• アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」 製品画像

    従来品と同じ性能でスリム化を実現!空圧アクティブ除振ユニット

    【仕様】 ○制御自由度 3軸6自由度 ○位置精度  ±10μm ○所要空気源 0.6MPa以上 (クリーンエアー) ○所要電源  AC 100V~240V 100VA(単相) ○制御方式  加速度フィードバック、フロアフィードフォワード ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログを...(つづきを見る

  • リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」 EMC対策タイプ 製品画像

    パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において効果を…

    【仕様】 ○制御自由度 3軸6自由度 ○位置精度 ±1000μm ○所要空気源 0.5MPa以上 消費流量はパッシブと同等 ○所要電源 AC 100V~240V (50/60Hz) 200W ○制御方式 速度フィードバック、フロアフィードフォワード ○最大推力 水平方向 : 20N ...(つづきを見る

  • 『Halcyonicsアクティブ除振台シリーズ』 製品画像

    6自由度アクティブ制御!卓上型のアクティブ除振台などをラインアップ!

    『Halcyonicsアクティブ除振台シリーズ』は、振動測定から設計・ 製作・設置までの一貫メーカーである昭和サイエンスが取り扱う製品です。 6自由度アクティブ制御が可能なほか、移動時のロック機構...(つづきを見る

  • 技術資料「アクティブ除振は何故必要なのか」 製品画像

    アクティブ除振が必要な理由について、パッシブ除振台の限界・アクティブ除…

    =掲載内容= 1.パッシブ除振台の限界 2.アクティブ除振台の原理 3.VAAVの特⻑ 4.VAAVの除振効果 (振動伝達率) 5.VAAVの制振効果  (ステージ移動荷重に対する定盤の応答) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...(つづきを見る

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