• 6自由度アクティブ除振システム 製品画像

    除振性能、安定性で選ぶなら、 空気圧制御式アクティブ除振システム

    明立精機MAPSシリーズのアクティブ除振 システムはコンパクトな形状の中に垂直用と 水平用の空気圧アクチュエータを組み込ん だユニットタイプです。4ユニット使用するこ とにより、全自由度の振動に対して優れた 除振性能、制振性能、位置決め性能を発 揮します。 −− 特 徴 −− ●小型でも全自由度の振動に対応 ●標準MAPSで10トン以上の装置を除振可能 ●ステージ等の稼...(つづきを見る

  • 卓上型アクティブ除振システムME40 製品画像

    フルオートで理想の振動環境を作る「卓上型除振システム」

    フルオートで6自由度アクティブ除振を実現したニューモデル。 ユーティリティは電源のみ、エアー供給は不要。ナノテクノロジー研究を強力にサポートします。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御■ 搭載盤の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加えることで振動制御。 ■自動レベリング&アクティブ調整■ 搭載盤上の搭載機器の荷重の偏りを自動検出し、設置時の搭載盤の...(つづきを見る

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