• 【事例紹介】AEROSONARによるスポット溶接・接着状態検査 製品画像

    PR非接触かつ非破壊の超音波検査装置「AEROSONAR」の利用事例を2点…

    「AEROSONAR」は、空中超音波法を用いた超音波検査装置です。 物体内部に超音波が透過する際の透過強度を計測することにより、 空気中で非接触かつ非破壊にて欠陥検査が可能です。 【お役立ち情報】 ■「2枚のプレートを溶接したけど、きちんとスポット溶接できているか」  「溶接個所を全て検査する方法は何か?」 ■「2枚のプレートを貼り合わせたけど、ちゃんと接着できているか」 ...(つづきを見る

  • 【工場まるごとクールダウン】今のうちから熱中症対策しませんか? 製品画像

    PR暑い工場・学校・体育館をまるごと冷房。暑いと感じてからでは遅い!今のう…

    「工場まるごとクールダウン。」では、施設内空調・熱中症対策に関する 悩みをお抱えの皆様に、それぞれの空間に合った「涼風プラン」をご提案します。 ・暑い工場内で、年中を通して熱中症が心配 ・建物が広く、空調の効きが弱い ・繁忙期になると、作業人数が大幅に増員 ・職場が暑くて作業効率が悪い ・これまでにどんな熱中症対策にも満足する効果が得られなかった など、職場・施設・学校でこの...(つづきを見る

  • PLAD-150Y PLDシステム 製品画像

    PLAD-150Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • PLAD-250E PLDシステム 製品画像

    PLAD-250E PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • PLAD-221-Y PLDシステム 製品画像

    PLAD-221-Y PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • □■□【MiniLab-026】R&D用小型真空蒸着装置□■□ 製品画像カタログあり

    小型、省スペース! 研究開発に最適 基礎研究開発専用、抵抗加熱蒸着装置…

    モジュラー組立式「Plug&Play」感覚で、必要なモジュール、コントローラ、コンポーネントを組合せて接続することにより構成される装置です。「MiniLabシリーズ」は、製作範囲が広く、抵抗加熱式蒸着(標準)、EB蒸着、スパッタなど...(つづきを見る

  • ◆nanoPVD-T15A◆ 卓上型高性能真空蒸着装置 製品画像カタログあり

    限られたラボスペースを有効活用できる小型卓上ベンチトップサイズ装置に、…

    ◉コンパクトサイズ:804(W) x 530(D) x 512(H)mm ◉重量:40kg〜70kg(装置構成による) ◉優れた基本性能 ・到達真空度 5x10-5Pascal ・高性能ターボ分子ポンプ搭載 ・Φ2inchもしくはΦ4inch基板 ◉蒸着源 ・抵抗加熱式蒸着源 TE x 最大2基 ・有機蒸着源 LTE x 最大4基(抵抗加熱TEと混在の場...(つづきを見る

  • 【MiniLab(ミニラボ)】シリーズフレキシブル薄膜実験装置 製品画像カタログあり

    モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

    MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の...(つづきを見る

  • 原子層堆積(ALD)デモ成膜/導入サポート 製品画像

    原子層堆積(ALD)プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

    ALD成膜の研究開発は市場にも浸透しつつありますが、問題になるのが、次の二点です。 1)どのように目的とする性能の膜を作ればいいのか? 2)導入後、どのように装置や工程を管理していけばいいのか? そこで、PICOSUNは次のようなサポートサービスをご提案いたします。 1)設計段階でのお悩みには、材料選定やレシピ設定、評価方法につきアドバイスする”PicoDevelopment”。 ...(つづきを見る

  • 【MiniLab-M307】ローコストベルジャー式真空蒸着装置 製品画像カタログあり

    ローコスト・ハイスペック。高品質蒸着膜を低価格装置で実現

    【主仕様】 ・ベルジャー:ガラスもしくは SUS304 Φ304 x 350H mm ベースプレート着脱式 ・Tallベルジャー(オプション):Φ304 x 500(H)mm ・ポンプ:ターボ分子ポンプ 250ℓ/sec, ロータリーポンプ 8㎥/hr ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最...(つづきを見る

  • LUXEL社製 抵抗加熱蒸着源(エバポレータ) RADAK 製品画像カタログあり

    有機物蒸着にも対応。 コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源

    RADAKはLUXEL社が30年以上にわたり提供している製品です。独自のデザインと技術に基づいた本製品は、汎用性があり、操作性に優れている上に、幅広い材料の蒸着にお使い頂けます。 ルツボの材質、ライナー、熱電対、その他のオプションを適切に選択し、組み合わせることで、有機薄膜デバイス(OLED)、薄膜電池、太陽電池など、さまざまな用途への対応が可能です。 蒸着、成膜を伴う実験を行われている方には...(つづきを見る

  • 蒸着装置 量産用横型 AMHタイプ  AAHタイプ 製品画像

    基板全面に成膜が必要な用途で、お使いいただいております。

    基板回転方式が3タイプ(公転・自公転・反転)選択可能。抵抗体の端面、水晶振動子の電極形成等小型電子部品の生産に最適です。小型チャンバーで大量の処理が可能で基板の両面一括成膜が行えます。 基板寸法-φ3インチ:60枚、φ4インチ:45枚 もしくは φ5インチ:14枚、その他ご相談ください。 抵抗加熱仕様において、Au, Pt 等の貴金属を「飛ばしきり」にして成膜することができます。 ...<特...(つづきを見る

  • 半導体製造装置 PlasmaPro System400 製品画像カタログあり

    バッチ式スパッタリング装置

    DC、Pulsed DC、RFといった複数モードでの成膜が同一チャンバーで可能なロードロック式スパッタ装置...【特長】 ○200mmターゲット4種または100mmターゲット6種が搭載でき、プロセスチャンバーは4つまたは6つのサブチャンバーに区分できるので、同一チャンバーで複数の膜種を成膜可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ●英語版の...(つづきを見る

  • 化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「SAG(InP)型」 製品画像

    化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)を気体供給操作を行い、ウ…

    ◎特徴 1.450℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 2.化合物半導体ウエハ(GaAs,InP,GaP)の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2~4in ウエハ ・Φ2~4inx1/4ウエハ ・Φ2~4inx1/2ウエハ ...(つづきを見る

  • 【特許技術】DLCを超えたスーパーDLCコーティング 製品画像カタログあり

    FCVA方式により、スーパーDLC(水素基フリーのta-C膜)、Mic…

    FCVA方(Filtered Cathodic Vacuum Arc)は、PVD・CVD等既存のものとは全く異なる次元の高品質のコーティングを提供します。また、成膜時に加熱を一切必要としない為、基材の変形等も起こらず、 また、樹脂...(つづきを見る

  • B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(NW25)』 製品画像カタログあり

    センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

    広帯域(1.33×10-7Pa)〜(6.65Pa)の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロ...(つづきを見る

  • 蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」 製品画像カタログあり

    【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

    膜厚用の2系統 0.6bit →アナログ出力が標準装備 ○標準6MHzの水晶振動子に対応し ○Webで使用可能なユニット ○周波数のレンジ:2-6MHz →周波数の制度は0.1Hz ○Rapid SE software と LabVIEW libraries に対応 ○膜圧:0-9999000A まで設定が可能 →分解能:0.1A ○成膜時間:0-9999A/sまで設定が可能 ...(つづきを見る

  • 耐熱仕様:非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」 製品画像

    高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

    本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。  半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、CVD装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。  その他、アルミニュウム、SUS、PEEK他、使用環境に合わせて製...(つづきを見る

  • パルスレーザパルス蒸着システム 製品画像カタログあり

    パルスレーザパルス蒸着システム

    PLD(Pulsed Laser Deposition)法はPVD(物理気相蒸着)法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。...(つづきを見る

  • IBAD(イオンアシスト蒸着法) CMVI series 製品画像カタログあり

    イオンビームにより密着性、緻密性の高い成膜が可能

    ・従来技術の真空蒸着法に加え、イオン注入法を掛け合わせた両者の持つ利点の相乗効果が見込める複合技術 ・室温で低エネルギー照射を可能にし、タッチパネルの透明導電膜(ZnO)や高融点金属電極形成の密着性が向上 装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な成膜レシピ、成膜作製等、成膜に関する受託サービスを提供いたします。 ...装置販売だけでなく、成膜受託もお受けして...(つづきを見る

  • Nd:YAGレーザパルス蒸着システム 製品画像

    Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

    高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD(Pulsed Laser Deposition)法はPVD(物理気相蒸着)法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 Nd:YAGレーザは装置コストが廉価であること、金属系ターゲッ...(つづきを見る

  • エキシマレーザパルス蒸着システム 製品画像

    エキシマレーザパルス蒸着システム

    高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD(Pulsed Laser Deposition)法はPVD(物理気相蒸着)法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 中でもエキシマレーザはもっとも適したレーザ発振器のひとつであり...(つづきを見る

  • TEM社 半導体蒸着ガス用高性能フィルタ 製品画像カタログあり

    TEMフィルタは低圧力損失で99.9999%の高い効率を実現し長寿命で…

    TEMガスフィルターは、100%のグラスファイバーとステンレス鋼で製作され有機物質は全く使用されていません。反応性のガス、ハロゲン化ガスに使用出来るように設計されています。特に半導体産業で使用されている特殊ガス、高純度ガスの精密ろ過に適しています。 TEMフィルターは微粒子を除去するだけでなく、化学的な汚れを引き起こす事がありません。 デプスタイプ構造のためメンブランタイプと比べ10倍から20...(つづきを見る

  • 卓上型『真空蒸着装置』&『スパッタリング装置』 製品画像カタログあり

    高機能・コストパフォーマンスに優れたR&D用薄膜実験装置開発に…

    『nanoPVDシリーズ』は、材料研究・新素材開発・電子デバイス開発などの基礎実験・研究開発用に多目的にご使用いただける小型・高性能真空薄膜実験装置です。 nanoPVD-S10Aは、Ф2inchマ...(つづきを見る

  • PLAD-261PG PLDシステム 製品画像

    PLAD-261PG PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • PLAD-271PE PLDシステム 製品画像

    PLAD-271PE PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • PLAD-250R PLDシステム 製品画像

    PLAD-250R PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • PLAD-161 PLDシステム 製品画像

    PLAD-161 PLDシステム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...(つづきを見る

  • 小型真空蒸着装置 VPC-061A 製品画像カタログあり

    小型真空蒸着装置 VPC-061A

    パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。...【特長】 ●卓上型でコンパクトサイズにより、少スペースでの設置が可能 ●ガラスベルジャーにより、内部が見やすく操作性が良好 ●メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を...(つづきを見る

  • カフマン グリッドレス イオンソースアッセイ 製品画像カタログあり

    カフマングリッドレスイオンソースアッセイ一式

    The compact low profi le eH series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers b...(つづきを見る

  • 半導体用トランスデューサー 製品画像カタログあり

    半導体用トランスデューサー

    コンパクトなデザイン 防爆指令対応(ATEX Zone2) 保護等級NEMA4(IP67)を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...コンパクトなデザイン 防爆指令対応(ATEX Zone2) 保護等級NEMA4(IP67)を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...(つづきを見る

  • ケミトロニクス社のSiC/GaN向け高温熱処理装置 製品画像カタログあり

    ケミトロニクス社の高温熱処理装置は、面内活性化/コンタクトアニール技術…

    自のノウハウにより、熱処理に欠かせない安定した温度管理を実現しました。 最近注目のワイドギャップ半導体(GaN、等)向け熱処理装置もご好評頂いております。 Due to our original know-how, we have realized the stable temperature control which is essential for Heat treatment. ...(つづきを見る

  • カフマン グリッドイオンソースアッセイ 製品画像カタログあり

    KRIグリッドイオンソースアッセイ一式

    カフマン型グリッド、イオンガン、ミリング、エッチング、スパッタ、1cm、16cm、クリーニング、イオンアシスト The versatile gridded series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&...(つづきを見る

  • OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』 製品画像カタログあり

    コンパクトな設計を実現!有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

    布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で 行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる 一貫した装置となります。 グローブボックス(MBRAUN社製Labmaster)と接続でき、 ロードロック室間は手動の搬送機構で操作可能。 排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。 【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能...(つづきを見る

  • 【PID温度制御】6源同時蒸着可能な有機蒸着源 製品画像カタログあり

    最大で6源同時蒸着が可能な有機蒸着源です。PIDコントローラにより各蒸…

    有機蒸着源ORMA(ORganic MAterials)シリーズは、HVおよびUHV環境下で有機材料を堆積するための低温蒸着源です。ORMAを使用することにより、有機薄膜を堆積したり、電子デバイスに有機材料をドープすることが可...(つづきを見る

  • 【即納可能】水冷・ガス導入機 製品画像カタログあり

    真空装置の冷却及びガスの導入ポートに使用する継手付きフランジです。在庫…

    付きフランジです。高真空用としてNW/KF、JIS-VF/VG接続、また、超高真空用としてICFフランジ接続の選択が可能です。真空側、大気側の接続は、以下の組み合わせから自由に選定が可能です。・Swagelok(R)・VCR(R)おす・VCR(R)めす・チューブエンド ...(つづきを見る

  • 抵抗加熱蒸着源 製品画像カタログあり

    簡単な金属薄膜成長に最適です。ほとんど不純物を含まないクリーンな膜を成…

    抵抗加熱蒸着源TBSシリーズは金属製真空シールが採用されており、250ºCまでのベーキングが可能なUHV対応製品です。ICF152の取付フランジに2つまたは4つのソースが装備されており、クロスコンタミネーションシールドによって、それぞれのソースが分離されています。ソースにはフィラメントまたはボートを取り付けることが可能で、デポアップ方式およびデポダウン方式の両方に対応可能です。ソースは直接水冷され...(つづきを見る

  • アークPVDコーティング炉 『回転円筒カソード パイシリーズ』 製品画像カタログあり

    被膜寿命がのびる真空蒸着装置!

    プラティット社のPVD装置(真空蒸着装置)『回転円筒カソード パイシリーズ』は チタン・アルミ・クロムなど純金属材料を利用し、プログラムによる 組成比制御が可能!合金材料に依存しない、被膜のチューンナップを実現します。 また、回転円筒カソードによる“トリプル/クワトロコーティング”が 「高品質な密着層」「靭性のある中間層」「高硬度の表層」「潤滑・熱絶縁層」 といった最適な被膜を作り...(つづきを見る

  • 改善成功事例 事例2 金属蒸着セル KMDW-Cell 製品画像カタログあり

    改善成功事例 事例2 金属蒸着セル KMDW-Cell

    ◆◇◆経緯◆◇◆ 従来使用している金属蒸着方法は、ボート式であり、金属膜を蒸着する際に、 100A以上もの大電流を印加している。ボート式は、初心者でも容易に蒸着可能であるが、 大電流を使用することで、膜質に悪影響をもたらす要因と考えられる。 また、蒸着の際の飛散量が激しく、チャンバー内のメンテナンスが頻繁に必要となり、 綺麗な環境での使用は困難となっている。...◆◇◆対処法◆◇◆ ...(つづきを見る

  • 薄膜蒸着コントローラー/モニター センサーとフィードスルー 製品画像

    蒸着、スパッタ、高温ベーキング、長時間プロセスなど、あらゆる成膜プロセ…

    が提供するセンサー、フィードスルー、水晶振動子はいずれも品質と耐久性を兼ね備え、半田付けを使用せずに機械的に組立られていますから、部品を現場で必要に応じて簡単に交換する事ができます。 「crystal 12 Sensor」「crystalSix センサー」「シャッターアセンブリ」「デュアルセンサー」「UHVベーキング対応センサー」「コンパクトセンサー」「スパッタリングセンサー」「標準センサー」...(つづきを見る

  • 鉄/S45C/NCフライス加工+ワイヤー加工 製品画像カタログあり

    鉄/S45C(炭素鋼)/NCフライス加工+ワイヤー加工

    【材質】 S45C(炭素鋼) 【加工】 NCフライス加工+ワイヤー加工 S45C(機械構造用炭素鋼)によるフライス加工 及び、ワイヤー加工です。四角穴の直角がしっかりと出ております。 弊社では、この様な高精度・多品種少量の NCフライス加工+ワイヤー加工などのご用命も一括手配で承れます。 [鉄]の精密部品でお困りの際は、 是非、エージェンシーアシストにお問合せ...(つづきを見る

  • TMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80 製品画像カタログあり

    簡単操作のTMP排気システム採用!拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

    【仕様】 [排気装置:SVC-700TMSG] ○排気操作:全自動 ○到達圧力:2×10⁻⁴Pa以下 ○蒸着用電極:2組 ○ガラスベルジャー:内径φ160mm×215mmH ○寸法(W/D/H):340/460/544mm [蒸着電源:SVC-7PS80] ○ヒーター電源:12V 4...(つづきを見る

  • コールドカソードゲージ コントローラ CG-20 製品画像カタログあり

    堅牢な冷陰極型電離真空計

    帯域(4.0×10-7Pa)〜(3.0×10-2Pa)の圧力を1レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。...(つづきを見る

  • 蒸着装置 量産用横型 大型基板用 製品画像

    自動車部品等の外装品の装飾目的の成膜に対応した大型蒸着装置です。

    短タクトで樹脂基板に低温で蒸着が可能です。 電磁波シールドも含め多くの生産ラインで活躍しています。...<特長> 蒸発源 電子銃 または 抵抗加熱 基板回転方式 公転・自公転・反転 制御      膜厚コントローラーによる自動制御 基板寸法    お問い合わせください...(つづきを見る

  • 最高のコストパフォーマンス 薄膜蒸着モニター STM-2 製品画像

    驚くほどの低価格で、高パフォーマンス。研究開発の必需品です。

    STM-2は薄膜蒸着レートと膜厚を精確かつ、低コストで測定する小型トランスデューサです。設定と操作は非常に簡単です。STM-2のBNCコネクタをQCM(Quartz Crystal Microbalance)センサーから出ている信号ケーブルに接続し、他方を標準USBケーブルを介してPCへ接続してください。オシレーターや電源を外部接続する必要はありません。...(つづきを見る

  • 卓上型蒸着装置『Mebius』 製品画像カタログあり

    卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

    『Mebius』は、学生向けの実験や教材作りに適した、コンパクトな 蒸着装置です。 電源は一般家庭のAC100V壁コンセントから導入が可能。 チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを 搭載可能です。 【概要】 ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油回転ポンプの組合せ ■操作不要のマルチ真空ゲージ採用により、...(つづきを見る

  • 小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」 製品画像

    最大1,000lpmまでの流量を確保

    濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジ...(つづきを見る

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