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ●英語版のカタログをダウンロード頂けます。...

メーカー・取り扱い企業： オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

自動現像/エッチング装置

簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベ…

用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。...スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。...

メーカー・取り扱い企業： アクテス京三株式会社 技術センター

アルミ／A5052／フランジ／複合旋盤加工+黒アルマイト

アルミ／A5052（汎用アルミ）／フランジ／複合旋盤加工+黒アルマイト…

【材質】 A5052（汎用アルミ） 【加工】 複合旋盤加工+黒アルマイト A5052（アルミ材）で複合旋盤加工の後、黒アルマイト処理を施しております。 弊社では、このようなアルマイト処理等の表面処理まで一括で承ります。 多工程に及ぶ製品でも弊社が一括管理し、完成まで責任をもって仕上げます。 ［アルミ］の精密部品でお困りの際は、 是非、エージェンシーアシストにお問合せ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

RIE-330iPCは、放電形式に誘導結合方式（Inductively Coupled Plasma）を 採用した化合物半導体プロセス用多数枚処理エッチング装置 【特徴】 ○Φ330mmの大型トレーに対応 　Φ2インチウェハーなら27枚、Φ2.5インチウェハーなら17枚、 　Φ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

超高性能エンドポイント検出システム

検出困難だった微細な変化でも捉えることができる光学式エンドポイント検出…

コントロールはUSB/Ethernetをデータ転送I/Fとしてサポートしており、ネットワーク経由でスペクトルデータを取得することもできます。　また、付属のSpectraViewソフトウェアでは、採取したスペクトルデータをモニタリング、解析を行い、Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズムなど優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。...

メーカー・取り扱い企業： アステック株式会社

リアルタイム膜厚モニター

in situもしくはin-lineでの膜厚計測を実現するために開発さ…

キセノンランプによるパルス光源を使用した干渉法によりウエハー上の膜厚をリアルタイムに測定します。また、制御アプリケーションであるSpectraView終点検出アルゴリズム、Verity社独自技術による膜厚測定アルゴリズム、ユーザーによる柔軟な設定環境、さまざまなデータ分析ツールを含んでいます。...

メーカー・取り扱い企業： アステック株式会社

低振動・低騒音ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

低振動・低騒音ペルチェチラーThermoRack800

レーザーの温度制御に最適！

ThermoRack800は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力700～900WのThermoRack800は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわず...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

消費電力大幅削減！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！消費電…

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

ICPプラズマエッチング装置『SERIO』

平滑なエッチング面と高い加工精度を実現！サンプルテスト対応いたします！

『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチング側面、加工面の垂直性、開口部の角度制御などナノイン プリントモールドに必要な多く...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式エッチング装置（バッチ式洗浄装置）

長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

使いやすく、コストダウンにも配慮してご提案します。 前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプもご用意できます。...【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

Oリング FKM-90 (フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる「FKM-90 (フッ素ゴム)」材質

フッ素ゴム（2元系）による材質で、耐熱性や耐薬品性、耐油性、耐候性などに優れ、且つ硬度が高いことから耐圧性も兼ね備えています。JIS B2401:2012がFKM-90と定める以前は、公的規格には属していませんでした。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに至るまでの大小様々なOリングを取り揃え、材質とサイズの両面で適切なOリング選定をサポート...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

レーザー装置に最適！ペルチェチラー『ThermoRack401』

低振動・低騒音・優れた温度安定性でレーザー装置の温度制御に最適！ 消…

ThermoRack401は、高い信頼性がありレーザーアプリケーションに 最適です。 　冷却能力400WのThermoRack400は室温付近でさえも±0.05℃の温度精度を維持します。駆動部はわずか２か所...

メーカー・取り扱い企業： エムエス機器株式会社

耐プラズマ性Oリング フロロパワーDPR (特殊フッ素ゴム)

Oリングの桜シールによる配合材無使用の特殊（フッ素ゴム+フッ素樹脂）材…

優秀な耐プラズマ性を有しながらコスト優位性の高い特殊材質です。配合剤を使用していないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器などのドライプロセスに於いて、優秀な耐プラズマ性を発揮します。ノンフィラータイプの耐熱パーフロ材質「フロロパワーFFN（FFKM-耐プラズマ）」の下位互換として有効です。桜シール株式会社は、JIS規格による一般的な規格サイズは元より、極小Oリングから大口径リングに...

メーカー・取り扱い企業： 桜シール株式会社 日本本社

プラズマエッチャーセミオートシリーズ【CPE-300S】

使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水…

使い勝手が良い卓上型の真空プラズマ装置「プラズマエッチャー」シリーズに新ラインナップ、セミオートタイプが登場！従来より更に小型化、省スペースでの設置が可能。 オート、マニュアルの両機能を備え更に使いやすくなりました。 タッチパネルでマニュアル操作や事前にレシピを設定し1ボタンの簡単操作も可能。 ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。 一般的なセラミック・金...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ